หนังสือคมู่ ือการปฏิบัติงานฝา่ ยผลิตสำหรับพนกั งานใหม่
Production Operations Manual for New Employee
新员工生产流程手册
บริษทั เอ็ม.แอล.ที.โซลาร์ เอเนอร์จี้ โปรดกั ส์ จำกัด
M.L.T. SOLAR ENERY PRODUCTS CO., LTD
正泰(泰国)太阳能科技有限公司
ผลิตภัณฑข์ องบรษิ ัท
แผน่ ซิลคิ อนทีท่ างบริษัททำการผลิตแผ่นโซลาร์เซลล์ แบ่งเป็น 2 ประเภท ได้แก่
1. แบบผลกึ เดีย่ ว (Mono Crystalline)
2. แบบผลกึ รวม (Poly Crystalline)
โดยกระบวนการผลิตแผน่ โซลาเซลลม์ ี 2 กระบวนการหลกั คือ
1. กระบวนการผลิตแบบปกติหรอื กระบวนการ PN
การล้าง การ การล้าง PECVD พิมพ์
ครงั้ ที่1 แพรก่ ระจาย ครั้งที่2 หนา้ สกรนี
ตรวจสอบ เรียงลำ
สุดท้าย ดับ
2. กระบวนการผลิตแบบ PERC
การล้าง การ การลา้ ง ALD PECVD
ครง้ั ที่1 แพร่กระจาย ครง้ั ที่2 หน้า
เลเซอร์
ตรวจสอบ เรียงลำ พิมพ์ PECVD
สดุ ท้าย ดบั สกรนี หลัง
กระบวนการผลิตแผ่นโซลาร์เซลล์และคำศัพท์
1. กระบวนการล้างครัง้ ที่ 1
การกัดกร่อนแผ่นโมโนคริสตัลไลน์กับการกัดกร่อนแผ่นโพลีคริสตัลไลน์ ทำให้ผิวของ
แผ่นซิลิคอนเกิดเป็นด้านหยาบ เพื่อเพิ่มการการดูดซึมแสงที่ตกกระทบมายังผิวแผ่นโซลาร์
เซลลโ์ ดยการลดอัตราการสะท้อนแสงของแผ่น
1.1 สิ่งควบคมุ
1. กดั กร่อนพื้นผิวของแผน่ ซิลคิ อนใหเ้ กิดหลุม เพือ่ เพิม่ การการดดู ซึมแสง
2. ลดอตั ราการสะท้อนแสง
3. ลดอตั ราน้ำหนักของแผ่นซิลคิ อน
1.2 สารเคมีที่ใชใ้ นการกดั กร่อน
1. ไฮโดรฟลูออริก(HF) เป็นกรดอ่อนทีม่ ฤี ทธิ์กัดกร่อนสูง
2. ไนตริก(HNO3) เป็นกรดอ่อนที่มฤี ทธิก์ ดั กรอ่ นสงู ใชก้ ดั กรอ่ นแผน่ โพลี
3. ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์(H2O2) เป็นดา่ งมีฤทธิก์ ดั กรอ่ นสงู ใชก้ ดั กร่อนแผ่นโมโน
4. โพแทสเซียมไฮดรอกไซด์(KOH) ใช้ในการทำความสะอาดพืน้ ผิวหลงั การกัดกร่อน
5. ไฮโดรเจนคลอไรด์(HCL) ทีใ่ ชใ้ นการทำความสะอาดพืน้ ผิวหลังการกดั กรอ่ น
1.3 ชนิดของแผน่ ซิลิคอน
1. แผ่นซิลคิ อนชนดิ โมโนคริสตลั ไลน์ (แบบผลกึ เดีย่ ว)
2. แผน่ ซิลคิ อนชนดิ โพลีคริสตัลไลน์ (แบบผลกึ รวม)
โมโนครสิ ตัลไลน์ โพลีคริสตัลไลน์
1.4 กระบวนการลา้ งคร้งั ที่ 1
1. กระบวนการล้างแผน่ โพลีคริสตลั ไลน์
1.1. ทุก1 ชั่วโมงชั่งน้ำหนักแผ่นซิลิคอน 5 แผ่นและบันทึกข้อมลู น้ำหนกั ก่อนนำไป
ล้าง
1.2. นำแผ่นซิลิคอนใส่กระเช้าขาขนึ้ วสั ดุ คร้ังละ 400 แผน่ และจัดแผ่นซิลิคอนให้
เสมอกัน เพื่อป้องกนั ขอบข้างแผน่ แตก
1.3. แผ่นซิลิคอนเข้าสู่กระบวนการล้างครั้งที่1 ทำการกัดกร่อนพื้นผิวเพื่อเพิ่ม
ประสิทธิภาพในการดูดซับแสง โดยจะผ่านช่องกัดกร่อน ช่องน้ำ ช่องด่าง
ช่องนำ้ ชอ่ งกรด ช่องนำ้ และช่องเปา่ แหง้ เปน็ ลำดบั สดุ ท้ายกอ่ นลงวัสดุ
1.4. ชั่งน้ำหนักแผ่นทดสอบ 5 แผ่นที่ผ่านการกระบวนการล้างแล้ว เพื่อหาค่า
น้ำหนกั ที่ลดลง โดยค่ามาตรฐานอัตราการลดคา่ นำ้ หนกั เทา่ กบั 0.26
1.5. และทุก 1 ชั่วโมง จะทำการวัดค่าสะท้อนแสง 5 จุด ตามองศาที่กำหนด คือ
มุม 80-80 40-40 110-40 40-110 และ 110-110 ค่าสะท้อนแสงที่ได้ไม่เกิน
24.5 ± 0.5
1.6 นำแผ่นซิลิคอนที่ผ่านกระบวนการล้างครั้งที่ 1 ส่งมอบให้กับแผนกการ
แพรก่ ระจายตอ่ ไป
2. กระบวนการลา้ งแผน่ โมโนครสิ ตัลไลน์
1.1 ทุก1 ชั่วโมงชั่งน้ำหนักแผ่นซิลิคอน 5 แผ่นและบันทึกข้อมลู น้ำหนกั ก่อนนำไป
ล้าง
1.2 นำแผ่นซิลคิ อนใส่กระเช้าขาขนึ้ วสั ดุ ครั้งละ 400 แผน่ และจัดแผ่นซิลิคอนให้
เสมอกนั เพือ่ ป้องกันขอบข้างแผ่นแตก
1.3 แผ่นซิลิคอนเข้าสู่กระบวนการล้างครั้งที่1 ทำการกัดกร่อนพื้นผิวเพื่อเพิ่ม
ประสิทธิภาพในการดูดซับแสง โดยแผน่ จะผา่ นช่องกดั กร่อน ช่องนำ้ ชอ่ งด่าง
ชอ่ งนำ้ ชอ่ งกรด ช่องนำ้ อบแหง้ เปน็ ลำดับสดุ ท้ายก่อนลงวสั ดุ
1.4 นำแผ่นชั่งน้ำหนัก 5 แผ่นที่ผ่านการกระบวนการล้างแล้วมาชั่งเพื่อหาค่า
น้ำหนกั ที่ลดลง โดยค่ามาตรฐานอตั ราการลดคา่ นำ้ หนักเทา่ กับ 0.32 ± 0.01
1.5 ทุก 1 ชั่วโมง นำแผ่นทดสอบ 1 แผ่น มาทำการวัดค่าสะท้อนแสง 5 จุด ตาม
องศาที่กำหนด คือ มุม 80-80 40-40 110-40 40-110 และ 110-110 ค่า
สะท้อนแสงทีไ่ ด้ไม่เกิน11.5 และไมต่ ่ำกวา่ 11
1.6 นำแผ่นซิลิคอนที่ผ่านกระบวนการล้างครั้งที่ 1 ส่งมอบให้กับแผนกการ
แพร่กระจายตอ่ ไป
คา่ ควบคุมสูง ค่าควบคมุ ค่าควบคมุ ค่าควบคุมต่ำ
ชนิดแผ่น รายการ กวา่ มาตรฐาน สูงสดุ ค่ามาตรฐาน ตำ่ สดุ กว่ามาตรฐาน
156P ลดค่านำ้ หนัก 0.27 0.265 0.26 0.255 0.25
คา่ สะท้อนแสง 25.5 25.3 24.8 24.3 24
0.27 0.265 0.26 0.255 0.25
157P ลดค่านำ้ หนัก 25.5 25.3 24.8 24.3 24
คา่ สะท้อนแสง 0.34 0.33 0.32 0.31 0.30
156M ลดค่านำ้ หนกั
คา่ สะท้อนแสง 11.6 11.5 11.4 11 0.30
1.5คำศพั ท์แผนกการลา้ งครง้ั ท่ี 1
ลำดบั คำศพั ท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
ใต้สู้ ความเรว็ สายพาน
1 带速 Dài sù
ชา่ งเลี้ยว ขึน้ วสั ดุ
2 上料 shàng liào เซีย้ เลี้ยว ลงวสั ดุ
ฮวาหลาน กระเชา้
3 下料 xià liào เสีย่ วทุยเชอ รถเขน็
สุ้ยเพี้ยน แผน่ แตก
4 花篮 huālán กรอกข้อมูล
สูจ้ วี้ ทดสอบแผ่น
5 小推车 xiǎo tuī chē เชอ้ เพี้ยน ค่าสะท้อนแสง
ฟา่ นเชอ้ ลวี่ แผ่นหยินหยาง
6 碎片 suìpiàn หยินหยางเพี้ยน ลดน้ำหนักแผน่
เจีย่ นจ้ง ช่งั น้ำหนกั แผน่
7 数据 shùjù เชงิ จ้ง แผ่นมุมบิน่
เชวเ่ จี่ยว แผ่นด้านข้างบิ่น
8 测片 cè piàn เบิงเปียน
9 反射率 fǎnshè lǜ
10 阴阳片 yīnyáng piàn
11 减重 jiǎn zhòng
12 称重 chēng zhòng
13 缺角 quē jiǎo
14 崩边 bēng biān
ลำดบั คำศัพท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
15 化学品 ฮวาเสวียผิน่ สารเคมี
16 单晶 huàxué pǐn ตานจิง แผน่ โมโน
17 多晶 ตวั จงิ แผ่นโพลี
18 硅片 dān jīng กยุ เพี้ยน แผ่นซิลคิ อน
19 反射率高 ฟ่านเช้อลวี่เกา ค่าสะท้อนแสงสงู
duō jīng
20 反射率低 ฟา่ นเช้อลวี่ตี ค่าสะท้อนแสงต่ำ
guī piàn
fǎnshè lǜ
gāo
fǎnshè lǜ dī
2. กระบวนการแพรก่ ระจาย
กระบวนการนี้เป็นกระบวนการที่สำคัญในการผลิตแผ่นโซลาร์เซลล์ ทำการแพร่
ฟอสฟอรสั ออกซิคลอไรด์ให้เกิดปมพีเอน็ (P-N junction)ซึ่งเปน็ หัวใจสำคัญของแผ่นโซลาร์เซลล์
ให้สามารถผลิตกระแสไฟได้เม่อื ได้รับแสงอาทิตย์
2.1 สิ่งควบคมุ
1. ความตา้ นทานและลักษณะทางกายภาพทว่ั ไปของแผน่
2.2 สารเคมีที่ใชใ้ นการแพรก่ ระจาย
1. ฟอสฟอรัสออกซิคลอไรด์ (POCL3)
2. ออกซิเจน(O2) : ใช้ทาปฏิกิรยิ ากบั POCL3ให้ได้ฟอสฟอรสั ออกมา
3. ไนโตรเจน(N2): ใช้ผลักดันให้ POCL3 ไหลเวียนเข้าหลอดเตา และช่วยในการ
กระจายตวั ของสารในหลอดเตา
2.3 กระบวนการแพรก่ ระจาย
1. รับเข้าแผ่นซิลคิ อนจากกระบวนการล้างครง้ั ที่ 1
2. นำกระเช้าใส่แผ่นซิลิคอนเข้าไปยังเครื่องแทรกแผ่น โดยนำกระเช้าด้านที่มีรูไว้
ด้านขวาและนำกระเชา้ ด้านที่ไมม่ ีรูไว้ด้านซ้าย
3. เครื่องแทรกนำแผ่นซิลิคอนด้านที่ผ่านการกัดกร่อนจนเป็นหลุมมาประกบคู่กนั และ
ใส่ในเรือแก้วหรือเรือควอตซ์ เตรียมนำเข้าเตาอบทำการแพร่กระจายสาร
ฟอสฟอรัสออกซิคลอไรด์ (POCL3) สำหรบั สร้างปม พีเอ็น(P-N junction)
4. สูตรทีใ่ ช้ในการแพร่กระจายมีดังน้ี
แผ่นซิลิคอนชนิดโพลีคริสตัลไลน์ ใช้สูตร ZT82PP ในกรณีเปลี่ยนขวดสารเคมีใช้
สูตร HY82PP
แผ่นซิลิคอนชนิดโมโนคริสตัลไลน์ ใช้สูตร ZT85MP ในกรณีเปลี่ยนขวดสารเคมีใช้
สูตร HY85MP
5. เรือแก้วเข้าสู่เตาแพร่กระจาย อุณหภูมิในการแพร่กระจายสูงถึง 800 องศา
เซลเซียส สารฟอสฟอรัสจะแพร่กระจายและซึมซบั เข้าไปบนพื้นผิวของแผ่นซิลิกอน
เกิดเป็นช้ัน n-typeขึน้ มา
6. หลังจากแผ่นซิลิคอนผ่านการแพร่กระจายแล้วต้องทำการตรวจวัดค่าความ
ต้านทาน เรือแก้วหรือเรือควอทต์ 1 ลำ ทำการวัดค่าความต้านทานเพียง 5แผ่น
แผ่นซิลิคอนชนิดโพลี(PP หากค่าความต้านทานสูงกว่าค่าควบคุมสูงสุดต้องทำการ
อบซ้ำอีกรอบ เรียกว่าการ BJ และแจ้งฝ่ายเทคโนโลยีใหท้ ำการตรวจสอบและแก้ไข
ปัญหา
ชนิดแผ่น คา่ ควบคมุ สูงกว่า คา่ ควบคมุ ค่า ค่าควบคมุ คา่ ควบคุมตำ่ กว่า
มาตรฐาน สงู สดุ มาตรฐาน ต่ำสดุ มาตรฐาน
157P 112 107 102 97 92
156M 105 100 97 95 90
7. ส่งมอบใหแ้ ผนกการล้างครั้งที่ 2 ขจัดรอยตอ่ p-n ที่อย่ใู นด้านลา่ งแผ่นและรอบขอบ
แผน่ ซิลกิ อนหลงั จากการแพร่กระจายและขจดั ช้นั กระจกPSG
2.4 ข้อควรระวงั
ปัญหาดา้ นความปลอดภยั ของฟอสฟอรสั ออกซิคลอไรด์ ต้องเกบ็ ไว้ที่อุณหภูมิไม่เกิน
20 องศาเซลเซียส ในกรณีทีอ่ ณุ หภมู ิสูงข้ึน เมือ่ สารเคมีสมั ผัสกบั น้ำจะทำปฏิกิริยากลายเป็น
อากาศที่เปน็ พิษ มีฤทธิ์กดั กร่อนสูง และไวไฟ
2.5 คำศัพทแ์ ผนกการแพรก่ ระจาย
ลำดบั คำศัพท์ พินอิน คำอ่านภาษาไทย คำแปล
1 翻花篮 fān huālán ฟาน ฮวา หลาน กลับกระเซ้า
2 单晶 dān jīng ตาน จงิ แผน่ โมโน
3 多晶 duō jīng ตวั จิง แผ่นโพลี่
4 换花学品 huàn huā xué pǐn หว้ น ฮว้า เสวีย ผิ่น เปลี่ยนสารเคมี
5 氧氯化磷 yǎng lǜ huà lín หย่าง ลวี่ ฮว้า หลิน Phosphorus Oxychloride
ลำดบั คำศัพท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
6 配方 pèifāng เพ้ย ฟาง สตู ร
7 方阻 fāng zǔ ฟาง จู่ คา่ ความต้านทาน
8 高方阻 gāo fāng zǔ เกา ฟาง จู่ ค่าความต้านทานสงู
9 低方阻 dī fāng zǔ ตี ฟาง จู่ ความต้านทายนต่ำ
10 石英舟 shíyīng zhōu สือ อิง โจว เรือแก้วหรอื เรือควอทต์
11 测片 cè piàn เชอ้ เพีย้ น ตรวจแผ่น
12 SPC 管理 SPC guǎnlǐ
SPC ก๋วนหลี่ ระบบบันทึกข้อมลู SPC
13 扩散 kuòsàn ข้ัว ส้าน การแพร่กระจาย
14 插片机 chā piàn jī ชา เพีย้ น จี เครือ่ งแทรก
15 温度高 wēndù gāo เวิน ตู้ เกา อุณหภมู ิสูง
16 温度不超过 wēndù bù เวิน ตู้ ปู้ เชา ก้ัว อณุ หภูมิไมเ่ กินที่กำหนด
เสี้ยน จือ๋
限值 chāoguò xiàn zhí
17 易燃 yì rán อี้ หราน ไวไฟ
18 工艺 gōngyì กง อ้ี ฝ่ายเทคโนโลยี
3. กระบวนการล้างคร้งั ที่ 2
กระบวนการล้างครั้งที่ 2 เป็นกระบวนการล้างหลังการแพร่กระจายเพื่อขจัดรอยต่อ
p-n โดยแผ่นซิลิกอนเดิมเป็นชั้น p-type อยู่แล้ว เมื่อแพร่กระจาย จะเกิดเป็นชั้น n-typeขึ้น
กระบวนการล้างคร้ังที่2 จะขจัดเกินที่อยู่ด้านล่างแผ่นและรอบแผ่น ที่เป็นสาเหตใุ ห้แผน่ โซลาร์
เซลลท์ ี่ผลิตได้มไี ฟฟ้ารัว่ และขจดั กระจกPSG ทีเ่ กิดหลังการแพร่กระจาย
3.1 สิง่ ควบคมุ
1. อัตราลดลงของคา่ น้ำหนักหลังการกดั กรอ่ น
2. ทดสอบการกระจายตัวของหยดน้ำหรอื ทดสอบโอโซน
3. ลักษณะทางกายภาพทั่วไป เช่นขอบแผ่นดำ
4. อัตราการสะท้อนแสง เฉพาะแผ่นโมโนคริสตัลไลน์
3.2 สารเคมีทีใ่ ช้ในการกดั กร่อน
1. กรดไฮโดรฟลอู อริก (HF)
2. กรดไนตรกิ (HNO3)
3. โพแทสเซียมไฮดรอกไซด์ (KOH)
3.3 กระบวนการลา้ งครั้งที่ 2
1. กระบวนการลา้ งแผ่นโพลีคริสตัลไลน์
1.1 ชั่งและบันทึกน้ำหนักแผ่นซิลิคอนก่อนล้างทำความสะอาด 5 แผ่น ทุก3ชั่วโมง
หากน้ำหนักตำ่ กว่าค่าควบคมุ ตำ่ สดุ จะสง่ ผลตอ่ ประสิทธิภาพของแผน่
1.2 ขึน้ วัสดุทำการล้างครั้งที่ 2 เพือ่ ขจดั ช้ันกระจกPSG ป้องกนั การรั่วไหลของไฟฟ้า
ภายในแผ่น เปิดโอโซนเพื่อสร้างชั้นซิลิคอนไดออกไซด์(SiO2)บางๆ เพิ่มความ
แขง็ แรงและยืดอายุการใชง้ านให้กบั แผ่นโซล่าเซลล์
1.3 นำแผน่ ทดสอบ 5แผ่นทีช่ ัง่ น้ำหนกั กอ่ นล้างมาชง่ั น้ำหนักและบันทึกค่าน้ำหนักอีก
รอบเพื่อหาค่านำ้ หนกั ทีล่ ดไป
1.4 ทำการตรวจการกระจายตวั ของหยดน้ำ ทกุ 3 ชว่ั โมงต้องตรวจการกระจายของ
หยดน้ำ 5แผ่น โดยการหยดน้ำลงแผน่ ซิลิคอนที่แผ่นการแพร่กระจายแล้ว 5 จุด
ประกอบด้วยมมุ ท้ัง 4 ด้านของแผน่ และกลางแผ่น
หากหยดน้ำกระจายตัวถือว่าผ่านการทดสอบ มี
โอโซน ในกรณีหยดน้ำไม่กระจายตัวถือว่าไม่ผ่าน
การทดสอบ หรอื ไมม่ ีโอโซน
1.5 หากไมม่ โี อโชนต้องนำไปอบโอโซนหรอทีเ่ รียกว่ากระบวนการ RY กระบวนการนี้
มีวิธีการทำเหมือนกระบวนการแพร่กระจาย หากมีโอโซนสามารถส่งมอบให้แก่
แผนก ALD (การเคลือบแบบอะตอมมกิ ซ์) ได้
2. กระบวนการลา้ งแผ่นโมโนครสิ ตัลไลน์
2.1 ชั่งและบันทึกน้ำหนักแผ่นซิลิคอนก่อนล้างทำความสะอาด 5 แผ่น ทุก 3ชั่วโมง
หากน้ำหนกั ต่ำกว่าคา่ ควบคมุ ตำ่ สดุ จะส่งผลต่อประสิทธิภาพของแผน่
2.2 ขึน้ วัสดุทำการล้างครั้งที่ 2 เพือ่ ขจัดช้นั กระจกPSG ป้องกนั การร่ัวไหลของไฟฟ้า
ภายในแผน่ ไม่เปิดโอโซน
2.3 นำแผ่นทดสอบ 5แผน่ ทีช่ ง่ั นำ้ หนักก่อนล้างมาชัง่ น้ำหนกั และบันทึกค่าน้ำหนักอีก
รอบเพือ่ หาค่านำ้ หนักทีล่ ดไป
2.4 ติดสตก๊ิ เกอร์ “ไม่มีโอโซน” ทีใ่ บกระบวนการผลิตแผ่นโซลาร์เซลล์ และนำไปอบ
โอโซนในกระบวนการ RY หรือกระบวนการอบโอโซน เพื่อสร้างชั้นซิลิคอนได
ออกไซด์(SiO2)บางๆ เพิ่มความแข็งแรงและยืดอายุการใช้งาน เมื่อผ่านการอบ
โอโซนแลว้ ติดสติก๊ เกอร์ “มีโอโซน”
2.5 สง่ มอบใหแ้ ผนก ALD (การเคลือบแบบอะตอมมกิ ซ)์
3.4 ขอ้ ควรระวงั
หากสลับด้านล้างแผ่นซิลิคอนผิดจะให้เกิดแผ่นมืด และไม่สามารถตรวจพบได้ จะ
ตรวจสอบสอบพบในกระบวนตรวจสอบคร้ังสดุ ท้าย
3.5 คำศพั ทแ์ ผนกการลา้ งครั้งที่ 2
ลำดบั คำศพั ท์ พินอิน คำอ่านภาษาไทย คำแปล
1 亲水性 qīn shuǐ xìng ชินสุ่ยซิง่ การกระจายของหยดน้ำ
2 亲水性测试 qīn shuǐ xìng cèshì ชินสยุ่ ซิ่งเชอ้ เพี้ยน ทดสอบการกระจายของหยดน้ำ
3 合格 hégé เหอเกอ ผ่านการทดสอบ
ปู้เหอเกอ ไมผ่ า่ นการทดสอบ
4 不合格 bù hégé โช้วหยางจี เครื่องแพร่โอโซน
5 臭氧机 chòuyǎng jī
6 臭氧 chòuyǎng โช้วหยาง โอโซน
7 保养 bǎoyǎng เป๋าหย่าง การPMเครือ่ งจกั ร
8 去重 qù zhòng ชวีจ่ ้ง ลดน้ำหนักแผ่น
9 原重 yuán zhòng หยวนจ้ง น้ำหนกั ก่อนล้าง
10 余重 yú zhòng หยูจ้ง น้ำหนกั หลังลา้ ง
11 热氧 rè yǎng เรอ่ หยา่ ง อบโอโซน (RY)
12 无热氧 wú rè yǎng อู๋เร่อหย่าง ไมม่ ีโอโซน
13 已热氧 yǐ rè yǎng อีเ่ รอ่ หยา่ ง ผ่านการอบโอโซน
14 酸片 suān piàn ซวนเพี้ยน แผ่นติดกรด
15 目标 mùbiāo มเู่ ปียว ค่ามาตรฐาน
16 黑框 hēi kuāng เฮยชวง แผน่ ขอบข้างดำ
17 白班 báibān ปายปาน กะเชา้
18 夜班 yèbān เย้ปาน กะดึก
19 数量 shùliàng สู้เลีย้ ง จำนวน
20 擦皮带 cā pídài ชาผใี ต้ เช็ดสายพาน
21 开机 kāijī คายจี เปิดเครือ่ ง
22 异常 yìcháng อีฉ้ าง ผดิ ปกติ
ลำดับ คำศพั ท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
23 平均值 píngjūn zhí ผงิ จวินจ๋ือ ค่าเฉลี่ย
24 手插片 shǒu chā piàn โซ่วชาเพี้ยน แผน่ สมั ผัมมือ
25 氢氧化钾 qīng yǎnghuà jiǎ ชิงหย่าฮว้าเจย่ี Potassium Hydroxide (KOH)
26 氢氟酸 qīng fú suān ชิงฝูซวน Hydrofluoric acid (HF)
27 硝酸 xiāosuān เสียวซวน ไนตริก
4.กระบวนการเคลือบแบบอะตอมมิกซ์ หรอื ALD
เปน็ การเคลือบฟิลม์ บางด้วยเทคนิคแบบไอระเหยทางเคมี โดยใช้ความรอ้ น 260 องศา
ในสภาวะความดนั อากาศต่ำเพือ่ ขจัดสารปนเปื้อนในกระบวนการ กระบวนการน้ีจะผลิตเฉพาะ
แผ่นโซลาร์เซลล์แบบ PERC เท่านั้น หากเป็นกระบวนผลิตแบบปกติแผ่นซิลิคอนที่นำมาผลิต
เป็นแผน่ โซลารเ์ ซลล์จะไม่ผา่ นขบวนการน้ี
4.1 สิง่ ควบคมุ
1. ความหนาของฟิล์ม
2. อตั ราความเรว็ ในการก่อตวั ของอลูมิเนียมออกไซด์
4.2 สารเคมีที่ใช้
1. สารประกอบไตรเมทิลอลมู ิเนียม(TMA)
4.3 กระบวนการเคลือบแบบอะตอมมิกซ์ หรอื ALD
1. รบั งานจากแผนกการล้างครง้ั ที่2 กรณีแผ่นโมโนรบั งานจากการอบโอโซน
2. ขึน้ วัสดุ เครือ่ งดดู แผน่ เข้าบพั เฟอรแ์ ละวางในถาดเรือกราไฟล์
3. ถาดเรือกราไฟล์เข้าสู่ช่องกระบวนการ ALD ทำการเคลือบช้ันฟิล์มที่อุณหภูมิไม่เกิน
260 องศา โดยสูตรที่ใช้ในกระบวนการเคลือบชั้นฟิล์มคือ “Running with TMA
4+4”
4. เมื่อเคลือบฟิล์มเสร็จแล้วตัวดูดแผ่นจะทำการดูดแผ่นออกจากถาดเรือกราไฟล์
นำมาใสก่ ระเชา้ และลงวสั ดุ
5. สง่ มอบแผ่นซิลคิ อนใหแ้ ผนก PECVDต่อไป
4.4 ขอ้ ควรระวัง
1. การเคลือบฟิล์มทีไ่ ม่สมำ่ เสมอ สังเกตจากสีของแผ่นทีผ่ า่ นการเคลือบแล้ว
2. หากต้องการซ่อมบำรงุ เครอ่ื งตอ้ งลดอณุ หภูมิเคร่ืองก่อนซอ่ มบำรุงทุกคร้ัง
4.5 คำศัพทแ์ ผนกการเคลือบแบบอะตอมมิกซ์ หรอื ALD
ลำดับ คำศัพท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
1 สือหมอควง ถาดเรือกราไฟท์
石墨框 shímò kuāng
2 huàn shímò หว้ นสือหมอควง เปลี่ยนถาดเรือกราไฟท์
换石墨框
3 kuāng ซานเจีย่ อั้น สารTMA
4 三甲胺 sānjiǎ àn ถิงจอ่ื หยุดเครอ่ื งจกั ร
5 停止 จ๋ถี ิง หยดุ เคร่อื งจักรทนั ที
6 急停 tíngzhǐ เจินคง สญุ ญากาศ(PV)
7 真空 ฉางยา ความกดอากาศ(VAC)
8 常压 jí tíng เป๋าหย่าง ซอ่ มบำรุงเครือ่ งจกั ร (PM)
保养 zhēnkōng
9 cháng yā เซียวฝางซาเซียง ถังทรายดบั เพลิง
消防砂箱 bǎoyǎng
10 xiāofáng shā เมีย้ ฮว่อ ดับไฟ
11 灭火 ซีผาน เครื่องดดู แผ่น
12 吸盘 xiāng หยุ้ จ่ง
13 汇总 mièhuǒ ฉ่านเลีย่ ง รวม
14 产量 xīpán เสี้ยนเปีย๋ ยอดผลิต
15 线别 huìzǒng เอ่อเจ้า เลขเครื่อง
16 耳罩 chǎnliàng หลานหมอ ที่อุดหหู รอื ปลัก๊ หู
蓝膜 ช้ันฟิลม์ ทีเ่ คลือบแผน่
xiàn bié
ěr zhào
lán mó
5.กระบวนการสรา้ งฟิล์มพลาสมา หรอื PECVD
สร้างชั้นฟิล์มบนพื้นผิวแผ่นซิลิคอน ใช้เทคนิคการเคลือบฟิล์มด้วยไอเคมีโดยอาศัย
หลักการจ่ายกระแสไฟฟ้าพลังงานสูง ก่อให้สารแตกตัวเป็นสถานะพลาสมาเรียกว่า
กระบวนการ PECVD (PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition) วิง่ เขา้ ไปยึดเกาะยังพืน้ ผิว
ของแผ่นเซลล์ เกิดเป็นชั้นฟิล์มบางความหนาประมาณ 80 นาโนเมตร กระบวนการสร้างฟิล์ม
พลาสมา หรอื PECVD มีกระผลติ 2 แบบ ดงั นี้
1. กระบวนการผลิตแบบปกติ (Normal) ไม่เคลือบชั้นฟิล์มหลังแผ่นและไม่ผ่าน
กระบวนการเคลือบฟิลม์ แบบอะตอมมกิ ซ์(ALD)
2. กระบวนการผลิตแบบ PERC กระบวนการนี้จะเคลือบฟิล์มทั้งด้านหน้าและ
ด้านหลงั แผน่
5.1 สิ่งควบคุม
1. ความหนาของฟิลม์
2. อตั ราการหกั เหแสง
5.2 สารเคมีทีใ่ ช้
1. ไซเลน (SiH4) เมื่อไซเลนรวมตัวกับแอมโมเนีย (NH3) ทำให้เกิดปฏิกิริยาก่อเกิดชั้น
ฟิลม์
2. แอมโมเนีย (NH3)
3. ไนโตรเจน (N2) ใช้ควบคมุ อัตราการไหลเวียนของสารในระบบ
5.3 กระบวนการสรา้ งฟิล์มพลาสมา หรอื PECVD
1. การเคลือบฟิล์มพลาสมาด้านหน้าหรอื PECVDดา้ นหน้า
1.1 กรณีผลิตแผ่นโซลาร์เซลล์กระบวนการปกติจะรับงานมาจากแผนกการล้างคร้งั
ที2่ หากเป็นการผลิตแผน่ โซลาร์เซลล์กระบวนการ PERC จะรบั งานมาจาก ALD
1.2 ขึ้นวัสดุโดยนำกระเช้าขึ้น เครื่องแทรกจับแผ่นซิลิคอน
ครั้งละ 22 แผ่น ใส่ลงในเรือกราไฟท์ โดยเรือกราไฟท์ 1
ลำบรรจุแผ่นซิลคิ อนได้ 308แผน่
1.3 นำเรือที่ตบแล้วเข้าหลอดเตาทำการอบเพื่อเคลือบฟิล์มพลาสมา โดยจะมีสูตรที่
ใช้เคลือบฟิล์มแบง่ ตามชนิดของแผน่ ดังน้ี
สตู รทีใ่ ช้เคลือบแผ่นซิลิคอนชนิดโพลี โดยปกติใช้สตู ร zt36pp หากมีการเปลี่ยน
เรือใหม่ใชส้ ตู ร zx36pp
สูตรที่ใช้เคลือบแผ่นซิลิคอนชนิดโมโน โดยปกติใช้สูตร zt36mp หากมีการ
เปลี่ยนเรือใหมใ่ ชส้ ตู ร zx36pp
1.4 เมื่อเคลือบแผ่นซิลิคอนเสร็จแล้ว นำเรือออกจากหลอดเตาและ
ตากเรือเพื่อลดอุณหภมู ิก่อนนะเข้าเครื่องแทรกเพื่อนำแผ่นซิลิคอน
ออกจากเรือ ก่อนนำเรือเข้าเครือ่ งแทรกต้องตบเรือกอ่ นทุกคร้ัง
1.5 เครื่องแทรกจับแผ่นซิลิคอนที่ผ่านการอบแล้วออกจากเรือกรา
ไฟท์เพื่อจะนำเข้ากระเช้า ระหว่างที่แผ่นซิลิคอนไหลผ่านสายพาน ต้องทำการ
ตรวจแผ่น โดยสังเกตจากลักษณะภายนอกของแผ่น ถ้ามีความผิดปกติแจ้งต่อ
ฝ่ายเทคโนโลยีเข้ามาทำการแก้ไขพร้อมแจง้ เบอร์เบอรแ์ ละเบอร์เตาดว้ ย
1.6 ทุก 1-3 ชั่วโมง ต้องเก็บแผ่นซิลิคอนเตาละ7แผ่นไปวัดอัตราการหักเหแสงและ
ค่าความหนาของฟิล์ม
ชนิดแผน่ รายการ ค่าควบคุมสงู กว่า คา่ ควบคมุ คา่ คา่ ควบคมุ ค่าควบคุมต่ำกว่า
มาตรฐาน สงู สดุ มาตรฐาน ตำ่ สุด มาตรฐาน
PP ความหนาแผ่น 86 84 82 80 76
อตั ราหักเหแสง 2.1 2.08 2.06 2.04 2.02
MP ความหนาแผ่น 84 80 78 76 72
อัตราหักเหแสง 2.14 2.12 2.1 2.08 2.04
แผน่ ขาว แผ่นแดง
1.7 ส่งแผ่นซิลิคอนไปเคลือบฟิล์มพลาสมาด้านหลัง หากเป็นกระบวนการปกติ
สามารถส่งมอบแผ่นซิลิคอนไปยังแผนกพิมพ์สกรีนได้เลย โดยไม่ต้องเคลือบ
ฟิล์มพลาสมาด้านหลงั และไม่ผา่ นข้ันตอนเลเซอร์
2. การเคลือบฟิล์มพลาสมาด้านหลังหรอื PECVDดา้ นหลงั
1.1 รับแผ่นซิลิคอนมาจาก PECVDด้านหน้า ขั้นตอนนนี้จะผลิตเฉพาะแผ่นโซลาร์
เซลลแ์ บบPERC
1.2 ขึ้นวัสดุโดยนำกระเช้าขึ้น เครื่องแทรกจับแผ่นซิลิคอนครั้งละ 22 แผ่น ใส่ลงใน
เรือกราไฟท์ โดยเรอื กราไฟท์ 1 ลำบรรจแุ ผน่ ซิลคิ อนได้ 308แผน่
1.3 นำเรือเที่ตบแล้วเข้าหลอดเตาทำการอบเพื่อเคลือบฟิล์มพลาสมา ขั้นตอนการ
เคลือบฟิลม์ ด้านหลงั แผ่นต้องใช้เรือที่มีสัญลักษณ์ T เท่านั้น เช่น T004 สูตรที่ใช้
เคลือบฟิลม์ แบ่งตามชนิดของแผน่ ดงั น้ี
สตู รทีใ่ ช้เคลือบแผน่ ซิลคิ อนชนดิ โพลี โดยปกติใช้สูตร pebmgy
สูตรที่ใช้เคลือบแผน่ ซิลคิ อนชนดิ โมโน โดยปกติใช้สูตร djbmgy
1.4 เมื่อเคลือบแผ่นซิลิคอนเสร็จแล้ว นำเรือออกจากหลอดเตาและตากเรือเพื่อลด
อุณหภูมิก่อนนะเข้าเครื่องแทรกเพื่อนำแผ่นซิลิคอนออกจากเรือ ก่อนนำเรือเข้า
เครือ่ งแทรกต้องตบเรือก่อนทกุ คร้ัง
1.5 เครือ่ งแทรกจับแผ่นซิลิคอนที่ผ่านการอบแล้วออกจากเรอื กราไฟท์เพื่อจะนำเข้า
กระเช้า ระหว่างที่แผ่นซิลิคอนไหลผ่านสายพาน ทำการตรวจแผ่นและคัดแยก
แผน่ ทีม่ ีตำหนอิ อก และส่งมอบแผน่ ซิลคิ อนใหแ้ ผนกเลเซอร์
5.4 ขอ้ ควรระวงั
1. การยกกระเช้าที่ใส่แผ่นซิลิคอนควรระมัดระวังไม่ให้มือสัมผัสแผ่นซิลิคอน หากมือ
สัมผัสกับแผ่นซิลิคอนจะทำให้เป็นรอยนิ้วมือและไม่สามารถตรวจสอบได้ด้วยตา
เปลา่ จะไปตรวจพบในแผนกสดุ ท้าย
2. การสวมถงุ มอื ต้องเปลี่ยนถุงมือบอ่ ย ๆ ไมใ่ หม้ ีเหงือ่ ออกมาสัมผัสกบั แผน่
3. ระมัดระวังการขึ้นวัสดุให้ถูกต้องตามที่กำหนด หากขึ้นวัสดุผิดจะทำให้อบแผ่นผิด
ด้าน
4. ระมัดระวังแผ่นร่วงในหลอดเตาระหว่างเคลือบฟิล์ม ต้องตบเรือให้แผ่นลงในช่อง
หมุดให้เรียบร้อย หากมีแผ่นร่วงจะทำให้เกิดความเสียหายทั้งลำเรือ หากตบเรือ
แล้วแผ่นไม่ลงใหใ้ ช้ปากกาดูดแผน่ นำแผ่นเข้าชอ่ งหมุด
5.5 คำศพั ทแ์ ผนกการฟิลม์ พลาสมา (PECVD)
ลำดบั คำศัพท์ พินอิน คำอ่านภาษาไทย คำแปล
1 膜厚大
2 石墨舟 mó hòu dà หมอโหว้ ต้า ฟิลม์ หนาเกินค่ามาตรฐาน
3 卡针印 shímò zhōu
4 卡黑斑 kǎ zhēn yìn สือโมโ้ จว เรือกราไฟท์
5 重测 kǎ hēi bān
6 卡片 ข่าเจินอิน้ รอยหมดุ เรือ
7 膜厚 zhòng cè
8 打舟 kǎpiàn ขา่ เฮยปาน รอยดำบนแผน่
9 舟号 mó hòu
10 炉管 dǎ zhōu จ้งเชอ้ ตรวจสอบใหมอ่ กี ครั้ง
11 发红
12 发白 zhōu hào ขา่ เพี้ยน แผ่นติด แผน่ ค้าง
13 气管 lú guǎn
14 配方 fà hóng หมอโห้ว ความหนาฟิลม์
fā bái
Qìguǎn ตา่ โจว ตบเรอื
pèifāng
โจวหา้ ว หมายเลขเรือ
ลูก่ วา่ น หลอดเตา
ฟาหง แผน่ แดง
ฟาไป๋ แผน่ ขาว
ชกี้ วา่ น ท่ออากาศ
เพ้ยฟาง สตู ร
ลำดบั คำศัพท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
15 常规片 chángguī piàn ฉางกุยเพี้ยน แผน่ ปกติ (normal)
บัฟเฟอร์
16 缓冲盒 huǎnchōng hé หว่ นชงเหอ
มอื กล(โรบอท)
17 机械手 jīxièshǒu จเี ซีย่ โสว่ ปากกาลมดดู แผน่
ฟิลม์ ด้านหน้าแผ่น
18 吸笔 xī bǐ ซีปี่ ฟิล์มด้านหลงั แผน่
อัตราหกั เหแสง
19 正膜 zhèng mó เจิง้ หมอ อัตราหักเหแสงสูง
20 背膜 bèi mó เป้ยหมอ สายพาน
21 折射率 zhéshè lǜ เจ๋อเช้อลวี้ รถเข็นเรือกราไฟท์
22 高折射率 gāo zhéshè lǜ เกาเจ๋อเช้อลวี้
23 皮带 pídài ผใี ต้
24 石墨舟小推 shímò zhōu สือโม้โจวเสี่ยวทุย
车 xiǎo tuī chē เชอ
25 吸收性 xīshōu xìng ซีโซวซิง่ ดูดแสง
26 减反射 Jiǎn fǎnshè เจีย๋ นฝา่ นเส้อ ลดการสะท้อนแสง
27 无臭氧 wú xiù yǎng อู๋โชว้ หย่าง ไม่มีโอโซน
28 SPC 管理 SPC guǎnlǐ SPCกว๋านหล่ี ระบบ SPC
29 镀膜 dùmó ตู๋หมอ เคลือบฟิลม์
30 小白点 xiǎo bái diǎn เสี่ยวไป๋เตีย่ น จดุ ขาวเล็ก
31 盐酸 yánsuān เหยียนซวน กรดไฮโดรคลอริก
32 氢氟酸 qīng fú suān ชิงฝซู๋ วน กรดไฮโดรฟลูออริก
33 氢氧化钾 qīng yǎnghuà ชิงหย่างฮว้าเจย่ี โพแทสเซียมไฮดรอกไซด์
jiǎ
34 硝酸 xiāosuān เซียวซวน กรดไนตรกิ
35 检测片 jiǎncè piàn เจีย่ นเชอ้ เพี้ยน การทดสอบแผ่น
36 吸碎片 xī suìpiàn ซีสยุ้ เพี้ยน ดูดแผ่นแตก
37 烘舟 hōng zhōu ฮงโจว อบเรือ
38 插片机 chā piàn jī ชาเพี้ยนจี เครือ่ งแทรก
39 换石墨舟 huàn shímò หว้ นสือองิ โจว เปลี่ยนเรือกราไฟท์
zhōu ยกเรือ
40 抬舟 tái zhōu ถายโจว
6. กระบวนการเลเซอร์
กระบวนการเลเซอร์จะใช้แสงเลเซอร์เปิดผวิ หน้าของแผน่ เซาะให้เป็นร่อง และแผ่นที่จะ
ผา่ นกระบวนการเลเซอร์ ต้องเป็นแผ่น ทีใ่ ชก้ บั งาน PERC เท่าน้ัน
6.1 สิ่งควบคมุ
ความกว้างของช่องที่ถูกเซาะร่อง 32-40 ไมโครเมตร และขอบร่อง ควรเป็นแนว
เส้นตรง ความสมบูรณข์ องร่องทีถ่ ูกเซาะจะสง่ ผลตอ่ ประสิทธิภาพของแผ่น
6.2 กระบวนการเลเซอร์
1. รบั แผน่ งานจากแผนกPECVD งานที่ยังไม่เลเซอร์จะไมต่ ิดสติกเกอร์
2. ก่อนจะทำการเลเซอรต์ ้องตรวจสูตรว่าตรงกบั งานทีร่ ับมาหรอื เปล่า
3. เมื่อรับงานมานำกระเซ้ามาขึ้นวัสดุ โดยการนำเข้าเครื่องเลเซอร์ เครื่องจะทำการ
เลเซอร์แผ่น
4. การลงวัสดุ เมื่อแผ่นที่ทำการเลเซอร์เสร็จแล้ว กระเซ้าที่บรรจุแผ่นจะต้องมีสติก
เกอรต์ ิด
5. นำสง่ กระบวนการต่อไป
6.3 ข้อควรระวัง
1. หา้ มนำแผ่นทีไ่ ม่ผ่านการยิง่ เลเซอร์ และแผน่ ที่ผ่านการยิ่งเลเซอร์แลว้ รวมกัน
2. ห้ามปล่อย แผ่นที่ไม่ผ่านการยิ่งเลเซอร์ไปกระบวนการต่อไป เพราะจะทำให้เกิด
แผ่นทีม่ ีประสทิ ธิภาพต่ำ หรอื Trash
3. ต้องใช้สูตรใหถ้ ูกต้องกบั แผ่นงาน
หมายเหตุ
1. แผน่ ซิลคิ อนที่ผลิตดว้ ยกระบวนการPERCจะผ่านการเลเซอร์
2. แผ่นซิลคิ อนที่ผลิตดว้ ยกระบวนการปกติจะไมผ่ า่ นกระบวนการเลเซอร์
6.4 คำศพั ท์แผนกเลเซอร์
ลำดบั คำศพั ท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปลภาษาไทย
1 激光机 จกี วงจี เครื่องเลเซอร์
2 激光 Jīguāng jī จกี วง เลเซอร์
3 上料 jīguāng ช้างเลีย้ ว ขนึ้ วสั ดุ
4 下料 เช้ยี เลี้ยว ลงวสั ดุ
5 蓝花 shàng liào หล๋านฮัว กระเซ้า
xià liào
lán huā
7. แผนกการพมิ พส์ กรีน
เป็นกระบวนการพิมพข์ ว้ั ไฟฟ้าบวก ขั้วไฟฟ้าลบ และสนามไฟฟ้า บนแผน่ ซิลคิ อน
7.1 สิง่ ที่ควบคมุ
1. น้ำหนักเปียก
2. ตำแหนง่ เส้น ความกว้าง ความสงู หนา บาง ของเส้นขวั้ ไฟฟ้า
7.2 สารเคมีที่ใชใ้ นการพิมพ์แผงวงจร
1. สารกาวเงิน
2. สารกาวอลูมิเนียม
7.3 กระบวนการพิมพ์แผงวงจรไฟฟ้า
การพิมพ์ การพิมพ์ การพิมพ์ การพมิ พ์ เตาเผา เตา
สกรีน- สกรนี - สกรีน- สกรนี - เช่อื ม ลดทอน
ขว้ั ไฟฟา้ สนามไฟ ขว้ั ไฟฟา้ สนามไฟ แสง
ด้านหลัง ฟ้า ดา้ นหนา้ ฟา้
เคร่ืองที่ ดา้ นหลัง เครื่องที่ ดา้ นหน้า
หน่ึง เครือ่ งท่ี สาม
สอง เครอื่ งท่สี ่ี
1. กระบวนการการพิมพ์สกรนี -ข้วั ไฟฟา้ ด้านหลงั เครอ่ื งท่1ี
น้ำยาทใ่ี ช:้ สารกาวเงิน
1.1 รับงานมาจากกระบวนการเลเซอร์ โดยการนำแผ่นที่ผ่านกระบวนการเลเซอร์
แล้วมาขึน้ วสั ดุ
1.2 การพิมพ์สกรีน-ขั้วไฟฟ้าด้านหลังเครื่องที่หนึ่ง เวลาเติมสารกาวเงินจะเติม
บล็อกสกรีนด้านหนา้
1.3 การพิมพ์สกรีน-ขั้วไฟฟ้าด้านหลังเครื่องที่หนึ่ง จะต้องดูการพิมพ์เส้นสีขาวว่า
ครบหรอื ไม่ ถ้าพมิ พ์ตัวเส้นสีขาวไม่ครบจะเปน็ งานทำซ้ำทันที
1.4 ทุก 30 นาทีจะต้องนำกระดาษปลอดฝุ่นใส่แอลกอฮอล์มาเช็ดทำความสะอาด
บริเวณฐานดา้ นล่างของฐานพิมพ์สกรีน
1.5 จะชั่งนำ้ หนักเปียก 3 ครั้ง ทุก 4 ชวั่ โมง
2. กระบวนการการพิมพส์ กรนี -สนามไฟฟ้าด้านหลังเคร่อื งที2่
น้ำยาทใ่ี ช:้ สารกาวอลูมิเนียม
1.1 เมื่อผ่านกระบวนการการพิมพ์สกรีน-สนามไฟฟ้าด้านหลังเครื่องที่1มาแล้ว จะ
ถกู ส่งตอ่ มายังเครือ่ งทีส่ อง
1.2 การพิมพ์สกรีน-สนามไฟฟ้าด้านหลังเครื่องที่สอง จะพิมพ์โดยใช้สารกาว
อลมู ิเนยี ม
1.3 การเติมสารของเครอ่ื ง2 จะไมเ่ หมอื นกบั เครือ่ งอน่ื เครอ่ื ง2จะเตมิ สาร
ผา่ นถงั ข้างหลงั เครื่อง
1.4 จะชงั่ นำ้ หนกั เปียก 3 ครั้ง ทกุ 4 ชว่ั โมง
รูปแบบการพิมพ์สนามไฟฟา้ ด้านหนา้ :
ปจั จุบันบริษทั ใช้งานอย2ู่ แบบคือ Double Print และ Dual Print
3. กระบวนการการพิมพ์สกรนี -ข้ัวไฟฟา้ ด้านหน้าเครือ่ งท่3ี
นำ้ ยาท่ใี ช:้ สารกาวเงิน
1.1 เมื่อผ่านกระบวนการการพิมพ์สกรีน-ขั้วไฟฟ้าด้านหลังเครื่องที่2มาแล้ว จะถูก
ส่งต่อมายงั เครื่องที่ การพิมพส์ กรีน-ข้ัวไฟฟ้าด้านหนา้ เครื่องที3่
1.2 ต้องดูเส้นหลกั 5 เส้นวา่ มีครบหรือไม่
1.3 ทำการช่ังนำ้ หนักเปียก 3 ครั้ง ทกุ 4 ชวั่ โมง
4.การพมิ พ์สกรีน-สนามไฟฟ้าดา้ นหน้าเครือ่ งท่4ี
นำ้ ยาท่ใี ช:้ สารกาวเงิน
1.1 เมื่อผ่านกระบวนการการพิมพ์สกรีน-สนามไฟฟ้าด้านหน้าเครื่องที่3มาแล้ว จะ
ถกู ส่งตอ่ มายงั การพิมพ์สกรีน-สนามไฟฟ้าด้านหน้าเครือ่ งที่4 ทำการ
1.2 เครื่อง4 เวลาเชด็ บลอ็ กสกรีนจะใช้นำ้ มันสนในการเชด็
1.3 ทุก5นาที ต้องตรวจสอบเส้นหนา เส้นขาด น้ำยารัว่ ท้ังด้านหนาและด้านหลัง
1.4 ชงั่ นำ้ หนักเปียก 3 คร้ัง ทุก 4 ชัว่ โมง
1.5 เมื่อเครื่อง4ทำการพิมพ์แผงวรจรเสร็จแล้ว แผ่นจะถูกส่งเข้าไปยังเตาเผาเพื่อ
เชื่อมขั้วไฟฟ้า หลังจากนั้นจะส่งเข้าไปยังเตาลดทอนแสง และไปยังกระบวนการ
ต่อไป
7.4 เตาเผา
เผาทำการเชื่อมต่อขั้วไฟฟ้าที่สร้างขึ้นในขั้นตอนที่แล้วให้เกิดรอยต่อโอห์มมิกในแผ่น
ซิลคิ อน
การควบคุม: อณุ หภูมิใหต้ รงกับรุ่นงานทีผ่ ลิต
7.5 เตาลดทอนแสง
Light Induced Degradation หรือ LID เป็นการสลายตัว ที่เกิดจากแสงของแผ่นซิลิคอน
เมือ่ สมั ผสั แสงแดดใน 1 ช่วั โมงแรก ทำให้ประสิทธิภาพของแผ่น โซลารเ์ ซลลล์ ดลง ที่อาจส่งผล
กระทบต่อประสิทธิภาพการท างานทีแ่ ท้จริงของข้อมูลที่ทา การทดสอบ ไป ปกติจะยอมรับค่า
การลดทอนประมาณ 1%-3% หรอื ตามข้อกำหนดของแตล่ ะร่นุ งาน
1. กระบวนการการดำเนินการ
ใช้เตาลดทอนทีค่ วบคุมความเข้มแสงและอณุ หภมู ิ และตรวจสอบอัตรากาลดทอนไม่ให้
เกินค่าทีก่ ำหนด
การควบคุม:อุณหภมู ิใหต้ รงกับรนุ่ งานที่ผลิต:156P-P, 156M-P
7.6 คำศพั ท์แผนกพมิ พส์ กรีน
ลำดับ คำศพั ท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
ลวี่เจียง กาวอลูมิเนียม
1 铝浆 Lǚ jiāng กุ่ยต้าว
2 轨道 guǐdào อนิ๋ เจียง เลน
3 银浆 yín jiāng กัวเถียว กาวเงิน
4 刮条 guā tiáo หวางป่าน ที่ปาดสีเขยี ว
5 网版 wǎng bǎn บลอ็ กสกรียน
6 擦网版 cā wǎng bǎn ชาหวางป่าน เชด็ บล็อกสกรีน
7 擦台面 cā táimiàn ชาไถเมีย้ น เชด็ ฐานบลอ็ กสกรีน
8 背电极 เบ้ยเตี้ยนจ๋ี ขั้วไฟฟ้าด้านหลัง
9 背电场 bèi diànjí เบ้ยเตี้ยนช่าง สนามไฟฟ้าด้านหลัง
10 正电极 bèi diànchǎng เจิง้ เตยี้ นจี๋ ขั้วไฟฟ้าด้านหนา้
zhèng diànjí
ลำดบั คำศัพท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
11 正电场 Zhèngdiànchǎng เจงิ้ เตยี้ นช่าง สนามไฟฟ้าด้านหนา้
12 胶带 jiāodài เจียวไต้ เทปกาว
13 烘干箱 hōng gān ฮงกานเซียง เตาอบ
14 参数 xiāng ชานซู้ พารามิเตอร์
cānshù
15 酒精 jiǔjīng จ๋ิวจงิ แอลกอฮอล์
16 松油村 sōng yóu cūn ซงโหยวซุน น้ำมนั สน
17 漏浆 lòu jiāng โล้วเจยี ง น้ำยาร่ัว
18 断栅 duàn zhà ต้วนจ้า เส้นขาด
19 湿重 shī zhòng ซือจ้ง น้ำหนกั เปียก
20 搅拌机 jiǎobànjī เจีย่ วป้านจี เครือ่ งกวนน้ำยา
21 皮带印 pídài yìn ผไี ต้อนิ้ รอยสายพาน
22 无尘纸 wú chén zhǐ อู๋เฉิงจือ่ กระดาษปลอดฝุ่น
23 速度 sùdù ชู้ตู้ ความเร็ว
24 压力 yālì ยาลี้ ความดนั
25 间距 jiānjù เจียนจู้ ความถี่
26 刮刀 guādāo กัวตาว มีดปาด
27 板刮 bǎn guā ปา่ นกัว ใบมีดปาด
8. กระบวนการตรวจสอบและการคัดแยกประสิทธิภาพ
ตรวจสอบและคัดแยกแผ่นเซลล์แสงอาทิตย์ที่ผลิตออกมาตามประสิทธิภาพในการ
แปลงพลังงานและรปู ลกั ษณ์ภายนอกของแผ่น
8.1 กระบวนการตรวจสอบและการคัดแยกประสิทธิภาพ
1. เมื่อแผนกตรวจสอบและคัดแยกประสืทธิภาพรับงานมาจากแผนกพิมพ์สกรีน แผ่น
งานทั้งหมดก็จะถูกส่งผ่านไปยังเครื่องGP เพื่อทำการคัดแยกสีและคุณลักษณะของ
ชิน้ งาน
2. หลังจากทำการคัดแยกสีเสร็จแล้วก็จะถูกส่งต่อไปยังเครื่องHALM เพื่อทำการ
ตรวจสอบคดั แยกประสิทธิภาพ
3. เมื่อเครื่องHALM ทำการตรวจสอบคัดแยกประสิทธิภาพแผ่นงานก็จะถูกคัดแยกไป
ตามกล่องที่ระบุค่าประสิทธิภาพต่างๆ พอแผ่นงานครบ 100 แผ่น เครื่องก็จะส่ง
สัญญาณแจง้ เตอื น
4. การเก็บแผ่นงานที่ตรวจสอบและคัดแยกประสิทธิภาพ ป้ายสีและประสิทธิภาพ
จะต้องตรงกับแผ่นงานที่ถูกคัดแยกออกมา ถ้าหาก]ไม่ตรงจะทำให้งานเกิดความ
เสียหาย
5. ทุก 45 นาทีจะทำการทดสอบEL จะนำแผ่นงานต้ังแตไ่ ลน1์ ถึงไลน4์ โดยคร้ังแรกจะ
ทดสอบ 30 แผ่น และคร้ังต่อไป 100 แผ่น เพือ่ ค้นหาสิง่ ทีม่ องด้วยตาเปลา่ ไม่เหน็
6. คา่ ประสทิ ธิภาพของงานโพลี (PP PERC)จะไมต่ ำ่ กวา่ 19.70 และไม่เกิน 19.90
7. สว่ นคา่ ประสทิ ธิภาพของงานโมโน (MP PERC)จะไมต่ ่ำกวา่ 21.70 และไมเ่ กิน 21.90
8. รหสั สีจะมีอยู่ 4 รหัส คือ
รหัสสี L0-T1 คือ สีเข้มที่สูงกว่ามาตรฐาน รหสั ตัวเลข คือ 4
รหสั สี L0-T2 คือ สีเข้มทีต่ ่ำกว่ามาตรฐาน รหสั ตัวเลข คือ 0
รหัสสี L1-T1 คือ สีอ่อนที่สูงกวา่ มาตรฐาน รหสั ตวั เลข คือ 1
รหสั สี L0-T1 คือ สีอ่อนที่สงู กว่ามาตรฐาน รหัสตัวเลข คือ 2
8.2 คำศัพทแ์ ผนกเรียงลำดบั
ลำดบั คำศพั ท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
1 计数 jìshù จ้ชี ู้ นับจำนวน
2 油污 yóuwū โหย๋อู แผ่นติดคราบน้ำมนั
3 料盒 liào hé เลี้ยวเหอ กล่องใสแ่ ผน่
4 边缘漏电 biānyuánlòudiàn เปียนหยวนโลว้เตยี้ น แผน่ ไฟฟ้ารั่วขอบ
5 人为碎 rénwéi suì เยนิ๋ เหว๋ยซุ้ย คนทำแตก
6 EL 碎 EL suì อีแอลซุ้ย ELแตก
7 合集 héjí เหอลี๋ รวมท้ังหมด
8 网框 wǎng kuāng หวางควง ฐานขางบนของบล็อกสกรีน
9 探针 tàn zhēn ท้านเจิน ปรบั เข็ม
10 漏电 lòudiàn โลว้เตยี้ น ไฟร่ัว
ลำดบั คำศัพท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
11 卡漏 ค่าโลว้ แผน่ ไฟรวั่
12 SPC 管理 kǎ lòu ระบบบนั ทึกข้อมลู SPC
13 虚印 SPC guǎnlǐ เอสพีซีกว่ นลี่ เส้นทีไ่ ม่ชดั เจน
14 手指印 ซูอิน้ รอยสัมผัสมือ
15 黑线 xū yìn เส้นดำ
16 划伤 shǒuzhǐ yìn โสว่จ่อื อิน้ รอยขีดขว่ น
17 隐裂 เฮยเซีย้ น แผน่ ร้าว
18 暗片 hēi xiàn ฮั้วชาง แผน่ มดื
19 交叉裂 huà shāng อิ่นเลีย้ รอยกากบาท
20 效率 อ้ันเพีย้ น ประสิทธิภาพ
21 低效率 yǐn liè เจียวชาเลี้ย ประสิทธิภาพต่ำ
22 放片 àn piàn เซยี้ วลวี้ ปลอ่ ยแผน่
23 黑斑 jiāochā liè ตีเซี้ยวลวี้ จุดดำ/ปานดำ
24 箱子 xiàolǜ ฟ้างเพี้ยน
25 搬片 dī xiàolǜ เฮยปาน กล่อง
26 满档 fàng piàn เซียงจึ แผน่ รั่วตรงกลาง
hēi bān ปานเพี้ยน เครื่องที่ใสแ่ ผ่นเต็มแลว้
xiāngzi ม่านต้าง
bān piàn
mǎn dàng
9.แผนกตรวจสอบสุดทา้ ยและการบรรจุภัณฑ์
คัดแยกแผ่นเซลล์แสงอาทิตย์ตามเกณฑ์ที่กำหนด ทั้งตรวจสอบโดยแรงงานคน และ
ตรวจสอบโดยเครื่อง เพื่อเป็นการยืนยันลักษณะโดยรวมภายนอกของผลิตภัณฑ์อยู่ในเกณฑ์
ปกติ หลังจากการตรวจสอบเสร็จสิ้น หลังจากนั้นจึงเป็นขั้นตอนของการบรรจุและเก็บไว้ใน
คลงั ตามประเภทและ ประสิทธิภาพของผลิตภณั ฑ์
9.1 กระบวนการตรวจสอบสดุ ทา้ ย
กระบวนการตรวจสอบสุดท้ายตรวจสอบข้อบกพร่อง สี และองค์ประกอบโดยรวม
ภายนอกของแผ่นเซลล์ แสงอาทิตย์และคัดแยกตามประสิทธิภาพ และบรรจุตามประเภท
โดยมีกระบวนการดงั ตอ่ ไปนี้
1.1 เมื่อรับแผ่นงานมาจากแผนกตรวจสอบและคัดแยกประสิทธิภาพแล้ว นำมาคัดแยกสี คัด
แยกประสิทธิภาพ
1.2โดยการคดั แยกสีจะตรวจสอบโดยแรงงานคน
งานโพลี(PP PERC)จะแบ่งเป็นบิลสีมาตรฐาน 5 สี คือ
สีฟ้า ใช้รหัส L0-T1
สีเชยี ว ใช้รหสั L0-T2
สีมว่ ง ใช้รหสั L1-T1
สีเหลอื ง ใช้รหัส L1-T2
สีแดง ใช้รหสั M1-T2
งานโมโน(MP PERC)จะแบ่งเปน็ บิลสีมาตรฐาน 3 สี คือ
สีเชยี ว ใช้รหัส L1-T1
สีม่วง ใช้รหัส M1-T2
สีเหลอื ง ใช้รหัส D1-T1
เมื่อคัดแยกสีและประสิทธิภาพเสรจ็ แล้ว นำแผ่นงานมาทดสอบEL เพื่อตรวจสอบสิ่งที่มอง
ด้วยตาเปล่าไม่เห็น อย่างเช่น แผ่นร้าว รอยสัมผัสมือ รอยขีดข่วน เป็นต้น แล้วจึงนำส่ง
ตอ่ ไปกระบวนการต่อไป
9.2 กระบวนการบรรจภุ ัณฑ์
1. พบั กลอ่ งสำหรบั บรรจภุ ณั ฑไ์ ว้รอบรรจแุ ผ่นงาน โดยจะมีแผน่ สำหรับกนั กระแทก
2. รับแผ่นงานที่ตรวจสอบคัดแยกสีและประสิทธิภาพมาบรรจุใส่ในถุงพลาสติก นำ
แผ่นกระดาษขาวใส่ไว้ทั้งหน้าและหลัง โดย 1 ถุงจะมี 100 แผ่น หลังจากนั้นก็จัดลง
กล่อง พร้อมตดิ สติกเกอร์ประสิทธิภาพ ประเภทของผลติ ภัณฑ์
9.3 คำศัพทแ์ ผนกตรวจสอบสดุ ทา้ ยและการบรรจภุ ัณฑ์
ลำดบั คำศพั ท์ พินอิน คำอ่านภาษาไทย คำแปล
1 电极印反 diànjí yìn fǎn เตี้ยนจ๋อี ้ินฟ่าน สกรีนสลบั ขั้ว
2 穿孔 chuānkǒng เชวียนค่ง แผ่นเป็นรู
3 背电场不良 bèidiànchǎngbùliáng เป้ยเตี้ยนชา่ งปู้เลี๋ยง แผน่ ด้านหลังเป็นNG
4 异物 yìwù ออี้ ู้ พืน้ ด้านหลังมสี ิ่ง
แปลกปลอม
5 舟印 zhōu yìn โจวอิ้น รอยเรือ
6 烧结不良 shāojié bùliáng เชาเจีย๋ ปู้เลยี๋ ง เคลือบมาไม่ดี
ลำดับ คำศัพท์ พินอิน คำอ่านภาษาไทย คำแปล
7 栅线偏移 zhà xiàn piān yí จา้ เซียนเพียนอี๋ เส้นซ้อนกนั
8 背电极不良 bèi diànjí bùliáng เบ้ยเตี้ยนจ๋ปี ู้เลี๋ยง เส้นขั้วไฟฟ้าด้านหลัง
เปน็ NG
9 正电极不良 zhèng diànjí bùliáng เจงิ้ เตยี้ นจปี๋ ู้เลยี๋ ง เส้นขั้วไฟฟ้าด้านหนา้
เปน็ NG
10 背电场偏移 bèidiànchǎngpiān yí เบ้ยเตี้ยนช่างเพียน เส้นทั้งแผน่ ซ้อนกัน
ด้านหลัง
อี๋
11 背电场油污 bèi diànchǎng เบยี้ เตีย้ นชา่ งโหยวอู คราบน้ำมันด้านหลงั
yóuwū
12 背电场镀膜 bèi diànchǎng dùmó เบ้ยเตี้ยนช่างตโู้ ม้ เปือ้ นรอยอลูมิเนียม
13 浆料 jiāng liào เจียงเลีย้ ว เปือ้ นน้ำยา
14 脏污 zàng wū จา้ งอู คราบสกปรกขนาด
ใหญ่
15 油污 yóuwū โหยวอู คราบน้ำมัน
16 弯曲 wānqū หวานซู แผน่ โค้งงอ
17 线痕 xiàn hén เซยี้ นเฮิ๋น เส้นไม่ตรง
18 手指纹 shǒu zhǐwén โสว่จอ่ื เวิ๋น เส้นสัมผสั มือ
19 偏磷酸 piān línsuān เพียนหลิ๋นชวน แผ่นติดกรด
20 崩边 bēng biān เปิงเปียน ขอบข้างพงั
21 发黄 fā huáng ฟาฮว๋ัง แผ่นเหลือง
22 线粗 xiàn cū เซีย้ นชู เส้นหนา
23 划伤 huà shāng ฮั้วชาง รอยขีดข่วน
25 缺角 Quē jiǎo เซวเจี่ยว มมุ บิ่น
26 黑斑 hēi bān เฮยปาน จดุ ดำ/ปานดำ
27 皮带印 pídài yìn พี๋ไต้อ้นิ รอยสายพาน
28 隐裂 yǐn liè อิ่นเลยี้ รอยร้าว
29 漏电 lòudiàn โลว้เตยี้ น แผน่ ไฟร่ัว
30 花纹 huāwén ฮ้ัวเหวิ๋น แผ่นแตกระแหง
ลำดับ คำศพั ท์ พินอิน คำอ่านภาษาไทย คำแปล
31 吸笔印 ซีปี่อนิ้ รอยดดู แผน่
32 色差 xī bǐ yìn เชอ้ ช้า สีไม่สมำ่ เสมอ
33 小白点 sèchà
34 EL 机 xiǎo bái diǎn เซีย่ วป๋ายเตี่ยน จดุ ขาว
EL jī อีแอลจี เครื่องEL
10. คำศพั ทท์ ีเ่ กีย่ วกบั การทำงาน ภาษาจนี
วิธีการสรา้ งประโยค ใคร เม่อื ไหร่ ที่ไหน ทำอะไร
ภาษาไทย
ใคร ทำอะไร ทีไ่ หน อยา่ งไร 我 明天 去医院 体检。
พรุ่งน้ีฉนั ไปตรวจสขุ ภาพที่โรงพยาบาล Wǒ míngtiān qù yīyuàn tǐjiǎn.
หวอ่ หมิงเทียน ชว่ี อหี ยวน ถีเจีย่ น
ตัวอย่างการสร้างประโยค
我今天不要…(加班)
Wǒ jīntiān bùyào…(jiābān)
วันนฉี้ ันไมต่ อ้ งการทำโอที
我要…(请假)
Wǒ yào…(qǐngjià)
ฉนั ต้องการ...ลางาน
10.1 คำศพั ท์เกี่ยวกบั กายแตง่ กาย
ลำดบั คำศพั ท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
ใต้โขว่ เจ้า สวมหนา้ กาอนามยั
1 戴口罩 dài kǒuzhào ใต้เม้าจอ่ื
เฟิงหลนิ ซือ่ สวมหมวก
2 戴帽子 dài màozi อู๋เฉินฝู หอ้ งปลอดฝุ่น
เสื้อปลอดฝุ่น
3 风淋室 fēng lín shì ชวนอู๋เฉินฝู
สวมเสื้อปลอดฝุ่น
4 无尘服 wú chén fú
5 穿无尘服 chuān wú chén
fú
ลำดับ คำศัพท์ พินอิน คำอ่านภาษาไทย คำแปล
6 穿裤子 chuān kùzi ชวนคจู่ ึ สวมกางเกง
7 白帽子 bái màozi ไป๋เมา้ จึ หมวกสีขาว
8 蓝帽子 lán màozi หลานเม้าจึ หมวกสีฟ้า
9 白无尘鞋子 bái wú chén xiéz ป๋ายอู๋เสียจึ รองเท้าปลอดฝุ่นสีขาว
10 黑无尘鞋子 hēi wú chén xiézi เฮยอู๋เสียจึ รองเท้าปลอดฝุ่นสีดำ
11 无尘鞋 wú chén xié อู๋ เฉินเสีย รองเท้าปลอดฝุ่น
12 戴手套 dài shǒutào ใต้โส่วเถ้า สวมถุงมอื
13 换手套 huàn shǒutào หว้ นโสว่ เถ้า เปลีย่ นถุงมือ
14 裤子破 kùzi pò คู่จึพวั้ กางเกงขาด
15 裤子丢了 kùzi diūle คูจ่ ึตวิ เลอะ กางเกงหาย
16 鞋子破 xiézi pò เสียจึพั้ว รองเท้าขาด
17 鞋子丢了 xiézi diūle เสียจึตวิ เลอะ รองเท้าหาย
18 连体服 lián tǐ fú เหลียนถีฝ่ ู ชดุ ปลอดฝ่นุ (หมี)
19 领裤子 lǐng kùzi หลิ่งคู่จึ เบิกรองเท้า
1.10.2 คำศพั ทเ์ กีย่ วกับเวลาทำงาน
ลำดับ คำศัพท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
เจียปาน ทำงานล่วงเวลา(OT)
1 加班 jiābān ซิวซิ
2 休息 xiūxi เถียวซิว หยุด
3 调休 วันหยดุ
4 年休假 tiáoxiū เหนียนซิวเจ้ยี ลาพักร้อน
5 事假 nián xiūjià ซือ่ เจ้ยี ลากิจ
6 请假 ชิง่ เจีย้ ลางาน
7 签字 xiūjià เชยี นจือ้ เซน็ ชื่อ
8 迟到 qǐngjià ฉือเต้า มาสาย
9 下班 qiānzì เซยี้ ปาน เลิกงาน
chídào
xiàbān
ลำดบั คำศัพท์ พินอิน คำอา่ นภาษาไทย คำแปล
10 上班 ซา่ งปาน เข้างาน
11 旷工 shàngbān ค้วงกง ขาดงาน
12 早退 kuànggōng จา่ วทุ้ย ออกงานก่อนเวลา
13 忘打卡 วา่ งต๋าข่า ลืมสแกนนิว้
14 离职 zǎotuì หลีจือ๋ ลาออก
wàng dǎkǎ
lízhí