6'Z
ulti,l ,r?ni'r? -!rlrzorl rnlnsln(X rrurrilful c,:),iiili.i.iJ llururr.)lap RA olu!)t):is lIul;);{ti\i
Bri;rafw €).rt?.r8tllut ap lap'uor.Iacl 1ri1r.r.t;;s 1r,I '(69'9 '3r;) ,rtlu5cu uulas cJrl
Ilnc{lunas.iunrD.reo{'tulrsrrn:1udiolr,ptt:lrlooo-sr;rJust'rpuo,il:llotsJ,r;llpiitsrqirJuJIJu?aoaqp rtruuluoarz}ato.rlcolea;rrInd+uu4tap.rqnr l(lu/grp'g l.ir.r+\;
'31}.}
1,lu;t,rdns'ei ap ie r'iualocl op aJlclo.rF u; rj.traols ri riulleloa rJ Jo,l ;topuo1o1 'trti
-clJor.rlu ur.rcl rlr.rotro5 {zto 1ssru rrr aJrJn{osq) rJui}rrourru rr.ro,1p1rnd rtut,i'tiutt
rr,rrrJoqJlur lrirlurrl rrl'6g'g u.rn.8rI urp'rluJ.t{}J.l;i'ts Jt,r+sqns uud os.rno J,rll.) '1
IuK-En.rZu[.llrEl1qrioaarrJou.gr.]olirrrr)Jo:J3aalo.s'ir-lrpot+r1Jutrrrurnn.a]lzlur:.1rsrdrrou].u!lua),uir1ri";unr(nartu..1rprnoen,1lpt'rrei:1s;1r;i.opic;rrllocinne.5lcul[r1inF;rt;tr+1i,ur.Ip{oJoau,orI:lrllluyiJla-{,ltuJcn'(rldJS',+tarreg,ill.o'qIg(+cpail-.u'r(SrlIl;ii'rlt.Ng)]fNr.)rliJ'pgrp?1si1r)s;rptqaruz)nro'ux.starodolsrloriteaJttlpJldlri.l-lltl]lp?pli)lJ{'at]t}?urrsIrJnrtlt'rllrlui"{.tr!Lrl.ri.rt,tl{.lJtrriI.tIl..(T}l!j
ualul.rcdapu.i ur,rd';.r'ur5alur i]l) I.rpu{rrJJd 1n1r"r,r"tgs u[ {trn[o:! u; i31'el.tofr:t "r1s''r
i'uSrJiueOrlor1tl'uar priu?cl{;uleo,r5a+usDI urrr;}J[s oopr.r tnlnluilIuos tttlirr'u.r1xa 11,1 1rt31{
f}uro+-q rtrrr5uurr u;r;rn.r.d:;1ut itp 1rlD'o,loJcT'(Z,f"l'Fl+)
l)016 uJ
ruriuelocl ap alrc{o.r8 rrr ri'nt.r"-,1o"} }ii!r' I,rtil.roir}ur r}.io}!1.trtd
1q;e.iacl ?zt*Jorr.loe rirq,rosrlu irrrolotl tiorrpIot.tB;li-iul,or,tr}.,lr;lc+tr
'Ig1] pi,rcotl l';o,r1;ia1o
au,rii+r.) runrsuill rJun tilJB,]iititr rrr,rt{ 1r:ritralorl op rt[o.t5'IzuozrltoJ i){ rr"rl?.:}
rtl SO],t ll.rrr].ln;i:]s o J[r'a (SfCf) frrrJ.rlrr'Op ot{ool'in n,r 1n,rr1rzeref"*rqi
ljnrJlus *p .lljaaIur ir.r ;.tlllzrttlsrp nc r.r(]sudq 'T-L'f]
(+uB?stp iUI JrroulrlJl'ortri1nupclil"rri+niiJrcJaillaioris}uJrzLlrtr.rultrr(lqJpr.){i[io(!i.tu)aar.]er(-erJ):rp*iurunonp8r1u,rt,:oxii1yltus+oilul-orecLtltlno8spuaa.rplJir'orlodp,Et-i}*pi..)tlt.iotl3i.Js,}.t-itiristltl
trle;lelur il{
rrururnl t:r{t1.rosqt (q) :rnlnl;IIIS rejr}c.rrlnn'ilirr3 urp oldiiu.Io}rir t]l Iru{nlnl
€rxolJa.r (e) "..'ru.-ruu;aur rulr:c[ eli].rti(]+?urJLr 't;I ludrcurrcl ug'gzca;ror1u1l o" ';y
rri;:u:ra,r.rnrr.,Jrltrgir:t:Irlr1Jul8ao'J.orJiaro:.sllrrruullril1rornr?fl.oa.orriJl+rlp$sio.or.rprr,a1a.rilolutlgrlnrrlo.urozl,ri;rln],roni.lJu'vJrruiJ,cpil{ror.rr.,.JrrrllJll,ari!,'p+ll.r?rriD:rloalloJc,llr,,Iusro)oSJitJptolt.pEI')pBi+qilUUrIrJiIuroio):}'a-+.clr)},t,noritprUti.neir,g1)l,ur.irliaurol,:rurT)1lr1.rrrIr1iJ.rlnflolietos?sttruooutltnJilrocc;qorJl{ossy!t1iltinnc.tJsrjrlt.uuquru.ro,nLlllsrocIt1s'rll1esrtrll;iq1it}}:.1I,.rIli"ilir+l]tptI'irtl1Jlil..:ln)-ii1lrrii.'il{l]ii,,{I{r}(r,.t'tl)r1.tp)i}}
-;r;rcI (u) : il,ru.leprsu().i tr! lrtii .].iil;] I.ro:]JEJ ro,[] ull] p.rndrrro; .i+s.t raJsrlu,t] itp
d.rlllr1l-]orrF ap cti;xrnE'iolr:iuJI il is lnlndr.rs (CttO) .i,Jr-\uil.tl Jp i),tulilpo{{i.}p'
uil;uni llr tir;ridr]{riur o,rilz uluriucls priu.l,r,.ra,rT ?I tnllrlrii}fi!"- Jnn-unds''*.r u,r ii:5,1
r)l-slI 'o,{,}z Jp !}r,rJ.rrp q1r:r,iuds rriu.r-r.ra.r} ul rnlnrli}}srs lnsund"'p';p 'g;
'll}nlos(['B ,Ll.rnl.rarll;
ri ylll,rrir eirrclsrp +,rlurp lrrl.rorli-r.r - d ji 'iill{ ii.r.il u
rillrlriJi llislursull.rl,.i'li'r!l ,, *nrtn
' ...f l/:r.i. .\- I i
nriel.r;i Fi-"rr;r il li f o.rlril'J.:plu;r1 o oliasolo{ i)s .rosui}-c'ail apu:-r o,I'u;l trlllttllll
IlJ.rezrltJor n;liuail pur1.re.r-d Jtg.r.Eoap ollrl.rt?Irl !]r'Bacc o]iaurlap a,>- '{?.s '
.-wl.\\) rrrlrllB,rJ ls LIr. rirt}}BJrLrn acl rari'erpu;r Boi}B }Isua+tlr i]1si] fi' "lpulx
ar{ ri ar.re
Jp
'.i'rr- .- "'tr
i,r.l.-rz qlFrit;ils pj.u.r,llarJ 'LlI nllillirJ1slS ui)]12]r-rrsuocls*;i '6
se obser,vii in al cloilea puls pozitiv din figura 6..59. Integra'rea, acestot n'rttle lr
cle curent d zi, sernnalu l net, care este proporlional cu sarcina video inject'at'i . ri
'l'ensiunea netti este apoi e;antionati,. Pentru re!,eaua DIS bitlimensiitn*lii
t':
sint necesari doi electrozi metalici, sepa,rali, pe celula unitate in scoputr
baleiril.ii elententelor retelei in clirec{iile n $ y. Fu ncliona'rea relelei biclitlren-
i.ig. 6.57. - Iltcgrai'ra irul-
tlispozitir iri crl
il-inii ln
irrjcctic tle sercirrri.
I.ig. 6.i8. Inieclia in sul:strat a tl+,-+*i
s:rrcinii solectirtc la suprafirIi, prin
iudrcptari:a glopii cle potentirl.
vPO+-
fdrd s. y. cu S. V.
F-ig. {i.59. -- Orrrcn[n] dc ic;ire in tinrprrl irrtcgririi;i injcclici. -\riii
Irargrrlat:i, (!ir) rogjuirea nrgativi a curcrrtului: aria hasurat:i
regiunra poziti\"il : clitr
serrrtrltJul vidco.
-sionale este reprezentntii' in figura, 6.60. Ir'iecare elernenl, al sensorului are
cloi electrozi separali, eorespunzintl la doi capacitori de stocare. tTnul clin ,ttlttc-
f,rozi este conL]otat la liniacle acces orizonta,lii, iar celiilalt la cerarrertirr;llir.
Stneitrer,t tle silrcinii in groapa de poten{ial este reprezentii,tri in figura 6 "r.l{r n -
250
t9z
-Jolul uIJd o.roz '1lI Ii) Eoultr-qu?? plrl'lnl)tl olj"rP.r+Lr rlJlued lztrilllolss i)-s OIIIII
IroErzog'iJ,uts}JJ:€tJu.rIJd.r'nldr-Elsilrial'rpl!rzrlrn'[ro'lrutr[0rJi]uoaJarpl'ori(r)I4r.Tr.prlorurroz-r;Jl)o.rridl'sauJ.ilr)-Bral'p]-''lq?ulIltIu1Irl)ln'rgri)t)ut,,Irl'uuI.(suralutIJ)oru.trlstIs'lzlijtlcllBllIi)oo]llts1r*llt:ri{tuor1ltnl;Utraai)tu1lror.;l',rrl
{ctu
rNt 0="=0' 'ltlrlLlli)s
tP, Jp u!ull S'l 'lIl-rJlt!! ,tp,r,11t;:orl
i*]Jme* nr - -slp I(l 'lEllr()zl.r{r Iul,l1uq ;ir rr.r1
i-sr
r:-_Tl pq.r.r-1-;111 1' u.r ;.r.r,r l *r;r1u11 irl) rlJ ls t
?zz
',,.1 .11;11 1
ceT- -r0i-
p1r:.p:.rdns :(1) lllrrJ.lils rr.ruzlll;.roI ri
,rp lnierlualocl :(l)) I ..
I
rlirlJ.r r.lun uuru.r!iir1g1 i(l'l il.,l
or,, ooo;jf, :;$--lf'4*
-_a_t
,', Y
1ll riB+,)ouoi) rrz()J'lJJl.l ixl ll,)op,lJulrr Illru Jullrxttil] o H;)II(lu i)r- Itltti lrl {'il: }
,EaB-i)l..+l)l.inrJlrEtrnrn)lroa,-fol,iEdR;lir)lr,l.{rrri[,)r3iar.zrlrapluoTri.J;Jlrl0oa.1glolupa!.ls1uiLltllufrainio;z)']rt.aurlral;.riJ>lT]0t+Jf('ostnIJEtrlJc!'u'1ie]lAltu;zuli[jlEt.Jlsad.uuro;'nrrrrt?oln;JoiJll ]csuq!.+irloia?'eBuppiluI+iriIJiru;Dlrr.sonad][zOIt'SlutiDJlsJo&I\idJ1]ultJatlR[r.o..['I:ln?.(]']r[orip')t(p(]ll1.i-?]1n\tod.)rs)l-niir!)l*iu'tr))(1,'o!t1iIltoJ1l.[rr']1zpuai;l)Js?put)lrI,ll]r!J]p']ntllc?lmFrJJ'pIitiJ[]]l)Iilr]]ft'nIrfuIJi]''oTl]t.lr,)rslrt)s't].]t]il'rl?])[Ji.)]I]il:]tulitt;:lT'Jilrlnin''!rq1{{l',{'Is1rll}Ili.
l rrLrlJ.n;s r:i.rIlJols * /)"l_:rsull:)(.IIusalrEriLJI;O)l'llsrur J-tlllpJl(l'lJrlrrtll.)l.,lrt;s!.lIunt.ir.l)].lIsZulll{l.lr:il)l()t l:rillli}') 'iii1! ti 'i1..{
i3
+
I
rt =,{ c ':
lc
!------r' *+*+ "I
ff
1
/d/,:t\lxd^i i xai
rd".
lrrJrl (u) : i.rnpour Fnop lJ[ .l;]tlJ J].Bod o"' srfl ]lltluorsucullpl(l 'unBoi{rJ {{rll
]nlnluuuras rri..)u.r1xll'(.i ttg'g ''Xr;) rrutr.rus urlit).)[irl aol i]rlr'rzo.r1;ta1o Iirlun.
raf uJqnlsua:I {.ttvz r]i}.Iuole,r 11[ K)-llpi].I OJHo pul;) '(]Ji)z 'tlaJ'Bolrtr 'BI 'fr'llpJ.I irtr-']
rlltrJ.n?s [i[,l]ix]]s ]soJ,r3 oJEc Qrih'LnpoJ]DOIo i]tl. tlt)unii'uoJ pulJ'e-]nil!]lllpl? itlli
-rra:lod.Jp udBo.r.ii- u! IIJI,)Jus dp {tl.Itl}su'll.r} iill}ttilzc.lda.r oh'o q 09'{l tt.lrlrSi.i riI
mzaicneedaslticueoli nrliendgiiliiiseetirsuntelouttairatdinre,scfbeuaral?etdiai,nj invfiegcrubaiipcaaa6lc..i6tSo1ari,bilc.ciAnoapnoe(sci,ttoaacldiauitaici)icnodrlilonsautnocic,aietcesoivlcet.il:;plirluovnaie--
loa'rea zelo tensinnea pe fiecare coloanil r..u ajutorul registrului de lralei:rj
orizontal 5i liniei de sernnal, sarcina se injecteaz5 in suitstrat. Sarcins rijn
Iiniile neselectate rtimine sub rie,!--rtr.o-
zii conecl,afi la linii. Selnnalui -r-irleo
r,'ste conlintt in curentul de deq-lLr,rrire
a purtiitol'ilor: rnajoritari care crrrge
ca ri,spulls Ia, itrjeclia sarcinii stolirt-e-
Aeest sernna,l poa,te fi deteotal or.i-
urrrle iu cinuitnl alciituit din sub.tr"rt,
litrirr tlc st'irrn:i! yi linia eonsirl(.1.,i1;l
ii rc1-.e,lei.
In tehnire extracliei plin iniet-
{i:r put'rtlt'li, clelt.c!i;r sareirri :,.1':lr:r-
luhrj este separat:i de injectiar iic,rsligi;1"
trn timpul baleizr,jului unei linii stnr-
na,itl din fietcart-r cclulX se rletcc.rrrlrzri
prin transfcnrl interceluii,, izal in
inl,err-a,1ul cle revenire a circuituhil cle
trralei;rj se injectea,zri sarcina di;r toa,tri
t-:i9. 6.(i2. l-)iaijr:u.it:r uuci rctclc 4 x 1
crr ;r.icctio irr paralcl: I)-.\ prcarlpli- linia -qoktctatli. Sclicma unei r,;'iele
4 X 4 trii injocli:i, paralel estc 1'rj)t'{:)-
li ca l"or. uont,airi in figura 6.62. Se rcplezintil,,
cle asenlL'nei.! pot,enf ialul de tLtFtit-
fr .,ir' a,i sitriciriiui ryi loealiz:r,rea, sarlrinii. 1'en,qinnile aplic:lte pe electl.ozii de;
linie sini nrl,i mari decii cele aplir:ate pe elercl,rozii cle colo:lnii,. I-,a, inrtpulun
procesulni dc tact alunei linii, toate liniile au tensiune aplicatir, pe tie iar
aoloaneie sint retlu.qe Ia tensiunea de rcferint:i TZ, prin interrned.iul conruta-
toarelor &(lin-ia&,,{.u $e inclepii,r:teazii, tcnsiunea de pe linia selectat[
ertraetie in figrlrrr,6.62) ceea co deterlnini transfeml c}e p.-lixlrli
sa;,, ,ini,
clitt toate celulele i:cestei linii srib elcctrozii c'.rnectali l:r coloane. itr lr,r-,'t'st
caz tensiunea pe fiec*re coloirnri \riu'iilzti tru o valoare egali cu slirc|tr:r
senrnalului irnplrtitli prin riipa,ciia.teir coloanci. tri,egistrul cle iralciai ori-
zontal ba,leiazi toal.e tensiunile ele pe coloanii ryi scrnnalul video este flrns-
ferat prea,mpliticatorului PA, care cste constmit pe cip. Tensiunerr cle int,r'1-
re pe Prl este readusS Ia nivelul tle reterinli' inaintca inccperii fiecirui r.irl1
al registruiui de birleiai orizontal. i,,a sfirsilul baleiajului fiec.irei coluane
tcrai,il salcinrr elin linia selecta,tir, poate fi injectatd simultan prin ac1u,--,erea,
la zolo a tutilror tensiunilor ck: pe colclan:i prin intel'mediul cornutatr-r2i1.t"l6r
St'e,n-siu8nne. Pe cle a,l.t.i palte, injecrlia poate fi omisd, si sli se aplice din nou
pe iinii dup5 citire, ceea cn rlitr
d.etermina, intoa,rcerea sir.rr,:inii
vitleo inapoi sub electrozii cle linie. Ace:ista inscarnnii reiincrell s:tr,'-rinii
vicleo ,\i deci a,vem cle-a, face cu o citire (ertractie) netl'struutivii. Spre deri-
setiire de tehnica iniectiei succesive, tehnica injecliei p:r,ra,lele perrnite r-ite-
zd' rn:rre de e-rtritc.tie (eitit'e) si s-a acloptat pentru canrerele de televizirirrt'.
Jl:r ofcr[ ;i posibilit?ttea extrac{iei neclestructivt-'. S-a,u realizat calitct.g
t1e'Vlclciuziu24n4elitiiimii pryui 2l 4c8leetlaeicnter:nrlteurtLleeiimlinaigiineestpeocllein6ie3.pPse(nratrtuafucnlec,!5,i0onIIaFrIezn irr
pe
eleinent) iar rrr,ta cle, i:a'leia i r-ertic:tl este de 60 trnnsfer.{ri de cadre (inurgirre)
pe secundii. in relelele eu injecfie paralel extrac.tia sernnalnlui se far,.e prin
25:2
t.\(
: .ra;srie;r1 ap tlreod-;4 i ;iillgoqJs ,?r.ratJarl-Sg- I gurf,J,cs nJ aJ'BrJKcuI ap
,-urat:11.r.drnr;o.;rrl-acg+.,s1lor;:rrnarl{1ne'Ju1ooosculuaooslseu.rr.\er.nro1+jlzlcloundJJsJnlsp?'neBlzduillrr1+rnrnn1clneet1-IsuJoarJplriDu&[nrorJngt??g-,t'p'gBu"rrFo.rrur{lr5u.riadylu1uuo31c;!r+'p,lceBla+lrperuaiglz{
lJ alEocl saJxo rrl lnrpelvd pc olr'? [e1uca'u +IY 'r?]ssc€ n,l uzeauor{ciBoJ nu
aJu;) IBloru u1r In: nrrllh' a$u[ uzilljdJ Jti-r' tloJorJ[?ci pulc InzED u]. g1dur11ug
o'It-iiic'upur1ilr'iu.rrgDceln"rdsciqnqslnlosqqKclzlgIuJsuIrIJuZaJrro.\roJ'BdcFlsJF.).z).ruirsor;,r+i iurlrstrapnciJt.rlu',nrrtllr?La]supaitaKu,J]altnlyr[rte.rrl1dlnnn'sornpo11-i,ne+"rtuu.rtJFlr,uo]srql.i,rriroir3nr,]ntucloil]l,trscelllail,sEp
Iilil.]{'!uir,rl.r!-"ir1nnrso{oIrJs+uoJprzuEIuilJuorJrcJ(InoIsJII,I{S41ri}oDqo,rIgurIrtrIoDr.prlz?u[{ou'aoDrillcEc?aalrud.rrt{s1J1oaire.r+daor;uidaola.rut:
Jz----:g]reEroi]nJn;.r)rfrrijlrJtsirrJvrsru.lrtrlr1,d+rpe1pIcn'JIcoSnnl ila.clupslJllantuBlaJeououod+pl+ucsaroanTrr.J+rrI,laq'n)rJsplrrorrJps+optBsJrco{or{rtdt1ulr?loounsdpArIn'sucIuo{rn'Jar,lc;olpllrlrJgr.nii\r'r-r+Seup3Cleu(iooglGlurs{idonlrnell{no?r"enraJszrnroa+roilorporsu.zJ;roooe'pJed;lra-sJsoqrqu^II^rrut{3oqrunpJ1or]ug1sarer.o?uaruBrroiSric31?Fg1EJuneurT1KsrlrocpJr11JBo,e1auSli.pgsrpa1(cr€o'gauaCpuad{sro'oraJ"?1r{osn?+aos
'runr{cuofo,re1aq rS'(4g1oqcg opo]p
asilsoloJ o,q r.lo+ta+op Bi-) 'S3O 3p r{r3.1Bdss +u1r! rurllis ap r{rLoglcI at{ nztoxrg
?rg o.r1lr ilnro.dEJJur op rrJoJoalap .1rr nlarlrs etl 'czrazrlea'I,frSas] sc(l (u
rlgu; rsyril) .ro1ca1ap InlurJa?tm ar{ ?zt.rzr1uo.r arr SXf l1es nes
(oCirO5tr1
Da;tI (T
: a1r1dn.t
iJ:u.].rlJ n.r nio:nu;ryui ui i,lo-qr{as;rp r"rndtl a+Inrti TUur qr+sr)i.11'r.ro,clrils op loi
-o1r-r.r i;rr.l'u ta.rrJBr{I rrr.rc{,pllulidns r,p eltoc{ {J't.irr{ oJl:}Trt?no *jrr.rtcrya iaun tsc[t1
'a.rr.;r;1;vy urg 'grrar-s o ep e]'a+oaiJ".r !Fqr!ri,r. EuIr{rl1I {.{I o.r'r?ru +sll.rJiroJ 3j+sr-r;}
,tl1r1nisrui-rri,tril.rrla:oiu{rnpr.corloreiyr,rtCuunlnsrlrt'eroIJJsuKooSa.u{pnl;.){lr{llio?ii"ztlrai-o+ri5}upzr'rp?oJTpar.lr{soutlul;a{triJruc'.tpl,si"nlu,.'rrn1u.+and'IE,lep1Ouran.'3lJnut?tp.}ru?,1}o-,rlrt.a1ols1lai}{1,un{"1iuinrrurau..rrrota?3sJ
ipr-,r{liio.(i1]l]nurd1rp;a'pr'tquuc0a1r9oI.1JrncB3l euo.rsn1ucl1l;tlaeazlpaaltlrsllur'IisnaIpiJru{u1oIr J1T1sE.'raI1raii:lopqcalrJ{st??arsIriuol.r{roo' rDr' x'u?r-a]q;srll:}lr1un-oi'ip]t.rsoioJrisreoptlqJl8pnuignn.rrrtlirurn:a1udalrt1:ii
+i,),.1{rBnJs1;ir1or1{u,{-nurDtrlroaIJns'+(I-;zqlovoalq}so+aso?a;ltI'uuirluipieIus's]r'iarsa0op0r.'r8oo+.oToptol,).{nrTTau"p{oo:rJ}:or}u}rrn3ntprl}rrlrllop.Jl,piurrrir{r.r}la}uca,t,Jl1.}'Iut}urIi1.r1't0[}0Ot8liu'',3r.ir,r.+tr.rstuolrlpcJl+oiuJ+usrn.sl
-uilJlll op puoJ op rriurpu.r roun ;;.Litoza.rci .r1sa rJrrrr.ra+.{oli.Tosucs i]aJIr'oIoJ t?{
i'--Plr"i1llrpildz{{r-uorLr.isnlBJs,J.rrr,lrpi3rro,iH.ire}zu+lr[r,?rEl(3so}aI;lnrlo;tiulqoJrcIrpel:.ur(r)r)r;rr.'icgI{Og"or.tSvrtdtlroifrpp..r;atrrl+{r.er,n)urrrplTlurerlr;|lrlo]]J!LJ}rurr-JqrKoqa+pl?iruirepntiroq}"pIgtuler0inc0rrut9p.8'a*usrnIuu1'r!o?riErE.trII-lJsoUBiFtpr?{uIIrsrnrouruDougsar'rr{aier1o{u,z.pol:rt
.-uruorpnli.IreotusIruSaq'rs-rr4rruda] loanlwrlrrqlrqrJsoon{uuLdirfp,IrqcrrL'JrlJ3oJtsr?urtrr.l)srriEjurLoilurcssSo;1j,pJoua;nllluJol ptuoniutlln:|n5+iuosnl.rrlgeB4'ruIurrr1jI{nIt{r{rrsl{puaogrtupoourpuir{'u,art{p?{.auri:uoFp
niql,nl.r.tul rtr *urfiuurr ap r.ros{[oS '!I'S
'ieg 'Sgl (nruuls op rS nrpur ap rzrxo) riua.r
-rdsue;r1 rDr{,e+otu rzrxo urp rJolanpuoa ro11zoJ]D?Ia s;idnse o+t?rlt3lsp gpn?s
eulFuulr op rrJosTros na p;rn1p8ol nJ 'aluq o-J?rrrp ola+uomal?
+nlKJ ne-s g1E1
,ualpruzorlirracluedlretordopasol.nri;ltua_JrsRrrTtuI.IrJ;J, €'sr:ao1pa;InmlnpJo?JuSarnuEoJ{ar3rnouJen;npsu€luur
a?'eo? q lair:.r,ed
-ri.rucle aJ€co?s
P1L(lS-poarta DCS; LS-linia dc sarcini,; DS-regiunezr difuz:rtl, r1e inci,r-
r:are; I)T-rcginnea, difuzatir,, r1e transfer; So-scmnul optic; SP-sarcinX
1:lut'itoaro; S}'-sarcinX cle fond. Poarta de transfer (PT) se suprapune peste p
legiunile difuzate cle transfor' (JlT) ryi le cupleazit, pe acestea,, indiviilual, d
ia porlile cu fa,za, 1 {ale I}CS) care, din irtest rnotiv, sint rnai rnari decit d
TBS P PDCS t
a\ l;ir:. ll.C3. - Scrrsr,r' dc infrarusu cu \T
l)CS : a,. r'c(lcrt. in sccliunoa ; D pro-
lilut poten{ialului hr cazul functionirii l'
in modul \c"iadzicuol nfu:ncc-Iinpnriorifiiliunl
{ialului in potcn- (i
nrodul
t
(
1
(
t
1
{
(
(
de irnagine tcrmici.
ci-
f
celelnltrr por'li alo regi"rbrului de deplasare DdlS (registrul de deplasarc func-
-l)lieosnteealczgii iucuniiteretilefainzec)[.rcPiroreardtiilfudzca,itnecd(D,rcSa)re;i (PS) clin
le poir'te stitrga sc suprapune
cupla pe torr'te otlatii
ia, iinia, clt, sarcinti (1-,S) clifuzatti. PentrLr delitnit'area canalelor in registrul
rle delrhsrrc se folosesc regiuni cliflzrLtc, p+. I)ispozitivul poa,te funcliona,
in dou[ urorturi : (1) rnodul virlieron; (2) rnodul de extraclie a fonduiui.
{-lind. fLrnctioneazir, in modul vidicon nu este neoesar ca, dispozitivui sd, aibd
porl,]'l.:i,cle inci,rcare Fi regiunea de incircare difuzati. DacX structura posedii
?lcestje elenronte po?rrta de inci"r,rca,re se polarizeazi, negati\. ,qi nu se includ.e
in vreun circuit clo lucru. tsaleiajui l,ensiunii pe portile rcgistrului de depla-
s:lra se far:t-. in trei faze. La un rrrolncnt dat din ciclu cind. portile registru-
lui cu firzn I sint in stare cle conrluclie iar por$ile corespunzltoare celor-
Ia,Ittl faze sirt bloc:rte se aplicri nn puls pozitiv pe poarti detransfer, astfei
arr potenlia,lul cltr sub ea siL capetc valourea I,', (fig. 6.63 b). Potenlialul
reginnii de transfer (rlifuzate) so vti, stabili la valoarea \''o. Toat[ sarcina
in exces se va depla,sa prin canalul porlii cle transfer in groap:l de potenliai
nrri aclincii a I)CIS. La sfirgilul pulsului de tcnsiune rle transfer, registrul
,ie deplasare baleiazd, puhlriie-de sarcini. ln ciclul urmXtor qi in fiecare
tlir: t:irlurile succesive, se aplicir pulsul de transfer, detectorii sint readuqi
Lr acel:r,rsi potenlial I', qi sarcinile indeprirtabe sint stocate in gropile de
254
g9z
t-lii1)):.,rli.E.rrrr(l.)sri'r'rui:(.illir!)I1lti1,iJiorurdlrl:.rlt1{,u,r1id)},lrt.nr*0o'br i?I,Sllp(l''l,8IBiOrl0,.ri0lJrJfls:0ii}rlsal;{1illp1'\rl'JtIci\Jt.f:i6lr}'trItJl HlIgttltulxtJ0rlr);l)],our,r{ll?zliolr}$lu'.t.)l,ii,\\rr'lal8Jl_'ur0?nI "t.;l.)rllul{t0ls[
-lliTlrl[Bd Jl] rrJr]r;)i{rr' ri),r?rJ,Bq r 'r.1 tirturr'i1git1 ri -y . iri{J,/}.-0(}I.,' F' Jpilrr
' \J;:!io,lb - itIxa.;- t' : {'
t1- ilr1o1rc{rl.) izr):\) ulsO.rrl\.) i][) ]rtl) i)]sr Ii{',B.ri}r"r'ltq als.rrI .ur1.rnptlt);)r{{r,)s lrl
{lrIi}rir UIp JOIIUO.I+Oi)Ii) rt:l OJIuO.IJ,)t{il0tuJi)+ Ii)I-<Itlti) 'llzeaJflj.t:lp As ^iq11Oq:f--
,lrL)(Ir"l) tri] q1{.1rt}?o+i}p rr.rourl}ul Jp In]u.r.rni) 'oeplr rnlllllrr{ruils ,.ta,rap;l;rdt;
8i rlrllr[] 0;'uooO nnl)f[ !nln.r:]sJ.3oJ olr? ltriuolod op oIIc{oJ{T o1ctrur[ i]ui)[n+u"r
i)p ii"nrnr +{ro"rni) rri} 'Drui r'uur }Ir) oI{'l]s f)iJdrrn}ul cp lrlr}rlsJnt ri {r;r1sr;ra1a,Lr.ru..r
rirrrrl+lu'Hqru !s) Iur.roJr{Tn dlJ FS r{J{)}oi1op tfJ Jesotau alsr) urJoJnru orI ,!ls
ralrrial IlIlI-SoInpdSlzI'?tJ.Ist']u10liltal,pIlllailsd'oOIIuarlt)"Ir'rE\SIlll(€:rUolrusarrneo.r.Sl)lr,Jl.r],xtoll ailtp"'ailrrinirs9Tr3.)1r)1.
x.rotrTils aI) 1lt"lun1
nl1ll"rlsr8ilJ
i)p rrllnnlnd 1ng*,rirs 'uT'or4rprro.)'r]stsJt'E qlrutltlapur 13 qleocl ,rh- r]i) {nllSr
,llzt.li.8o;t on- ':'r,4 1t1,1 uo.r€o1'urt erb' Olr;g.)J',u{>o1so1p1c0sqoi-.-trllrl-Jt)oJ'rliJ'tttql1no,rdo1t;{,-r.r1l1raupllrrsrnJo,!ru} {IrtilulUl}I
'l].l.rrl(In.ra.t,]u1 ur.rd !i) aundn-co.rcl
r--rar{p{r*}urlrrlrJltr,rrlrs;.ttr)rHuIuSsrrirllrprrlop,sRi)l.o'r}'puuo.r}crr[u+oJuJrllJiJtrh.nB' lrIn:rolslJrlOn()tSlrn'RtrlJ,lrrrrin)nauqrdrldintpul tiud'l]ruu;rrrt.rlrlopS1rJurnotoJasrnr'rtrrlJr)lu,ro'l?lourro{atJ.JrnBos;p,rT]u,+Irrtcl;iJ}r.rrr,?]fsrd
J-t'llr,lSr:rn'lttlsltllroiJrlrruljixEurIc8iSarBrBlnlouiJrtx,rlS}rxrii;alrlaO)'.1).rro;oJrr,J'r!(slsrcutli5arJgira.u+IfJllau'rgir)lilop'rd.ttplsJr1juolJ.or)prJlIoprBro,t:1,rtr(loulrrBo:.c.ro..;rrt{l;r.{rri8T)irrttoJurl1rnJI?{L':l}f,oUrrJ'.'iut.poruollpJui,ldruJrpeIl.lcna[rrIlJfql,cuu'?u{lrr..uo)]\'+.r?rtst,tirr.lccp{a,iBr,prrt;r1rrcasuIll,nnzry-truq,1uil-ulao.u;rlrrrsnj;nllddJ{Kp,nt,,rUs;Er{dr"acr-,E4rppt
InllLllr{ ur r}J JoJSrr u,r} op uJ,reod cd op tnlnslnd'rouipnlqdule c1) nrr ro& il.ru,)ryi)rTr
I1-i)r:)l),irl!Jr)rfl,lrr,tinl"(lr{'olr1dJUilo{lUtJ{rpiornpurrrrJntriprllroIsr.Jl\nn;]d],rt(rt3oJ.Jrr}nliJlprti[.nrrnlqi)trpfrtrr,1rr,?cu]lJ'B+i}0'JB{+I.rFit}lsnt'qasnpni)' p?rrEIInrrIrItr{nou.tBJ1oDuiorpupr,oIoc'}lpr-ru':rsn.d.ir'rrl1,ru1a,cO1[o.rq".r,Itr0oie,-t
ar* r,r(j].)rlprr{)r r}iJru uJ rjB;-rols socxi, ui IIIIoJ};)nlo tio'1 oaa,ruo,rp 'ir,1 r;rurL
'{st--rzl{lrnl-olnB'un.rrdr-.nlJrtiri)SurJtp(nl}.ltrIl'{o8'pfc".1ii;]*gd'r]Bi1ll'.iz;gritr;llnurru(tJc;lr;Jl.ontatpnS"(g'(5Ji;o.'rro1rJpoJf),iSd,ru1golIn'llrlgll1.raro),u'Jnl5prupjliulJ]'lrp!l.),r)ll1"trInrr/nor,pru.rcn1n:(l-)cTs('liop.}un1.qu{po),r1;)ru,rJ?r;.gn.rr(r{r,.1tl-rrtr;J)urttBt,tttr1rlr';qfyr(r'i.t?.z)tr,r;nna1rsrr1lsrDo1uni.dlt{l.p8iiilirsuull1rtat]iair;id'lrspJo,,.,LyF1r'lBllJ.rrr}tlrlr.t.?.r"lriLrJtrJlrrJotni]{.otlt-ls)t\li.inlr.lr}rrrir."llryriuln1u(lti'goJr'Bc.'r"lrt?1rraiipsr))ltu.,lIu"ooqtr",i{)uroo}'cu1i.p})rrl
l-l.rrr'Fp;d)i.rrnr JoaI)rrJrIruJut rI.i)rrrrl ntltTr'n1..rro*rrllnaIupun5;.rout1zsr,lur t(ra.rli'il)ir]BrrO.r{d}}oitrr- l?iiSr?i)r]:'a.rlfrlI\n]i a[n.rp roun
our,iuo,i urr ri arrrru r}i]+r?nt?i}
tirt;.1rrU'1suot r'ls,) JJu,) prroJ ol) trur?,rr7r- J't?l si)(1 nJl'!J 3p'uJ?t.rnlr-r,r?.r] t):i.si)
-l:,i)lsU-..rrrI.)rlitt1rori{r(trrriir,1r.lrilursnritl?,L!]ll,lJon.rpoopLJ{.\r u.it}.tt;tlJ InlBtrur.)f-.lLIriuo,),!Ll{;).111n- urp aunri
[;B i)rnluurp
rll DLtJ,\t] J.run-t?[tl.]l) itp rn1ril1sr5.).r
tll1-rtr[rnI{i{ut;1rtyix.rlz)u.?iI,r-,rrla,.turz,urr(1l11!or:c).1rittt1ri.,lu}rrl,po,lir{)urcIsrio1n)o;rJrli,loaurirlltlrrurlrrn..ro))rJpZr.lS;,Irl)nHriz-rrzn+inIerIr1r}rt1all1.r.lrzrrpn,lJurrp'i'()roSiiluurO-[;i1r'iu.x11riisl)u"{;tl,rc,dr,rr.oJr1r,e+o?tsa.n.re+)i'dro)ldt,pa)aU].tpsr?ou'i).,o(rrorldpup'Joi,nIuOinltrni\p-O-trr[u,:]r:rl;uld;rs)0rr,aF)I1tpsatrtritrt1or.tflp!iuu]1t1ruoliruurpl{1olisIco?nrrqsspzt.u'orrlJ].rdrt.]
ap lttlo.r.b u rrD rirrooJti r\I+utriJioJcl'u arJ Fs Intrn,ro+to+op € arcrols ap {?ai}u}
-r,;'grlu;r lilr.{ IoJlsr? }eri;,.olo;rrl an}(io.rl }lorrr Jr-a;)r? ur azauolicull} ,!r- ?,[:rurrron-a[] ]I
itt.it.derut r)p {il.{ih-Lrag'itnrr"r'}\i) }rlrn- pnlJ odpr.\ Inluuura-q ncp c.re.r$'.-r?tr1 op
Jtuirurl. rrl {,iol)ol.)p rrr d}Blnulili)B rrrrilJ'ri-\ ir}-\i)r\r'S|XI all] T llzuJ nc l,uli}uo:}or{ '!l
il
ll
Siliottliv este 2,8 . 10-8crn2 iar :r porlii DCS este 1,56 . 10 5cm?. Capa-
citatea por!,ii DCS cste 0,2it . 1tl-12!'. Pentru a mod.ifica cu 11r poten-
lizllul suir aceasti poaltl este necesar[ o sarcind de 0,25 . 10*12C. DacX
1,irtrpnl c1er rleplasale a cadrului (uuei irnagini) este (1/30) s atnnci, curentul
r1e lntrtrte.'ic a1 barierei Scirottky nocesal'pentr"r'L a da aceastii cantitate de
.sarcin5 este ?,5 . 10-12A, cce& ce corespuncle
harierei Scliotiky cle 2,? unei ldYensviatzloiliaraeicauirneanxtuimluiil
' 10-7 r\/cm2. Dac,[ se ia
toleral:i1i il sernnalului rle intrr-neric la intclfala DCS, atunci r.aloarea
marirnX toicrabilii, zr, ci-rrentrilui de intuncric a1 diorlei Schottky este 3 pr\/cm2.
Avind in vedele cL in, 300K valoarea cnrentrilui de inttLneric al diodci
ScSrottiry este mult rnai rnare, rlispoziiivul descris nu poate fnncliona 1a
teinpelatura carnerei. In.qli, po:l1c fnncgionir, 1a ??K untlc I'aloarea curentu-
lni ele int':nclic estc cn zrci: oxlino ile lnt"irirne rnai mic5, decit vaLoareil
lnaxinir tolelahil[.
BiB]-IOGRAFItr
1. 11. W. r\irt'os, ,lfcnory proLectiLttl r:iraLits, Li. S. Patent 3562 555, Ireb. 9, 1971.
2. 1). liairng, S. NI. Szc, I3c1l Slst.'lccir. J.,46,1288 (196?).
3. Il. B. Laibovitz, I'}. J. Stiles,,'\ppl, Phys. Lett., 1{i,267 (197t); A.,{danr., L Zotomy, phys.
Stat. sol. (a,y, 57, 113 (1980)
,{. I). Irrolrman-Bentchkovsky, Solicl Statc E}cctrort., lV, 517 (7974).
5. []. Ii. Nit:ollian, A. Goetzbcrgcr., C. N. Bcrgiund, r\ppl. Phys. Lctt., 15, 174 (1969).
5. Ii. .\gusia, .I. .J. Chang, {i. S. Patent 3797 000, }Iar.. 12, 1974.
7. )'. I'arni. Y. Hayashi, Ii. )iagoi, IllEFl .t. Soiid State Circuits, SC-7,3ti9 (1072).
.ll. 11.'fnmi, Y. IIayashi, K. Nagoi, Proc.5 th Conf. Soiid StatcDcvices, Toliyo, 1973, p. 348.
{t. n. r\gusta, .I. J. Chang, N. ;\. Patrin, IBII Tccli. Disclosure Bull., 15, 2821 (19?3).
1(). .]. Chang, Proc. iEEE, 64, 10:Jg (1976).
11. ll. liahng-. \\r..1. Sundbrirg, D. lI. Borrr:in, J. 11. I-!ccnza, Bell S1-st.'|ech..I.,53, 1741 (19?-1).
12. I]. (1. {lar'(i., lllcctlonics Lt'tters, tr'I.674 (1975); Solid State Electron.,17,501 (19?4).
1:j. lj. (j. ProSS, J. T. \lralhnark, Il. C. A. Rev., 30, 36? (1969).
1,tr. ii. Dorda, l.l. Pulver, Ph1,'5.51ti. So1., (a) 1.71 (1970).
1r. L Gordon, \\. C. .Iohnson, IEE 'Irans. Electron I)evices, EI}-20, 2511 (1973).
16. -If.. I-nndstlcim, C. Svensson, J. Appt. Phy5., /19, 5045 (1972).
17, \. Ning-, IJ. N. Yu, J. Appl. Ph1's., 45, 5373 {197"1).
iii. Y. L-Ichicla, N. Endo, S. Saito, lI. Iionaka, L Nojirna, Y. Nishi, Ii. lfamara, ISSSCC Di-
gcsL ol'lcch. Papels,108 (1975).
i!). il. (I,I..,\Yr'ulent,t;,\pRp.l.IIP. hYyus.nL,;e\pttp.,l.2:Pi.h'iv5s2. (1973);25,:l-10 (1974).
:0" Lett.,2{i.9.1 (1975).
P.
21. Ir. .1. I{rick, IEEE Trans. Electron l)en'ices. nil'P9, C2 (1975).
22. i'. iirllt ir'" Stcphanv, .I. Elcctrochem. Soc., ll{1, 1634 (1971).
:3. 1.. ,i. Scu.ell, IIIEE 'I'rans. Eloctron Dcviccs, ED-20, 563 (1973).
2',1. i. E. Lukc, .J. r\ppl. Ph3's., /r5, 1610 (197a): M. Olmynma, I{. 1'oko;,'irma, Y. Ilarnaliarva,
.Iap. .L ,\ppl. Phys, 18, 1111 (1979)
24. l'. .J. lirick. IRll 'lech. lJisciosruc i3ul1., 16, 1723 (1973).
26" i-. J. -\1..llagucrre, The Dagtterrolllpc,'lhc Literarl'Gazctte and Jorir of the Ilellcs Letters,
11717, 2.3 (1839).
2,. \Y. \. lt. 'l'albot. Photo.qenic l)ratui.tt11, 'l'hc Athencurn, 589, 114 (1839).
)8. '\. 1'.ott, '-t\:),te1u5t 7reu(1e9rs4a2l).principle. IlcoersoL lrunsferencc bg cliffttsion; Sci. ancl Incl. Phot..
21:r. E. I{. Land, A Nclr. Onc-Stcp Photographic Froccss, J. Opt. Soc.,iln}cr.,37,61 (1947),
iii). .i. .J. Robillnrrl, Phot, Sci. aird Engs.,8, 1B (1964).
lit. r!. IJ. (iohi:n, 2-nci Symp. on Unconvcnt. Phot, S,vstems, Soc. Phot, Sci. ancl trngs., p. 122,
1967.
:12. li. ll. Ciomizzoli, G. S, Lozicr, l). A. lloss. Proc. IiJEll, G0,:J48 (19?2).
itii. il. Iiallm:rn, lJ. Rosenberg, Phys, Rev. 97, 159G (1955).
3-1. \'. 'i-rrlagin, J. Opt. Soc. Amer., 59, 328 (1969).
l3i. Ir. Selcn-vi. llrirclcss Eng., 15, 303 (1938).
256
L9Z 'I
<-o3u3q'Cial l'raot.lradaq'uoplaqlcdonqac3saD..(gtIn0q..cI3(gs..dfudOtul.furc)fLpigS6lrOT.0cfo(.s,.(.tuVrASod1-f.'OOl(uLDqrtgcI)e1..rOuO1.{ldc,ofS{du)\{1ofcr'turrIuCCgluruAJ.ft.to-fr{Orr'n8)S..tOg0u.,Ieul,..{ruo-clIlotlqoJrszrntT,lrzc€glur{N9qa.1.t')cf(..-OI-gs;Cr....{ItIo.ogtI)HJrf)..,lulou,ibI'o{'e{ror.c\rTos1opcn.tlrrrrgg4S\I .f .V 'I9
*
.f ** '09
.I[
.}I .II '69
'itg
.C
.Ft
.(gfef) 'Zf,f3a--OggJ,.''tsr1In1Cu3,'oNFa'ri611'1lI,[rBsSdru..dcoo,.LrcJ'C.'1(Ou.1ogt3A.,f.).1.drSfdi'y,S,tr'Cr8c9Ir3iiOi'Tg,'C{:cti.t1(I.I=r.-]o;.Iurc;.;Hl1t'rlqqjSssoI'iBilgI\....Jf{.' '99
'(CfOf) eSf 'qs
'.{a1.1(Ocnfogrl).gHfrror.tr{),L.t18I1c,s''+6d\ut.^ro-ldI,T8'soi.lr.o11u4.q1r,,1a1i J,du. drcnylbe,oqlgslu+.rFrsllo..'s(ii)1Z(..otr{ear)tlicB,uoozrrs\Orir're.\u).'1'5...Q1.J161,,.u.,r'yruflo)'a1I.rr1o.u)1arulr.d1urrrcucg^;j\ 'l'9
gggl .f .r\\ 'qc
.o .cl '29
.J.l,i
'TC
s'st1ElrruInol4'rgrcAJa-lOgo1'l1(7EeI!'flssOsa-afp)r')r(ulO,ioD\S'(oSOSs('(.t(AaS.Itpr.sgeiOfv:u)uto.1to'(.OuEg.(1)tZdZJ1)Z?rtfZltJr)g,g,..raf'O.qg'i.tft(st(.tt1cO)11USgdgf)d''6S,qS?9.(gffn(OOsIucS.'Sf1gtsZSclf11o.Z)ZllrB)I.oOr'uI(Z"nI'.t,dgft.sSs-af0og,.rc)O,dt1IrytU.SrzoOrraluVleS1orreu,r3fer'.,1S:]^,qy1G)J11'gl(facg.?;fera.U-l.ucOstg1IT11E,'t.Js6d.lra,€lir1a1s{l,1:S..orl'.glu..r4s-^sIr)gdrl.rq-tnuIa?r.pp?pq,p(c5lcEllroSrrs.94.lra.rortquou-'loof.OfIf'Ep1JOsugitI.ssna1t1.rs€,.f.l'a.qpc{r1qo)gsr.J.q1l.B3lufs.cE?s_drSAd,,1g1Bec(yle,.Sg.gvJ..p....s,.g..r.\-{lI,{]..rri.pup>.r1qflrrsf1aq9prI\.i.arsrIa"ar,4lgro'o.dosrreuurn..duSrgrxluS.aqifse,oqr1gioqrc-us:l11.sddoCslfs1(3ourt..-dge;ioraA1},.1luylgIgul66l.lI1\.dsol.g.r..l,11..')ttdf!\4dfrE1gI..o.rgr...l.,SC.arr.:..]1...rlacO(t,ardlCK19!tgiJ.l...s!fr0rel1.-l5a,e,.r-6a.J'p{.3so6csu?Bllrrt,arlreJqEturu.Dc'lrd1oulIurqrlgqrEaBur.rroc1r€e,^J.t.gSg3llC!"i3{,\rn.o.....I....H6.;SuJ>AdqISlgf1{ff,..,....:1...;JtiSI{.I.tjff[1d_i{iI.i...........l..90OCfqOigaiIl,?y]qt1Settfft l'.-t
.r'oruercs al*ls prros palldrly u1 ,stoldaca.toTotld ctqclntfro.ra-* j;'.Pr,;1,;Ygjrrfr'11".r"o10 TI
i]
ai
In
!.1
-fI.
.9e
C apitolul ? ri
CIR,CUITE INTEGR,ATA a
Un circuit integrat este o retea de elemente de cireuit active gi pasive, !
interconectate, care constituie un circuit electronic complet, realizat pe o
bucatd, rnicd, d,e material suport, numitd, cip. Suprafala unui cip este in mod ri
obiqnuit cle 1,55 mmz iar grosimea sa este de 0,2 mrn. Elementele de cir- ir
cuit sint rezistenle, capacitS,li, cliotle, tlanzistori ,gi re.tele RC at ccnstante I'
ir
distribuite. Densitatea de elemente intr-un circuit integrat este determinatX,
de dimensiunile elementelor individuale qi de puterea electricd, necesarfl ]
sd, se oblinX ite ia circuit. Componentele cir:cuitelor integrate trripolale c
ocupd, in med,ie o suprafa,tS, de 0,012 mmz iat cele ale circuitelor integrate t
MOS ocup5 o suprafalX de aproximativ 0,002 mmz. De exernplu, un cip cu
circuit integrat MOS cu aria de 5 mmz conline peste 5 000 clemente MOS c
d"e circuit. Existd, trei clase de circuite integrate : (1) circLrite monolitice,
(2) cirggite-cu strate sub!,iri, (3) circuite hibride. lntr'-un circuit monolitic, i
elementele pasive qi active sint reaiizate pe acelagi cip, rle exernplu din
siliciu, cu interconexiunile qi terminalele din strate subtiri. in circuitele cu S
strate subliri, elementele pasive ,si active, precum si interconexiunile sint
sub form5, c1e strate subliri. Circuitele hibride se realizeazS, prin combinarea I
circuitelor integrate de mai sus sau a unui circuit integrat cu elemente I
discrete. unele eler:nente pasive realizinclu-se prin tehnologia stratelol sub- t
liri sau stratelor? groase. I
' 7.1. Tehniei utilizate in tabricarea eireuitelor integrate S
Tehnologia circuitelor integrate se lealizeaz5, prin proceclee care
trbilizeazd, propriet5lile mecanice, termice, chimice, electrice ;i optice ale
materialelor. Tehnicile folosite in mod obiqnuite sint : difuzia atomilor de
impuritdli, creqterea epitaxiali, implantarea de ioni (pentru realizalea semi-
conductorilor extrinseci), evaporarea, fotolitografia qi decaparea chimicX,.
Se cunoa,ste c5, atit in realizarea clispozitivelor bipolare cit qi a tranzistoa-
relor MOS este necesarfi, oblinerea de regiuni semiconductoare cu contluclie
de tip ru gi regiuni semiconductoare cu conduclie de tip p. Realiza,"ea selec-
tiv5 a acestor regiuni se poate face prin clifuzie, implantare de ioni qi clery-
tere epitaxiald,. Difuzia termicd, a atomilor cle impuritd,li in semicond,uc-
toare se poate face din sursi, infinit5, cind concentratia C,r a" atourilor de
impuritd,li la suprafala semiconductorului este constantd, pe toatd, pelioada
procesului de difuzie, Ei din surs5, finiti (limitat5). in primul caz, distribu-
2s8
rS €Jo:ISac€ €or€suodrrroc tu+uod .el€ouop JoIOc € qlcap e.rt3rrr rtsrlr ?rJ Es
ojrllqoJ+ a.rn:oldocce logfp,11lndrur
ur{e"rlueouoc'g{u;e;rdns er; 'p{rzlu"rdni [1
r'd'eao1^ddzrgsnr1ol;1coopoppnuseor,u^lrIrndz+rn€FlJuuaIJz,prar+oolrI+.areI?ntuTrruuu{qnro€dr8ri,laelr, .rer3npca.€r+llJueInoersrfdurKuSarrr,oruqurtrnsoJqlgd+o{senJa+uccpTnu1Jnd€rr{Ivgrcaiufpl€enoepducuuarrrruure.orcoasi c}€etlszurzen1n?ld}.rrr1up/ urcaaokxii1naeqe-sapo6rpr+1s*
ooe-ellr"zopornqnat(lJotur.uIo,rOEesodlulnuKsJsoroorr'n?aJFroppi.t€toozsT+cotusidn'o.gmrl€o,ziuunpoyrJOeelep.srp'dCuann.0lpsud0a€lc6nprIs1I'aa-ro3u0c?J.oor0tsd+rz9dsnoscJ+cetr3€orpznlun.larreJ[oJleropEp.dr{"lg1ruiuorlercol.rcr?i,nunigdodoluncpurnrrrIdprlrllurlruu{rouruap:l1lusqrnuoiu'1goper,;crconqu,1airot1lazcsr€,a,r.ra{rJ,rd{oa{ru1s.rgrzr€oe1€cFo1u
'(q) Efefptt ps.rns rS (n) plrui3ur Fsrns urp Jo? .tr.i '8IJ
--)npuorrruas u"r oluznJIp .rolrjplp.rndrur e pleljuds r:1j'rq1.r1srg
lrraiorz+n'rJ3rpopapTi€rn+lon?d_u€orrlrl?elrau.€recgiaa"crca.rn€Joo'pq ,rusur (urn1o:\ n! pzr_laJuruur
I.l-u.nchur gp
,u,rn8r; rrr r,1u1uaza.rdo,i
ep{plrrnduu
alse ar{.nqu?srp €ououros€ O 'r{plr.rndurr ap Tlts}o+ €a}€lr+urBc olsa r;-1 apun
, -!gT:-4, -_u,^ !
(y!-) u.,n *J: u .r),1
\aJ )
ogppumue+orsrx.sarnodaus8€rnK{poulrprJ.ornnJJd,olruupoldoo+opsTrorr'Lu';Iroiotr+s1,rrz1enn{8g'Jrrlngl;p1"unrncJrdlougrlr+rurr,,ruu11ouuiuiorrelz?nroa"qIrnlcuSIrale€s,r;LrcpuannlszCuauJa'oorl+u*{.raanJolq;rcJrolr1pprsSrI.tpasuirzfunnJil$op€rpra. ceuyp1
rtr :tl
'7P."-o*\ --4: Ui) rlro
eP) :' cY're "P (t 'r)c JOITJOJA B
g.reluauelchuoc tar$cunJ aI) srJc s ap a ]so,ro?c npuocruros ui "ro1r{gtrr;rnt{uir u1i
-E
schimbarea tipuiui de conduc{'ie. Dacd, dorim sd, realiz5,m acum in regiunea
p o regiune de tip ra trebuie s5, difuzflm impuritdti donoare a cd,ror concen-
tralie la suprafa!,5, trebuie s5, fie mai mare decit a impuritd,lilor acceptoare.
Problema poate fi intrucitva rezolvatX mai uqor daci, difuzia impuritd,li-
1or acceptoale se face clirr sursi, limitatd,. Impuritd,lite introcluse modific5,
mobiiitatea ;i tirnpul de via{ir, a purtfl,torilor de sarcind,, degraclincl car&c-
teristiciie acestora. Pentru a evita difieultd,lile iegate de d.ifuziile succesive,
si,ratul exl,rinsec inilial se face fie prin ereqtere (tragere) din topitur5, in
care substan!,a semiconiluctoare este impurificati,, fie prin creqtere epita-
xial[. Epitaxia este procesul cle formare a nnui cristal pe un alt cristal care
joacil rol de supolt; periodicitatea cristalin5, a cristalului depus continu5
periodicitatea cristalin5, a substratului. Substanl;a care se clepune epitaxial
se poate g5,si ln stare lichid.[ san gazoas[. Cea mai irnportant5, este epita-
xia clin stare gazoas5,. frnpuriti'1ile se introduc in atmosfera gazoasil, in
concentralia dorit5,. Totugi, este d.ificil si, se creascd, cristale epitaxiale pe
porliuni selectate aie substratului cristalin.
fmplantarea de ioni constS, in implantarea clirectS, in volumul serni-
conclu.ctdrului a atomilor de impuriti,.ti-. in practic[, fascicolul de ioni de
energie mare (ionii sint accelerali la o diferenfi, de potenlial cle 100 liV)
cacle pe suprafa!'a semiconductorului, menlinut la temperatura camei'ei,
;i ionii pitrund in volumul materialului. Profilul qi adincimea cle pd,tlun-
dere depind de proprietir,,tile materialului ;i de energia palticuleior. Dup['
implantare, cristalul se inc5,lze;te (la o tetnperaturi, m:r,i mic5, decit tertn-
peratura folositir, intr-un proces de difuzie) pentru ca irnpuritiilile introcluse
in pozilii adecvate ,si s5, se reducX nurn[,rul de clefecte apirnt
s5, se aqeze implantH,rii. Pent'ru neutralizarea sarcinii
ap5,rute in cristal,
in timpul
substratul se conecteazra la un circuit electric care alimenteazd, crist,itlul
c.u eantitatea de electroni rrecesa,rd,. Avantajeie tehnologiei implantrit'ii
de ioni : (a) este posibii sil se impianteze ioni in semiconductorul care al'e
un strat sub{rire izolator pe suprafala sa; (b) }ocalizarea ionilor inpianttr,!'i
pporiantemfdi,scuornatrreoalactiu, rueqnotur,iurei aelilzeincdtruic-sedeuncosmtpraetnsdaereacalinscaimrceianidi oinrtirtSod,;us{cei
este posibii s5, se regleze numd,rul de impuritd,li introclus in timpul 1;r'o-
cesului de implantare; (d) nu e$te atit de sensibild, cu temperatllra, culn
este tehnica difuziei. Dezar.antajele implantS,r'ii de ioni sint legate de tliti-
cultatea producerii fluxurilol de, energic inalt5, ryi ilensitate suficientii, pen-
t,r'u ca timpul de expunere s5, fie rezonabil. Aceste dezavantaje sint esenli-
e:telslehten;oidleocpgeuilaenemdriefauaizdmieeui.sltAterlatc,teiprcrsouncitbeesliriuni ttdeiliginzraamtteaintseerfiaapbrleraipcfaalarr5et,aianccktuscatualimtreeelaonrtdeeinfotvelaogpsraiontledi'
In circuitele integrate cu stra,te subliri toate elernentele se realizeazd in
acest fel, priu depunerea cle strate subliri de metale, serniconductoare
;i izolatoare. In circuiteie integrate rnonolitice se clepun sub forrnS, de sti'a-
te subliri metalele pentru realizarea interconexiunilor intre elemente t1e
circuit precum qi dieiectricii pentru realizarea izold,rii intle acestea. I)epu-
nerea de strate subliri se poate face prin evaporare in vicl (caz in care
adesea apar in stratul sui:lire impuritS,!,i ale materialului din cale este
eonfeclionat evaporatorul), prin pulverizare in gaz inert (sputtering) etc.
{Jn sistem de clepunere prin pulverizare in gaz inert este reprezentat in
figura ?.2. Ilnul din electrozi, catod.ul, este constluit din materialul pe
strat ryi in timpul depunerii
care dorim s5,-l deprinem sub form5, cle kY, sublire
negativ in raport cu anodui-
se conecteazra \a at potenlial de 2-5
260
r9z,
op tsorursoJF aJts prxo ap Inl€J+s I pz"eaprxo es ri nrcqis ep e{nag1ct €r oS 'IaJ
-,1su a$.rncep oar?colos lolznJip v, ornzrlvol. op Insaco.rd 'nrcrps uI ?Icap rcr{r{
ruru ,]Inur TJoIEA nt: ZOIS ug r{glr"rndrur JolosJaarp re orznJrp ap rr,iuorcryeo3
'fcrrurqo €oJ€r€JF ri uqr:rFo1r1o,1oy ollesoloJ os runrFol Jo+soc€ €aJ€?calos
n"r+uad 'nrcrlrs op lnt-lsdrvuzratlexaol-eopgl'rgso{ncocugd*l:ot"atc"l ,ele+lrcneclJorsc rorru runrFar ur .rolrJarr
rnun €oJ€crJqed
-nrlap ri rarznyp
ocI pc IaJlsu (run.rp od 'ezuaprxo as OIS ap l€r+s un oundap trs poue
pou,r3 {3I po+€a Bi op gzcaseldap os aJ€?
f''r-'n€rIaurlrrJEarcnIcuprlspno0'asdsSIcaIo€InpoIpltpcr{putrlgseIrrIruu{rSuu;rrzioudr_'pJn?lgsousfliprlpAospqpo{u€cU;l€rlIptocruFouxilonpou{rdr?sp{oaopluuurJo€rdrorucJ+eorqpc-rc€nJzsuI}poeuaurnprl5orccrrcqorri"roplcuc€szroaorenpJos*ctepsBppKJ+rrazoIxuJJuocIS€oSoouuow"ro{rsz+,r1o{q{epua.i?rro€+us1uaucr'oot€lciclraoo{€€uJlIIp€oosaoJlJpo{}€3rionlrIruoloapniCpJuoK€a}r?'€FpZ{IucOr€rxxoI€oOSga[
q€aJ€JoqrI ocnp gde ap ,rolalncolour ro.rorcosrg 'K+r3zruorap gd€ q snpoJ1u{
ii€?+op--o+q?arnrJunI.ur'nrters?r€Jrr)rpuOr+I,rm1txru3ruou.l'urrgr+ozusa+oo1+rsudnpnsrr1sou.o1rdcn1Tn'{7urppctt1ooTrsr,4lttuorzr1oJcJsua€uoneuquT}p1Ir{eJoE1ego;caIslJreIclru€{JororrcgpdrOszmpaaeoopl'uessorrui/l{ermuogosgsccco1uomqsoprcrl3u"ls.rr+lc€1eosao?r1tlzspsgrto€srsccJIarnYcpol.dplrpcru'ernr"pcxeIunlaroxnIels€olrlpg+repqos{(ou'cg?rr+r;solC€uro€lzc;€orlE'gdIrronpna€zolsupnpr+rrrooxocu(duouqenrurrzoqs{O+6nas11€a.aro9}1',EasKurep€gcpoooplol-'+}J(.lo1aroo+r;unrruruxr€npd{ll
a+sa nro{rs op Inprxorq ga 1n[r1u'elu K+srxa nrcqrs urp ale,rFalur
'Tiuts+.rodrur a.ruur "glurza;rd otnolll-lozr Jolo1rnc"rra
valvztlvar uI Jola?ir3J?s €o"r€ur,rod
'sns rtsur sucsap Ioc nc .rotrKupurase o+sa al€uol{.cuny ap lnrdrcur.r4 'ropo.rlai1
€osponlouurIno++€sJo+sr3q?nss€aeJcrvr?D'ouJ_€rc(Jrglecsuorgpea:rpr€lurdurcEupro.r+damrnlonxpn+lJsruxrg{c'eIo.rprpoup,r e1*aspF
€po,lorr
oltarnnu as 6'l, n:.rn5r; ur e?€+uaza.rclo,r 1;ram zvfr al a.rezueqnd ep tpolalq'a{
-uuuJ3?ltsrluas uip €un ur ocJ€csap os KS rlllnp
oun-o+,Ec olru.red elua giua,r.ao.qortr)€"r ap -.tcrrrclor
--isua+ oliosolo; ag 'uo8"rt op rluo{ ?up +uctu '1.reur zc8 !9 'pl-o u :.16
op udurod
:-bui u''r:1 e5ulase,i o;rec p,r.r11zod gurarrs *':_p3"o!ituJ"uJi:(":t?t,o.l:-1lji:rz:l'-,,'1':O.c-".r":1r5ps'"cZ1'ln,:rrs"1Jt1-11jrz#:o5:loI"r:a',o,u.ltpt!io::z'l€.ei3,t
po+tsc ad rzeolceloc os oaor,uoap pnur+rroJ
u1 a'reundop cp In.ralsrs -'z'2, "St:l
pouqnrslsoudao+lstosnI u€szX€lalcrJuplcllsnalspafcA€SEuOI SToSIoTJ reI'S}J9aSuI A'd I
ze-S 1clo"rp lnuoF.re 61iaso1o1 es"r$ -trlcadsai
'I9
Inprxo urp +€zqtsor o+se Inpo+Ec 'IaJ +Ir? 14
rnIuSlzacgI)5xprcOxorolpa'(oraeulelpsaKerlcsIren€uIooEucrrr€Jplapur+*xr,€eldo,wr1oxneaucpn?dupoarrs]ptxrooJ+J+oEFsdczaErloulorenuuuordJr+eoo€pJs
locl es Epolotu ng?suac€ ur,rd tua8rxo a1*aso1
-oJ os rnlnuoF.ru Incol m gotsfl '+r?Jlsqns ed
-puono,dlu€etrpuaoJsi'q1oKppcugnIuzrvrzoaoz+.rnt€rD+?arploa oca.sr.rul(uc1r(npcpr1opn1orel{lu:ccdcsIsnouI€aurorJdl
ergioc5r 'po+rec u1 puld r{elalaccu ?uIS rar+
-rzod rruor t* yzneazraor as uoFle op nruo+€ A4 9-e
6oJtsril ounrsual o rzoJ+cola a.r1ug garlcle og
l''1noo,zrdrt{oFq1ncesaqnrnnpslonr+r?r€omJ+?so9s0re?.0.or-eu2urq0no.d0raprenpuocno€uIJnnrraspsaae.truldeleaoqe.eudFr uIunrrl?eltdsoJ1s+$spqgunllusag' cpguuiwlgdq*v(upoosI8^.preoo)cu€,t1JiloeouSar
1-2 pm. Peste stratul de SiO, se_depune un strat gubljre de fotorezist
gi pldcula in figura ?.3-o. Begiunile unde rlorirn s[, difuzeze impu-
ara,td, ca cu o"masci (cle exemplu, o pld,culX, uretalici) gi se ilu-
"ithtn* ie acoperd,
I +L,ri I F
ltnt lf-fist i-o' t> > z t zz z n
I b)
a)
Fig-. 7.3. - Treptele in procesul clc difuzie sclectisir {olosind iotolitografia si
gravarca chimicd; n'I : masca.
mineazd, suprafala pid,culei din partea de sus cu lumind, ultlavioleti' Ifasca
fotorezis-
stue linirceleepiXpurtseaIzas,luEmi sinedfo, lfoosteogreteziusntudl enveeexloppuasnlla, chirnic care dizolYi, atacat de
lumin:i
neputind fi
acest solrront. Apoi se folosegte u.n solvent pcntru a ind"epilrta bioxiclui de
siliciu riin regiunile neacoperite cu fotorezist. DupL aceea un alt
agent' se aplicd,
chimic pentru a indepd,rta fotorezistul expus la lumind,,. ff,,rd, a
ataca bioxid.ul de siliciu de suJr eI. In aceastf etapd, proba arat5, ca in figura
?.3 b. Ilrmeazra difazia irnpuritii,lilor acceptoare ln regiunea neacoperitS, cu
bioxirl de siliciu qi se reali-eaz[, regiune^ p hi pl5,cu!a de tip m. Apoi se oxi-
deazk din ncoirncuinittruelaugi.a-Insumproafda!s,hir,nailaprlXsecuplreoiceEdi esaeztSre, clae la o nou5, etapd, in
fabricarea clepunerea electro-
zilor rnetalici qi interconexiunilol. In inclieierea acestui paraglaf ne oprim
pulin asupra materialului fotorezist. Existd, mulli compu$i organici a' cd,ror
structurd,,5i solubilitate se schimb5, dup5, ce acestea au fost expuse Ia lumind,,
de exemplu, in dorneniul ultraviolet. fn general exist[ doui, tipuri de foto-
rezisi; e1e diferS, clupir, r[spunsul la lumin:i gi clupX solubilitatc. Materia-
lul care devine insolubil clirp5 illminare d5, o replic5, negativd, a mdqtii ;i
se nruneqte fotorezist negativ. Dimpotrivd fotorezistul pozitiv devine
mtt-iliepia.zuiaSrsvioeadlnuuetbtaifillojieztce.olaurinezprzdaif,sigcaf.emuFrobeatesotl7reee.4zetiixpsspetuunrsreielpagdraeelutzifmivontitendosd,rt,eeregzcizisecutll,lftdafoeiteuitcmilapaargccKilnaiuoevndipnialoodkzri.taicvSvedaol,oniuartalidlanjoeiluDcd1t.s.,e.i
fdtolezist conline un polimer, un sensibilizator gi un solvent. Polimerii
au legd,turi de-carbon nesaturate care pot s5, fie cornpletate in continuare,
ceezr, ce concluce la formarea cle molecule lungi sau ramificate. Aceastd, reac-
i_etieap-loieaiteqifigrsatidmuul laclted,indseoleunbeilrigtaiatetradnespfeinradtSd,e de sensibilizatod. fntensitatea
expuncrea Ia lumind, a stratu-
lui cle fotorezist. Polimerizarea rezistului cit timp nu este iluminat este
neglij*bil de slabd,. Eezistul se p5,streaz5, timp lndelungat in sticle de culoare
miron. Ilneori, pentru sta,bili?area soluliei se adaugS, cantitd,li mici de
compursi antioxidanli. Cel mai hun dintie produsele d.e fotore?4st pozitiv
vensrtefi,-Acze-l1e3m50af1t1in],ep.etnr'tortuorcedz, issetuploaAtze-3f4o0loasilepecnotmrupotrzaisliaarecahimlinicii5lo,r-scimlei-lagrr5a,-,
dCgrauotrausci eoAnZnlei-n1cee3s5ran0raetifpmleuninlttdruiscoSgli,rda.oYrygai rrseeeumftoalaoteiseamdg.tloenlcepXc,eu. llVaqrisuirc, odazeiptaruftn,eqeairneeasci,5d,rezeustldat,rtaiavtermemziicas-i[
(de aproxirnativ 1 000). Solubilitatea ri,qinei dup5, evaporar€a sohr-entului
262
t$2,
rnfnlurJa1€lrr €a"reJnlKlul uud (o) 's.raaur eluzr.relod u-d ;rntllcuof urrd (q)
aespuonlru8re8.reoluJ+rT4ol1a€+nr+nrcsJclrc.qucraplor"pro+lo€J++usorrmuo-rla+u€l"tdTc(ruJ)lo: orploc lo.r1 od ezrlua.r
'a41cu €o.rulozf
aluod
0eJ01o3I 'Y
uo.runrsed 6ea.ruloauoo;ro1u1 6ea.re1oz1'6'L
eluulrodurr auralqo.ld olly 'iZ] 'ua,rulu.r8 ri ;roirlipur €aJ€zrltsal ?uls
SOI{ .rola+ri}crrc a1a{uuur"ro;rad ezra.ro*
1C--oc1.Jp0roro0r+t6roo{ JJo'tespascuug€no{Jdzenreyu+Fto€rodJasanfaudspuuqrl?as?I lqrouendr1csr(.cepneoucslrsoree*"arl.uderaIcnte5osr;laaeeqco1olce1"lrodq;rd€o'cOloprspran€HrfnJulonI'*+ucsuotr;OzzoogCr)mo+ousoa_uJrrl+dco€r€uoaorpr.J€8ll.n.orrroprpudaI.anrrapulslunir1dz*
q'?rzl^€cu_r UOS6H II J€ rnnc 'r{ueprxo riua8e rsoio; 1od as crueF.ro rnlnlala1eui
ea.roundurocsap n;Iquod '+tsJ+sqns t{ue;rope gprurd r*-gs qsrza"r ap In?€Jls
rl?s Inraunlod uc cr; o+€Jolo
r$ lolrzrcr miueza;rd q a+nc olecl,ec eltc 'e1rz1gcu-r
.rolrJnqJtscoJprrl €oJISo1ol od gzvazvq as rnlnlsrza.roloJ rr"r9+Jpdapu; tsaruqof
'sndop Ir1i1peEs ru0au'rnTsrqo"nrl8osopna';1rs5rz1eu.1ros1roin; darpuornclnrl1€3Ja+ese
€rn?€u a+sa oJEc ad lnlu.rgsqns ep
ep apurdep o?€?IncrJrp op
acar€oop gIIclJIp prue1qo;rd o o+sa luzuaurqod rnln+srzoro+o; ua.rel;rpdepul
-'euwrorSx.arga1 gru'rsiog"reFp,ltsrJr+usrloepleKdrrorJlooaJ aqpnsrJsnlodedp mrl 9 ep so.rF +tsrls url-r+ur 'n1d
e+so pqc Inz€c uI ;rurqc gunq er{
a?+qrIsE+KKrsrclor^1iaz,o1udrpIon{?ms-IzuarJpo+uoJau€ncr8aocJ€JuoI ccoql?aooJct
-nlozoJ r{ueq.rosqe .rolrJoJour
€o1€+qrqnlos '1rqnlos
-oJc e KcrJrpo{u os oJ€o srnln"rourrlocl a1e
auraap lsrzoJ op ell1l11.€rnJd+rsu8r*qleurrp.8a.rrauure gJa}su€J1 rrJo+€zqrqrsuos l,uuturnlr
-cu) oleuor{cuq (a,tr1
t-)ffi-N-- $I a+sa
i .(g4) ,rr11zod
\--l- lS (.f X) E-re,1r1Eez6llauuculs-lz'l'eLrolot.$HIlaI
--w;;w-
rolarlsa.rr}
'I :am
rlsarmzoSrp,arpeIn+gulu.t1r{sruprul€3o?'n€r+yoqsrqnoplospmrxouJplurqeodp ar{n1os o a+sa elua (luedoloi.op u$
egqesuodse;r edn"r8 olsoc\r
les
'alncalou{o.rc€ru uI elueza"rd aleuor{cun; oledn.rF op qlnru aUtsoJ epurdep
semiconductor al substratului (pe care este realizat circuitul integrat) dintre
regiunile active qi folosirea unui alt suport mecanic pentru circuit. tr'iecare
metodd, are avantajele qi dezavantajeie ei ln ceea ce priveqte
tehnologia ;i
performanlele circuitului. Fiecare regiune a cipului in care
se rea,lizeazil"
un dispozitiv se izoleazd, de regiunile vecine cu ajutorui unui strat dielec-
tric; o asemene& regiune izolatd, se nume,,ste insuld,. In figura 7.5 sint re-
prezentate treptele necesa,re pentru izolarea dielectrici. Se ia pl5,cu!a d"e
siliciu in care se taie qanluri (s) pentru d.elimitarea insulelor (fig. 7.5 b).
Se oxicleaz5, suprafala materialului; stratul de bioxid de siliciu seneqte
clrept izola,tor. Apoi, se depune peste oxirl un strat cle siliciu policristalin,
carc va servi ca, suport mecanic. Se intoarcc proba (cu. susul in jos) (fig.
?.5e), se ind.epdrteaz5, mecanic o porliunc din Si-n, (porfiunea haqurati, din
fignrd,) qi in final rd,mine insula inconjuratS, in
intregirne de clielectric, arsa
curn este reprezentat ln figura 7.5/.
fn cazul izollrii cu joncliuni fiecare insul5, este inconjurntL tle mate-
rial extrinsec cu cond,uclie de tip opus. Joncliunea p-n reztltantX se polzr,-
rizea,zil invers, astfel cL intre insulele adiacente nu culge clecit curentul
invers de saturalie, care este destul d.e mic. Realizarea insulelor de tip n
pe lrn substrat de tip p este reprczentatd, ln figura 7.6. Se ia plzicrila semi-
concluctoare de tip p pe care se depune un strat epitii,xial cte tip rr. Apoi se
in regiuni pinugtuesrtnei,ciim, tpleurittidp,lipac(nceoptatoteareatrepa*,l)iz.ilIdn.u-fseelullnaac,ecesstate,
difvzeazh,
conduclie,
regiuni o
regiunea ri, (fig. 7.6c) este inconjurati, de ma,ierial cu cond,uclie d"e semn
opns. Pentru a realiza izolarela, pe substratul, de tip p, se aplicir, o tensiune
negativX cit mai mare, insii, sub valoa,rea limitd, pentrn strd,pungerea jonc-
fiunii. Calitatea izold,rii este limitat5, d.e canactcristicile joncliunli p-n,
polarizatH, invers. La frccvenle inalte capa,citatea C, a stratului de baraj
reclnce izola\ia, quntind rezistenla, -B1, a joncliunii. Aceasta se poate inlelege
n5or dac5, se reprezintd, circuitul echivalent al ionclunii care izoleazd, doad,
insule (fig. 7.7). Limitarea funcliond,rii izokirii cu joncliuni la frecvenle
inalte este un dezavantaj. De asernenea, un dezavantaj este qi necesitatea
alimentflrii cu tensiune a substratului. fzolarea dielectricir, nu prezintd, ase-
menea dezavantaje (ea funcf ioneazd, la frecvenle mai inalte decit izoiarea
cu jonc{iuni) ins5, procesul de rcalizare practicir, a izold,rii dielectrice este
rnai complicat. A treia metodi rle izolare constir, in urmd,toarele. Se reali-
zeazra elementele de circuit in regiunile respective din cip. Apoi cipul
se r5,stoarn5, arsezindu-sc cu fa!,a in sus pe un suport tle sticli, sau de
ceramicfl qi se indepS,rteazS, prin gravare porliunile din substrat care separd,
elerrnentele d.e circuit ; rd,min insule, izolate intre ele prin aer, ceea ce face
ca acest mod de izolare electricd, s5, aibX, ca,racteristicile cele mai bune.
Insir, o astfel d.e izola,re reduce rezistenta mecanicS, a circuiluJui.
f3. Inte'rconect(Lreu
Pentru interconectarea elementelor ind.ividuale ale circuitului se folo-
seso contluctori metalici, de otricei d.in aluminiu. Aceqtia se depun din sta,re
dgreavv5a,prioi.riO, foplorosbinledm. pde, ndteriuicaatlde,geinretearvreingeiulnailorreadl.izoarirteeatelhnncircuacimqairsiicda,ridi o;ii
contluctori, care nu trebuie s5, facd contact electric. Aceasta se poate teallza
in dou5, rnod.uri. O cale este sd se depunil primul strat conductor, peste
acesta se depune un strat izolator qi apoi se depune al cloilea strat conduc-
tor (fig. 7.8o). Dificultatea care apare in acest caz este cd, depunerea stra-
tului izolator necesitd, lncd,lzirea sistemului la temperaturi inalte I aceste
264
992 o
t:j o
o
gc
>t b
I ao
It 0
o E)
o
o ch
tt a Q(
r!
!) ul
It cr.q
o
N e iE {
N
a I
w "E I
Lrl
:"
o
{:J u
oo
I F
!t
^= -t
ts
,r. ;
o
'o
:o N
@
o
G
6-v
o
N
e
N
temperatu.ri nu trebuie sd, se afle deasupra temperaturii eutectice a siste-
mut-ui metai-semiconductor. O altd, metod"i de izolare a conductoriior in
Iocul unde se incruciqeaz5, constfi, in difuzia de impurit5,li pulin aclilci ln
substrat in regiunea cle trecere (in fig. ?.8b se reaLizea,zd, o regiune c1e tip
si0?
Fig. 7. 8. - Izolatea conductorilor la lncrucigatc'
p). Regiunea difuzatS, se ac_oper5, cu un strat cle oxicl. O linie de cond.-uclie se
compt6;teaz5, prin stratul difuzat care constituie un rezistor. Cealaltri linie
de c-onducfie lrece pe cleasupra stratului de oxid. Rezistorul difuzat, se pro-
necesiti,lile cerute c1e existenla unui rezistor in circuitul
ieeteazil confom cu
rcfinzeuostr?lpaeeerzecciatsoivtnel,arnlon!i5nrc,ictordfouraica.cidrqAt,aecarecemescistcaotfa,n,sdnepuuecpenoetasirnttteelevnareeitdcna.eub!scialealrlfpaerrceaitngapiuaccnrraeielrriaayatce*utr$eenarquisigqticrctoui[lspeismlaecijirirecscaatulpriizataeutcualiuzltuiiivt.i
tcizaroeteslateetorserteaq'rnieepzcirseintseanmrl[:ieciinq'coocrnairdrceuuaCittaoqrruiielaui tiI.uanS_ciiinncetrauccsaiqezauprreroi,"iienuctl'cetiaarrrn'exaaoclAaasleectancrocanncedta-eurcciAisnptdiac-.ielleai-
d.orite. Pentru conductori se folosesc de obicei aluminiu, insd, datoritfi,
temneraturii eutectice mici a sistemrilui Al-Si (577'C) se folosesc qi alte
materiale ca Cr-Ag, l\Io-Au, Pt ;i Ti.
C. Pasitarea
ln chPima,sieiv,apreaasisvuapieraafei-ntesieuamnunieaszefm,, ipcoroncdeuscutol rperisntecoarperosbnlepmradfa, lucLomspelefaxdce,.
inaativd,la riaclii chimice. De exemplu, fierul se pasiveazS, in acid. concen-
trat iar alurniniul in atmosfer5,. Procesul constil, in formarea
pe suprafala
rnaterialului a unui strat care impiedic5, desfi,ryurarea mai departe a unei
reaclii chimice. In semicond.uctorilor trebuie s[ se realizeze nu numai
cazul pasivarea electric*. Pasiva,rea care se face
pasiia,rea chirnicX, inilial
ci qi
ionstd, in controlul Si'sdbihzarea proprieiS,lilor electrice ale semicond"uc-
torului. LrrmeazX a doua pasivare, care constd,
in proteclia sau stabili
mfipzanae,"t,rrrc"ee-a"aaunonmqic*lXecpo'dq.rniAouitetluepldnicdrelciuirnaaaraeiipnrcaaoteispcsrieucvuolacfuenlreier.eietxPslipeele.rnrniemaitlaorpaulrli-zicppceaaliaersctzceiuivu,iamtipernerliei.lniqaAMialtoOcd^oaoSdptu5eeac,raipprriearneoasest-ivechianucidrtleisearntrirnaeaccithelesuimredsrnnieucsebXititi!zrc..iogilferi-i,i
la sarcina c1e la suprafila oxictului, se recomanclS, dequnerea unui strat die-
lectric protector peste itratul d.e SiO, qi peste celelalte elemente ale circu-
fi*ot"ulolsuSeiisOd;,i1dp.euiitvafe"e*treoizmaaaetnceSeii,aasrntciacoimleop;bioliqi,cnnaeunliittXecloaerslted_eicsaoccrneottpiene,rfi_orceusa^fosctrii,cr-ladc,l-uutmiotepilnoitirdu,i,.ntB5et9grurmamt-bea,i
nitmrd, de siliciu.
266
193,
,d€II+KaspJn(s1€n1I to,4psqrJnr?g+r',JFo1le€rzunJ.rrpog.*rdo+Eeu+.nrrlSlda.€r o o+sa olec 'r2- el.reod qns ed pnaJp
elrJnsuos r{o5ps nc o+€c
oJaoeJnc oIJ
-IprrT +uIS 'Tuerp rS psms .ala?cts+uoc or+ug ?, dl+ op ltsutsc un e.ru r* d dt1 op
'durl op loala nJ
ln.iolsrzrl€r1 (q) : (u-d-u) .reiodrq 1u.r 'iBri.rur IBUBT
-ols_rzul?rl (u) : p1u.ifia1ul dnJru-;qr :aspnp]larrJrr {euEJ nr
-giauo{ no InxoJsIzuErJ *-ulJ'0oIr'Zu-r 'run n:l SOI{ -IDnro}s:-luz1utu;..rria31, u-r'6€'u4rJoJ'5rrrg,r
''5I.r{
J
czd td
dJd
(o
u iDJlsqns
aa
Jooploltnspuu€cocnrrcuo(+sts+ztsnJF+psqnnslqunnp-Ja++u*lailItzrnnuJIpos,lqinOopf',ur€J.rdrLgB.IrJBudal r+d'Bo+suoozsoaJ.dI€a.oraip7(lurdunrl
-r{cuo[ nc .ru1ocftun InJo+srzu€J[ J'KtsltIsoudroqrsIunJooru+slprzlqrr€oJ?+souK1u'zrcr.rrrsrsr ap JoIrJo+€?
69(9 ap og.sa
-.rnd ea.recSrur K+tsJSa?uI KrrJoJ rri
: : :q€J"?a€auIuorlrdslsroqoJr8FJo:t?rsourlraz]u"re0tsJfo++uEnruItJsonIux1tl+sulur1dos.oaoaoInrJdtlnsrgc?.trsaaJllrnussnur€slaurIouoiIraSultol?(JJJFd'nEtsuz'r€B"qll.rf0roi0l6t.zror1ucrrorn1llnoTlc€.'r;t,o}rs1aQ1zrnuuseq
nve+rn.u:rrld{,Jn1e+vtuctssarp"ucurrllnn"ensuarIrutz€osnaruaunJTmBJlnpz.lutrrsollI€uSoaeaJdlp'iFan+a*lJratlu+as++raorIcaguS?dru+{'n(Iueo€lo$.srlceenJoJnsgqszi.(ldreoantas-cli*JclauJ+eJo1u€r+eriIperoaulzarsrI.ocrIn€"SqpJd3Autopr+rs+grdtc€slauIadzlloolxnlpuusJqnrla.zOrrr€rcuaol.a'r,,\Aoraq.I'r€nz"inJ?vod€1lql"n-rI?a.ltrss,so1€vd'aapIaurd1KxnIo+zrocFvaaoan.pzpat
In+€uJn?srIr'-(nSonsJdJuroIeInp+c;slalasrrlzSl'scraa)r',€prrlncJen;ldn,oroodS'rrr.ugrc'8(sn*tq%sr+fuc)la?um+qrol,rsBluofqd,anopnspJcac€p+dl?cul,rriJ,ui€KoIgnl++gconI,tAaSsd"Ipr++'zIcsar+nJdc?p?1aDsugJloo3laacpngJ+ccu+srot.tsIr?.nJrqa+.rtr1srJo,!ou?do.nsr-rqa1rzEottozrz0ep'lBral+a'1llziran+:erJ,Ex.uIm'p+eaul5tsocotsl;z+tra?uul,+drlpseoJ.rrultsl-esdls-uuaJ
qg1'1 um5rJ uT JEI 'runr{cuof nc a;t€Iozr na '1e,roqo1u1 tt-i[-tt, .relodrq InJo+sIz
q ufuS}-tnsOIE+gtJur++totszI+n.ar€8J.r+od'e3uag.alsuzaa,a+tt8.sdvaara+luqt ?ro6t+sK'ls+rour€roJ,1mzoarJF0JdruIJa'1,.r€'daJ_u.n+{r8sq"otrcJ1'16ou'p1ir,1+€{itJaeaIuLlJ'BoiarItuJnrnDutl"ISua'OJ6€BIc',,I\oIn€za;Ictlra"nto.sroetotsgos:N+rnrsplrFzm'B.urcEoIo?JBJusunrz€Ju+c€cran?sc.
?laJpolsxzun"t;f, 't:
a's++ytIesnloat+m4aco.rol€npcs1qo4+uuIgna?r(udrnarccla)JrnJcrocolqa+rsssJaoonapIlopgIiI€nISaoJpu€lcdrrpJrq*cu€la+JaqpcoeuuIooJudraadqlueaclFuuqacsegoJupi luptIu+SoIo1nlca'cJIl.urIgCacoularola
nlallJs ulp oollllouom oelurfialu1 allnorl3 'g',
p, aclioneazi, qi el ca o poartd, segunclarS, (?r). Joncliunea substratului ctt o
regiune rt, poate servi pentru izolare. I-,a proiectare, trebuie avut in vedere
ca regiune d"ifuzatS, a porlii s5, lnconjoare complet suprafala regiunii sursi c
sau a regiunii drend, pentru ca curgerea curentului electric si, fie controlat5, t
total de cd,tre poart5,. Fabricarea circuitelor bipolare este mai complicat5,
declt a circuitelor MOS unde sint necesare mai pu!,ine trepte tehnologice.
in plus, tranzistoareie MOS ocupfl o suprafald, mai mic5, si deci au den,qi-
tate mare de impachetare.
B. Diod,ele
In circuitele integrate izolate cu joncliuni diodele se realizeaz5, prin
folosirea joncliunii emitor-bazX sau colector-bazd,, aLe unui tranzistor
cu joncliuni c; lperfinaputrmfaabrreic,airneacatnratlnizzoislit,oririilcour.joEnxcisliutinmi,afiabmruiclaterepaosdiiboiclille,Xlolri
insemneazd,
de realizare a conexiunilor pentru a obline dintr-un tranzistor o diodd,.
Cinci asemenea posibilit5,ti sint reprezentate in figura 7.11. Daci' se face
izoLarea cu dielectric d.ioda se poate fabrica ca o simpl5, joncliune gt-n. Un
exemplu este reprezentat ln figura 7.L2. A asemenea structurd, simplX, nu
poate fi Ia circuitele integrate izolate cu joncfiuni, din doui,
motive. I_natdiai,ptcalatdc,[, sint d.e tip
substratul gi regiunea care inconjoari, insula
p aceasta trebuie polarizati, negativ fa!5, de regiune ta a diodei, pentru a men-
poate si, nu fie compatibilX,
line izolarea. AceastS, polarizare d.iodei. Al doilea motiv este cu polarizareot
neeesari in circuit a regiunii n, a poate avea
cX
loc efectul de tranzistor intre dioda polarizatd, direct qi joncliunea substra-
tului polarizatd, invers.
C. Rezistorii
Cea mai simpld, form5, a unei rezistenle (rezistor) este un strat difn-
zat ca contacte la capete, figura 7.13. fzolarea se face cu joncliuni polari-
zate invers. Rezistenla stratului este dat5, de expresia
R: pI'
h1'
unde p este rezistivitatea materialului, h grosimea stratului, -cLar-acltuenrigziemaezak
subliri se
d$iedo-bicle[,i!inmueaprsina. Rezistenlele realizate cu strate ci prin rezistenla pelicu-
rezistivitatea p a materialului
lard,
Eu: P (?.u
h,'
uncanr:ep5sR,ter,a(mLt,ladrei)znquuiitrSpn,eenqRttreu: qIiR' r,e:.zRiisle,tezanisd!ti{ce,5np,laeatuupn5n,uctriiacstit.nraIdnttssru-uaptdrrlaeirfevaXldare,refsoezrimsptoei,anptleei,itsreacsrtiXtee
este determinatS, d"e rezistivitatea qi grosimea peliculei, indiferent de rnXri-
mea suprafelei acesteia. Rezistenta peliculard,, R,, care are dimensiunile
fl este :ul.rtal exprimatd, in A/1 (ohmi pe pd,trat). O geometrie mai deose-
bitd, a unui rezistor difuzat este reprezentatd, in figura 7 .LBc. Pentru mii,ri-
rea rezistenlei rezistoruLui trebuie s5, se md,reascd, lungimea sa ceea ce ocupd,
7ae
692
'rnInlrnc'
€-JJrncFIrnJlouqIu+rsts+ruSo+zuoJadl€oal roqgc.oseInp+qren;cr8Jorc1u'trsopuuoruJrooJsEuIopo+torn+q€r+Ju?aszrapldoo+Ju?€+usISuo'cgTn'rc.
q+ouc1rrrnlopcc{eaJK."lrrczd€cuosiO{+oecs.oor'?u5loroeJJc1oupeorssegz1{utese+;c.rLo5+cedsoqo;ncurytru3 aIunrpi+uI Iran'nmqcuocJo.rrrucpcrrsouurpiepu(.irat1i{I;e1n1;cJrsFoyao+qpc'urnr{rapJcluucrr+rsuqgrpozrc€urouoJlrrnourr+uo?cr{rsnunpecowg.irlc,cBnJcupoonurJa-roJr?+?ocxuI€Bor
q-IaJrtconeIllt€uds+^enuc,nravz(czqoar.)rrpdo'ea+o..rcrlronzJorpt"4surous1+e1Ko'seduJ"rr"eoernFplu.rrnoncutpssnlulowszpu-rod.pr+e{uolFoeu+dlnsrrrswqzooc-cctuo"[opuaqlu(anrng)croic:.rraSrdol(oOfcg)m.rrco'preqr.rdr.rc,ueourlSdurcuqe'ceqdugueTnoc+LsroSopan€rogng+TFi€€'rL+;I
urnFq nI +E+rrazatdar er4l.sraoglerc.ru8deuqcurKSzvOoIzJ\lJt+on+rce€sdemlcu;u51e11'usrJooalou+I ran1creilzcttvu1oId" w-d
opunr{cuol n€s SOtr{
0ry,nqxl,?sxpt a?unryuoc nc e1eiog 'lxla?crytl!, r,S tttopcndnp '61
'ounrsua+
op oJtsru ruuoruop un ed oJ€ruq +qs nu KC o+so EJo+socts 1nleluelezeq
U{09 op
'SOru o{ue1srze"r rirpzrlr+n Tr€ru I€rrr e{uelsrze; mea€ KS urrrop Kc,€O
'te{o;,u;rdns € orJts riuaecr gdnco oJ€c +tsznJlp Jo?srzoJ rnun € +Icop sJtsrfi rsur
o--srr{lrzrqolroJpuoorJstos?pSuOooruJp,r[prJrSoo+pssg.rrnznoaspl eu.erI,d1]uu1'oar;rra{dc{eunapnqucsorza(noro/OptsrqKnll9lnr6lo€)pug€€lcuaerrtlrsruoanlrs€qqAcJop'lft?€1rI€i'€tI'nu5cuqral)edureurgdf;urraaoudl
nc 4g?€+mcilc+rncs €uoJp ar€o fltr,{sow rnun Its snpm InItsIrtsc pulsotro}
qiqo es drc ocl pcrur rtsur aJts o ac{nco fs oJtsc 1* r.rem l€ur
arJ€ +Inur oiua1srze,g-
'lBZnJIp 'r11. ouoIlI
'nrlilJs ulp Jo:lsrzatl - 'gI'Z '-""IC 1el3a1u1 lrnJr,rc un-rlul'JlrlJe{a
-rp J?trBIozI 'BpoIO -'el'l '3lg
(c
u rlolsucrlod t5
(c 'rolsrzuarl un"Jlrrrp epolp IJun a I
orourlqo )p r.rnpolt -'tt'l 'Fl.X
u-TEk-:l--_--r7----4_-E I
t*C* t-\- ('- l
k---
L( t" -
B
Ll
B
L,1i |
;
'otznl1p rS alecsuur op Inlnsoco.rrl p1o.r1uoc ep er{aunt r4'oA96 ep alsa e{uo1
{T-sJrozIoEJAJno+Bsoca€+oBItzsnoJlrtpszaq€1oer{uoaIrlJsorIz€aagrr;'r€naln"dr€rcolgr{e'C;Iu.rd0ngsiSmOp 11
Og e.r1u1 asuudnc
?Jts{rr reur or.rts o
Irig. 7.14. -Un rezistor MOS.
-si 02
si 02 cF---J\ AAIE---+
b) I
Fig. 7.15. - CapaciLori pin-tnepgoralaliri:zacti- I
]iOS; D - joncliune
d
invcrs.
9)
Fig. 7.16. * Circuit JIL' cu constante distribriite !
c- structura; D- circuitul echivalentl c-
simbolul electric.
7.4. Cireuite integrate eu strate subliri
sublirTi odaetpeueselempeenutenlescuibrcsut{iatut luizi,olpaatosirveclqlmi acatrivfei, sint realizate d.in strate
sticla sau eeramica.
A. Rezistorii c'u stra,te subliri
Se realizeazd, prin depunerea pe suprafala substratului d.e stlate
subliri rezistive. Dupd, cum s-a ar5,tat in paragraful anterior, rezistenla'
i rezistorului depus sub formd, d"e band5, este
:
tf
R:R".a,,
f
! unde -Es este rezistenla peliculard,, iar a : (Lld,) este raportul d,e formh,-
l
tF
+I Pentru a m5,ri valoarea rezistenlei pentru un -Es dat trebuie s5, se md,reascd,
raportul de formd,, &, ceea ce insemneazd, cresterea lungimii rezistorului.
1!
Iil Pentru rezistori cu valoare foarte mare este necesar sd, se utilizeze matexiale
cu rezistenla peliculal5 mare. ln tabeia ?.1- sint reprezentate caracteris-
ticile cltorva materiale care se :utilizeazd,.
274
TLZ
{NI€IIAIBIN
oclrlcolclp oluBlsqns Ioun allcllslrolcEJu3
a'L DlaqDJ
'-etseJu+es uEr'odyrs0ms0s6eoq.or.p3'"g'IrCScIurIuuurle8l€a.rrtuou1rrl"utroros.uroerJq55uonIdsdorpI{o.mrJlsn+ueoudp os rur Isun+ rnln+coJo €zn€c ulp
Fri+€c+sansuo{ loo+; soosolrzJr+xcoolooplp op rnln+
gJ€J€ utr
'Co od 1i uorpur ed r{.rpd u1 qumr.rdxa Trn+Brodma+ ap 1nluolclJooc olse L
: yoo0 I op mlncrJlcolorp t; orursc.rF o n.rq_uod ,urur rIed g?€p o?sa ueltlrcede3
'yzeazqrqr' os oJ€c rrcr4colorp r{tlueze;d +u.rs 6', €Ioqts+ 'I€+om-crJlcolo
-1p1uqau 1;ri{qns o?tsJ+s op E^r-saccns eeraundap ur.rd gze-ezqze.r eg
r,.niqns o?D.r!s rrc tt.toltcnd,ng 'g
gurer8ourou o '[S] rl IS "g" 'U rnl olrJoltsa €rugso eluod as oJr3D rrrp
glurze;rd as lT', ern8r; uI 'ro+colo.rd pixo op +ts;r1s u1t Rz€our
-JoJ os eles re{e;u.rdns ra.reprxo ur.rd 1u€gd1drernn.rrrerpglqz,uynr1ldnruqo1€eps+qnsSt[ouelnrzeglcpdlocerucsgsrruqeousc1llss€n'n.ouddereocppJl€lqlFrirll?+rgtco3J?J-++soss6
tll.riqns o+ts4s nc JoloJ€o+srzoJ ts durrl
euprporlsuanr,1|".rqo{dqnesparltaJ.+resdnnccerpoluaru€do+vsalzaocJa
oa'(.zpra)duKn+rdeuooleppluuuor1ldse0r'pz- eou{ruaulur.errepd1oK-1Jnr(+SrE)adrpad€ruicreplq€.rane1.pruo.rsgeqlduouorpoau+moqodape;prgfr:tle'ura1e{.pururadalsdorazlsapo.uri(egtta.)rlclraeuodropeu-8n
'(fr)d + (l)o *(;)d : d
ea-aedlsore+{;lrTpe?dpr3uK+1u+oInpzc"asr;ntrsdluea.r.1rersd{qgruns'o"lgran- 1peo'+o./€r'{re(+l,nsr.qr"€ueaadractprs;eoao+gcl€lrr?o* mpulro+npcselaz;rlad€gpe'r"+toeuruls*nrdg"erlalptq".J€€+iIBttrti',1l.tt#u'1#inu,tltn#"tl
-tsJ+s rIruISo.rF ee.recryrporu ur.rd KcrFpour as "g- re{"uo+srzo.r €aJEoI€A
(1aur.roc)
oz 009+ Br 008- 00002-00r urorc IS IBluBl
op FrnrrIIIS
OI oorl- E{ oor-- 00s-09
IEluEl
ap Frrul.rN
9I 009+ ur 009- 000r-se nluBls ap plxo
I 00r+ €i 00r- 00t-0r uIorJIN
aa
lnl€.rralEtr{
Irllqns ol?J?s ep purJoJ qns e}€zllrln e^rlslzar eJEIrelEJ.ri
t't nl?qnI
R "s,
fL
n/o
+tn ++-f0 000 f tooo
+9
I 0c0 -l- soo
B 6 00c _I
{-l,o8o00
7+ +i,000 :-]-t- --J{-
'cc
6 +- +{3 000 -r
r0
5 :L -l2 000 -I-1J-
t-l 14- r,co
I
I
+
+-t 000J+_t'I- '-.1 +300
--1-
q Boo I::1
2so
I:,==-ltI - Rna I
_t f -.--it\-\- - --1
-J
300 -tll\\li f- 2oo
I J-tl:+-1js0
\-l
J
_|I'J L,oo
_lI
1AO
1
F'ig. 7.17. -Nomograrna petrtru rezistorii cu stlatc subliri,
C. Tranzistoarele ou strate subliri
poart5T, rizaonlzaitsotaorreuljncucasrterasteemsicuobnlidrui cetsoterrrul n(etxrtarinnzsiescto) recstue efect de cimp cu
depus sub formi,
de strat sublire. ca poartx izoratoare se utilizeazx cel mai mutt sio iar ca
semicon_iluctor, sulfura de cadrniu. Dou5, configuralii posibile sint reprezen-
tate ln figura 7.18. contactele pentru sulsd,, poartd, qidren5, se fac din aur,
cupru sau aluminiu. Grosimile stratelor clepuse sint cuprinse intre 0,1 qi
\2 V^, iar lungimea dispozitivului este cuprinsd, in domeniul S-10 pni.
Tranzistoarele cu strate subliri se pot proiecta cu canal initial sau eu canal
indus.
7.5. Cireuite integrate eu strate groase
stratele cu grosime mai mare de 10 pm se numesc in g-veendeerarel strate
b0 pm. Avind in ci, in
groase. timita grosimii lor superioar5, este
unele aplica!,ii nu este nevoie de strate subliri, se folosesc circuite cu strate
groase. Experimental circuitele cu strate groase se rearizeazS, mult mai
slqRfu (eco_nomic) cleclt curcuitele cu strate subliri. De exemplu, mate-
r_iaiele_ conductoare, semiconductoare qi dielectrice se prepard, sub formx
cle puclr6 (pastd,) care se aplicd, pe suport.
7.6. Cireuite hibride
Lrn circuit hibritl este o combinalie dintre un circuit integrat mono-
litic qi unele elemente discrete, ori elemente- cu strate subliri Eau groase.
Se realizeazd, asemenea circuite'in scopul fotoiirii celor mai bune caracteris-
272
tLz
tI '(g cr5o1 loalrr €I EIJts os ee.nSer (o.rez c15o1 1e-tru
FIJts os rJgJ+ur urp €un ?c€p) T crFol 1e.a.ru un errilar 11 ecnpo.rd "e n.rlued
1 cr5o1 InIoAru €I gIJts os olrrpr+ur a+€o+ or€c uI (ONV) 1$ erfcung (e
.eirqrsorracr8oloroaruTffir"fr S**1ff".1T1:Xlln"*ilr??*?3lt:l?11';XH*
1S e"re;r ur op aarlo€lctscuruFroolsinullrpnco4Jc€coo+IJsa'eE.nJ€*eur.iqp.prncFrFuolsl o rS r.rp.r1ur ollntu r€TIr
€1r€od 'gz@qcolq II rJo
ntss Knop orz
ao'cs1p3coItI1FJFolel+u+srrunaoc.srJeruconluezOpucn€',do,sIrtelt.?rIosic?,,segq1tt1InJeocrIE*ozo€ecaro{lcor€nuopaeupsoegacl.rro8eopo1dorr+lJorpnac+rJusrcoe?rre*sooeqclp*€ozuu: nm(odurs€acr"cororlquc
eun 'nldurexa ep) ecr;rcads ounrsuo+ op oloaru Fnop oJ+uI T€runu g8urlsrp gs I
yqutlea also J€uIq cr3o11n1rnc"q3'1$cr5olqrncJro eqSournuos InlrncJrc 'aunls
-ua? op la,t u rSelects tsI 1uIS lIrnp+rr+nqcJrlca.r+gcoelopctn?cldtsiuportxsoruonuCe'.eucSre8roe11qonuFreu.srueal+ruor i
auriqo as rS uplqur ror+ o.rts
I
t;-'mrn[ilu.truoateg"per](olqeondlJuFt?srars.urar"{acrlc1€r3nuulerancJ.urr"de'rpeexrguednlndnupu.e4rgluoezecle5deetpulluuno,rdrrefeocpc+uouInnuoJcraJcrr{lcoJeo?orr,sprromaucul.drrrJcruuroFeorxoiplelnrnlun€+l^1rnnorl.oclrl3JcJadrC1asuuuln'Kn1dc"nxrr+Jelg1ondurrcrm4onC,uer
rS rrcruollcole reznq oruoJl g+Inur op +iuoaop n"a ole.rFelur oIo+IncJrC ;
giuagdg 'L'L I
,o1,"o1,,nd*ceor+s.r.ra+cn*u"'!it?T:#xlJiF}l:-";f i5+ttl&ll"Thj35;;,tH t:
rl
ao''ai++l1EiE16J+z+lusr€O.urrtOurdpg{ r-orl{gp.ul'orUzmqrre}ndoeoeJurc+ruuucoIrSnprcprlroru."Jnro+{eqluprncrsur"aduocu,li€ocqJrn1"+so*soaror+p.pr€o.1?rlsl{surezrczerson.or}ysJpoq€lnoIrsJroo^co+Iss}soclrrzsr3ooal+laoslc;orszeluoasosl rorerulro3ooJSlo'r.ar.rcosru+{qd€nnuoNs31
n
eur,|uoc oJtD ruc{Is urp cqrlouour qe;rFalur +rncJrc un-r+ulp +mlrlsuoc o+sa
2gll[69 11 gzmuor{crrnJ aJBc.roquc.rggdure un'nldruaxe aq 'aseor5 al€J+s nc
qt.r6a1ur +Inc4c un ri rnfqns o+ts.r1s nc le.rFeg.ur +IncJrc un-r+urp nrs r"n{.qns
oltsJ?s nc 1e.rFe1ur ?rncJrc un nc cl?rlouoru gu.rFaqm +maJrc un-4urp €ouauros€
f,ruoJer lDJlsqns .uliqns
a]Brls nr crBols-rzuer,L --'tf 'Z 'fit-{
ap azvozllvor os plrqlq +Incrrc uII 'o+oJcslp o+uoruolo ec 1u.rFe1u1 olnplngllrnocl
--.ldrreccplezcear*ie1rre.reoslc1n3pguler.rgFae+nIrlldEuuerxJoaJ u1 rcrqce.rd +uls nu oreru or€_olts^
op 'alleounc oS 'rololuouodruoc oI€ IcI+
b) X'uncfia SAU (OR) in care un nivel logic 1 la oricare din intrdri
produce un nivel logic 1 la ie.;ire (dac5, toate intrd,rile se afli la nivel logic
0 procluc la ieqire nivel logic 0).
c) Funclia NU (NOT), numit5, funclie de negalie sau de inversie,
in care un nivel logic 1 la intrare produce nivelul logic 0 la iepire gi nivelul
logic zero la intrare produce nivelul logic 1 la ieqire; poarta NOT are o
singurX intrare qi o singurd, ieqire.
d) Funclia $fuIn-cliaNU$Ic)eilnre combinarea funcliilor $I qi NU (func-
lia NU urmeazX, este toate intrS,rile 1a nivel logic 1 produc
care
la ieqire nivelul logic 0 (clacd, una din intrS,ri se afld, la nivelul logic 0, se
obline la ieqire nivelul logic 1).
e) tr'unclia NICf, care este o combinalie intre funclia SAU qi func-
lia NU (NU urmeazd, dupd, SAU); dacd, una din intrd,ri se afl5, la, nivelul
logic 1, apare la ieqire nivelul logic intrd,rile se aflX, la nive-
0 (d.acX toate
lul logic 0, apare la ie,sire nivelul logic 1). Simbolurile grafice ale porlilor
logice sint reprezentate in figura 7.19. In figura 7.20 este reprezentat un
circuit logic tranzistor gi cliod5,, dDeTdI,ri.odEeistdeeuinntrcairrec,uiDt $* ID-N*UD. rD;eiecqiziriielea
logice se iau cu ajutorul unui gtup
cu
diodelor alimenteazh, un etaj inversor cu tranzistor, stabilind la ieqire nive-
Iele d.e tensiune 1 logic qi 0 iogic. Nivelul de tensiune 1 }ogic este pozitiv
in raport cu masa iar nivelul 0 logic este aproximativ la potenlialul mesei.
Presupunem c5, una clin tlioclele de la intrare, fie aceasta D* se afld, la nive-
Iul logic 0. fn acest eaz dioda este poiarizatS, direct qi qunteazi, rezistenla
fi, (fig. 7.20b). Pentru a fi siguri cd, curentul alege caleaprinDt in conti-
nuarea emitorului tranzistoruhii ?r se introduce o dioclX D, care este tot-
deauna polarizatd, pozitiv. Deoarece la intrarea tranzistorului ?t se afl6
de fapt d.oud, diocle in serie, dioda D;idiocla sa emitor-trazd,, curentul va alege
calea prin diocla D, clnd aceasta este polarizath, pozitiv. (Notd'm cd, aceasta
se intimpld, deoarece potenlialul punctuiui A care a polarizat direct clioda D,
diode serie ale intrd,-
nueste suficient d.emalnre-paecenatrsutd,asditeusachlieicletracenlzeisctloourdu,l
?, este blocat gi nu
rii tranzistorului
curgo niciun curen"tt)p.rin baza tranzistorului ?r. Prin urmare, tensiunea d.e
lienols1ireloagtirca.nlznisftiogruuralui7.T2,0ccsreeqrteeppriendz,inltad,vsailtouaareliaa pozitivd, V s cate este nive-
cind. toate intrd,rile se afl5,
la nivelul 1 logic adicX,;diod.ele de intrare sint polarizate invers, ceea ce Y&
B ---_1ft t-r i"€>*
SAU
C F=A+B+C
F ='ABC
f #-,€->-F A
St t.!t) N lcl
F=A
P =l,AC g = 4-1g+g I nversor
Fig. 7.19. - Simbolurile gralice ale por]ilor logice.
tidereaqtinerezrmissctinoaarduecl uh?rlga,elcroeianadrceuaarceeVnsottua-lusieIf"-a8pt,tr6,inuinnbdas.eztaafr,etraaensdt.zeeiscctoounrrugdnl.uutiucf!?iec,..arST-eeencussirtugan-beei-lae-pqdrtieen
274
9!.2
€Ioa-T'o(KuodcIJIrlnwntEiZr+nlQoFos'llJleeo'^n5carIus{tarsu.eJyre1€ou)+o1uI-Is1conasgrocdraFsEfr;conr(€ucsulpc;Izor6gao.fl_,aJr+Iu€uneurcrldaI.rSreuadyeggr.tanurelsneurzaqrlrzprn.l.reJlrdoour+qpplo?or€ruur€drcnraas.o?clrun+duenoEEIelS1sooar*ur+rcool*ocoarcprlaeo1+cp.rnr+e,€.gpieuudcrpri{pcn.q1e.accu{enspnrzup5'pu1ouooc"rbor1lraecuTp"1drjnoo"In*p1paa.lur{1o+a€ii*us1aroe'ooalrr.1r€u.rc26o+,pvrsrg€i15'siucpl{rglvof.rlurrgoz'npl'+1u?,rn'cncqcv,rlo.Fiororrloed1oioqcqc1tii !
uI€ag-KosczurrEpnJrqeps4uv(oeuo+.rrr-rruur.]slorplr{.e{tre€uluc1o^asfnc.({gespfacllu"tpsre1ulI1sorruJo.+oooc+orJu1rrupo'1osyrur+reot.srrsrdzsrKameprcIooaeTdp4pres1qundonl.euree;era"pr.p1rnuolocrg+es;pcdora+3esrb1ioe1s1ragrZin,rIl.nrtnu}lJotpoau+€risuoJrzo€rv+cI€curaFn+lI?oJ€tc€s
ar-oop+;rcdJoaolroioacsp-Ko1zr6p€'q,Inee.cernou5nl rru;{rciI1uo.'[.lo1!;r,nu6lod, Fr^liz,na-eurspr obrolru?Jrolue+lo,$tizunuc€erJore?-rsrosl+zeusjT€rz.urr1rrtusl€nJ+uaipugaslresnsotcslrolrxiczov"rgae"l;urr1lrunzrr I
!
'(c) c13o1 EI FIJE as el'r(rrp)rlrulFl oailenorrlnpuInlci?le^alu.rels u"r 1i (4)
(nuquu)nnrlpiFnuolalrllror'.(rrrcr)uzIffIFfnIIJaEA0o1ius3ooB1III1JFrpnIIcrBl.ur1Ia3se*1I.urtoZp1r.plLuu'lflicgu1rpi c13oi or.rral z,(IpnI)efAfIOu EI-cFj8IJbB1 as rrprlul rrrp Eun ptrlc I
_.OZ.Z, :SLt
Inz€r 1n1,nc"rC
tJ
o -. taln
oA
(q
71 l" f
tJ
, -Jar!A t
sJ -*3 n ts
zuI
1
I
g-seea1rrpm{oeuruney.qV6ezepa1u+n€rId^_saeKp.uronrcurrroeo+;+r€ro+l.pnrotIud!omccorF^cuoJlgl1oslrISanaolosyao'.amlo.;q€$oIasg+Tq"6srCfoIollrIignsro+?rfun0-crrarICn{eloo.ca1rFr,uon1lNagJ-+1isSnts1
Circuitul TTIr este mai rapid clecit circuitul DTI-.,. Aceasta se lntimpli,
deoarece in timpul perioadei de trecere in starea de blocarer joncliunea
baz5,-colector a lui ?, d.evine invers polarizatd' Ei tranzistorul ?r funclio-
neazl, ca un ttanzistor in starea cle conduclie normald,, extri,gr.nd sarcind, din
baza lui ?, qi astfel, sarcina stocatd, in ?, dispare repede. In figluta 7 .22
este reprezentat circuitui iogic cu emitorul cuplat (ECIr). El poate indeplini
vies 2
t- ,teS /
73f
-Fig. 7.22. circuitul rosic cu (;ltffi:Xti;ircuit cind ra icsire se introduce
:ffit"".J,fi:ill
funclia NfCf sau SAU in funclie de ce terminal5, de la ie,lire este selectatil,.
Nivelul logic se ia in raport cu tensiunea tr/, de la baza tranzistorului de la
ieryire. Astfel, nivelul l logic lnsemneazd, cd' Vi", este pozitivd, lnraport cu
iar nivelul 0sliotugaictiainsceimndnetaozaSt,ecirni tVrdi",urielestteramnaziisptoualirneloprozIi'tivdI'r,de?ci,t,
Vu Vu.
56 consid.erS,m
sint
la nivelul 0 logic. Ac'eqti tranzistori fiind astfel polafizali cn, ii, afth, iri sta-
curentul in circuit trece prin tranzistorul qi rezistenla
rea cle blocare, constant in
-8,. Rezistenla Ii, asiguri, conclilia de curent c"iorcuit. Cdderea
d.e tensiune pe rezistenla J? cind trece prin ea curentul total, este egal.d, cu
TIanernncpsoliiutnunideliilaniiledeaedideaeqteitreetnelsnaisuicnueenaelloaagltdiXcedti,eqr[mi,reinp(adeli5fe,creoeslnetelcat7od0ri.unNltrloeut5id,moTundnv,ivaneivlfuLellVedoe]o-tgeicnVesL)i-..
iTu+eenqneiyrse(Iiu1np)loe.egaS?icddn,ecceiousetnqe7sir(i(edV1eo7)rod-qmlianVacive(claeuDlmlault+lScd,det,tre/o(tr0emi)nn,isntariacuatlnidrceeX, ,ad0Veurnil,eouqsg-iiaiarc,edincsineluoscIctrurr(aiie0tn)c(z;VuistoeItzon*(sr1ii)iuI/n*I('ye1a())0Td)+e*.
?, clevine 1 logic, creqte curentul prin tranzistorul corespunzd,tor, quntind
tranzistorul ?n. Aceasta face ca sd, se schimbe intre eie valorile nivelelor
tensiunii de ieqire la cele doui, terminale d.e la ieqire. feqirea pe TE (trzt"r-r)
dd, funclia SAU iar ieqirea pe nodul comun dd, funclia NfCI (Vi""r). In
cazul montajului din figura 7.22a nivelele sint deplasate cu (Izo- 7(1)).
Circuitul cu emitor cuplat are cea mai mare vitezd' de comutare d.intre cir-
cuitele prezentate; timpul de comutare este 1-2ns. Am prezentat pin5,
aici cirduite ca tranzist6are cu joncliuni. fn figura ?.23 se reprezinti, un
circuit logic MOS care indeplineryte funcfia NICI. Cind. toate intrd,rile
sint la nivelul 0 logic, adicd, nu se aplic5, tensiune pe porlile tranzistoare-
lor ?r, I* T, se obline la ie.sire nivelul 1 logic. Cind. o intrare se afld, la
nivelul 1 logic, adic5, prin aplicarea unei tensiuni pe poart5, tranzistorul
corespunz5,tor este adus in starea de conduclie, tensiunea de la ieqire scade
276
LLZ I
'oJBJlUr : 1 : oiulluc.raJrp arBolEtlJilduv -'yZ'L '8!! I
t.j (D
;
I I
,"t
1
rl;
I
IooeaalJ+qJ.srot$J€sa€e+ooo..$lr+r€Jc€zc:oltod.tr-ltl$rroIs1cizc€J1u+oe1{tazd?srocJn{dr+€oo{pu1In€zKoceugnla*iuoauucrppoitouIsseJrcel+uos+uuconarldu;ooorrJs..ourrrtdsrsKo.orrS+cIrd€ou.o+rrIroopnse1So+1r.nouu1gpiaelncsrl.lrnsuuqlccaotolne+l'g(n(e?awcJ1UstaseodBdclaouocyrrq+€rotg'pOsIqcJooa'aS1lpuopniel+)+J,eIrqdISnosucc+ruoerrJnlpDsoqusulnooor(..cupgrr}dnnqoEc1zra;neqradr1oo.cutu.strasluoo-".sJrlla"ngdpnpct)rt}
e.rds 'alurFa+m olo+rncJlc u1 pc rupuor{ua1q 'o1u5e rS egu.ra11,eeu unup"r a;rr*er (
a-eIpu€nodalsoppounSruun'Jaross+uc?aoc+loloncJts+assp'rr3ro.m'11r1+unnsrcJs4oucdoqrau. perli1u({rpaa1ur{peuuur.rnrou[s-.ters.leOaqpu'+r.auu1JuIq?8JIeIIvq1lcqaKszafv}aqs+ro5caaI]nB??ualnI;Stc€oi?lrcu'Baofu;?r} J
-qzlr€J+ ?nop o1ec uud rr{,ualnc ar€r ur Ei op rnlnlr?uuras e,fuasq€ u} llfirrl asale}
'gI?vo,zsJlll+sv€Iocrq+ruolsn+.€'4?zut[ftas.odroJ1oolJe,rJ|ru+usooloserrzltuaogrlusoaI(roroo"rIuaEzJArt"sreJ'?1ouo+tdsru+arsapuoo'cap g,t1"ugraa-.rl'uauc{{u.ouapa?lsslnlrzrzouarrFgre*';arc?r?lnupcouJprrarc.rauursI} I
a'7p6'2e,leefrune5qrsyrzuaI l +€'e+1uao"rzuaord1esr.rzuaul.s4e) lrncrla op r{p1,purn[ fnop Joloo alo+uomolg
f
1rr{ue"ra;rp lolecryqdurtr rnun Its '(z€c{ ap In+r
to-snDcztJsvIJOg.r3''1taun"r;r{ruu1.our3"oraedqpup+rIpSrloiroIorlueJc.+rrusguorynJlprBrauaraJoranJ"?rrr3€?osrauuponcaIooJ'a+lausrurlJuourIr{€o.r+I.r,{o?iIudqro .rolecr;rlduru rnun t
'olISoIoJ +InuI r€Iu IaD alo+rncJrc urp Inun rliu.redo a+rurnut
E
?rrunuap isoJ 1r
l
'[t]alse leuor{s.rodo 1ruo1,ear;qdruy'alrqtrr€-l -trE.rl nr '\^(lI{ lrm.IEcorlslTl z.- '[Z.l .J'il]I
lt
-nunuuullausoacrtlsurnulnll'uao1+u"uu-rap}ur1acarlqJ?ornoJpJrEc?usuIoc oIaI JOI-\ aro'ot
'e
+tp In?rncJro ug riralac,u lugs eluf 'crFo1
1 'Hlcodso.r'r.& cr.3o1 0 InI arr?o+pzundsa.roc '
'-aJu+Inrrlsouloa+lrnarpJra)louAIru'SKonTo,p[ K+slxa acr5o1 a1u.r8
Jo+$zur3J+ rnr o,rg.?t I
o-Jppcruigilro,rpuderr:z;al +r-raaupnz€ralarrJm€cl.ragDasuoopo1cS
a.ruc s"h jd -l
pcllu ort t
piuulcnpuocsuts.r1 r* alrru pu;rolur g,itrol
I-'loq:u;zrrou.alroltdns+ruqnstuao1oluJ,l{5aaapglr.erunzrloJ?in)rI.;arr++nsrtnscTrgDrDeo]},+s{loceoIlunp.,r'FlKra+JgIorrUlr[
aallos+arnocrr1rCua'1uur1lrus;uurog1c{,dnr
,1.rodu.r ug "glr1u5ou
dI+ ap a+sa inltsu'Bt
ug- rcr.pt!szOo+.rrn' eR+pr.uJn.tszrrrrrr{oocccunrp?guurraorJr1r?*uescuaq+pcBluar{apupuarl;sstur"zo7oc"prr.r;nooo,1g's1.urero1udu,B.rIJuC?df-uKNgJaIinlrug+g?Inuoc-.gNrreo'Jc,r1[iFootsJ1u{]rgoc.rrI-tn3JsalorouarprrrrJaot.sr?}I
i"qn"if"oin*cturpieef*qtfXtieecacaucraeurtael oct'tlreeacrnitszotirsictqioliormr?ad,seda,cs.otftleenlc-pctooirrlac{utfiizigtae.7tl'e.izninactl[et pgs5er,anfuttenmc, .traieoonzbeislzitneoerpuleel gp8igr,nrsuli.e-l 1
I
J
r-------rc lu^ v
L
Fig. 7.25. - []ircuit f)arliugton.
ilfdnmm-7*noiteciu.i*"car2ampcgc5rt5du,ooif]i.iettrmarattiec,C*lr-cepnea"cauai;zoitirqmrirrcoarseacinoctr"pulinneipte,ceeit.nstl.trd"tl'cietacADsanoinutnacaiincttdlocr"serie.lnlI"5eteiinas"aiaedotn,gc-s5qlipett!zet,i,ioraraaeidl,annsnirlneipttc.cnaralti-iinC,ttpcaueirdndaurni-sre,ultneceeefunuiel;iegtioiei!atueancrslfreesumoaoalzem-lzlbrulpimtar7sistlnliir.tri,nei2feiurltii:4ncniilctnrlb1ig{nalicepie,tarrauolouiicemnirnztzciuadeciaijtsenefciiilrttv1i_dicinc.nouuDct1pp:fiixtrlIrea,ie,eeifrnriecnpenplliiitrclnrcertIerh'ra;igLntrziiecrciltelpraovaituaniiearnjitdltedt(laeeoo/,esat,l:taeeictnurp1rqeutiaeinri,narnr,fet-sr1zaffmircloigilr)glrisu"oraeiustqatprqrooeriittltl,telrerieeote-i'' 1
ci(,trpeunf?ls*n,iutuunle"'p)*,ipiin-onza?il,tiv;pi.oszfcniattitrvlaelraieuiarnetrJn-a,truseelapn1ur2imn' cerTrey$*iutieuircttutitar*e"ire"rt';iurnelpe.sriinenvoetrbraitoinnazeriesu.tonIr)suael mt?in, satseli
I
s6ade tensiunea li, ieqire. Intrarea f, s-e numerste intrare int'elsoare: der-ratece I
'l
un semnal aplicat la intrare se obline la ie;ire Lru sens inversat. Anlplifica-
tninoavaleererssleoeapuraepra"s"teeilinoIotitnteutarleazir,eccuauensteeairnjnvdneiufrelsr(oe-a)nr.eliaAslemlanpoiltniefitacraza:rtieoc,rUualnsoedpmoeunrXau{l ,in(io*trnXa)'lri'aiprcrouindttult:iacrmreeia-o
amplificare male a semnalului ; el frrncfioneazd, cu reaclie negativ[- Avinttr
coeiicientul cle amplificare mare, caracteristicile intregrrlui sistern sint
cleterminate numai de circuitul de reacfie. O valoare precisd, pentru arnplifi-
care se o5line prin leaclia rezistivS, simpi5,. Folosincl relele de reacfie rezi's-
tiv-capacitive se yealizeazd' amplificatoare "qelective fafir, de frem'en!d'.
iaesnumilpdrpferislgaifvillc5riaar,,trrecr7aau.2lri6eenaglttearsrlrenlc5utrre,vz,p,ea4rr,eoc.zeuiPsnrgtreteei,sfropuraprniurntnae,iRmnmdip.a$tcirfiteiicR'raezItzr.oriosrrtu:eoinnpt{cre,ralorialdlA/ledioi-i,n:n,1tiara0Ti -,nrinespveoaeroaresbteots-rae.flrioDyaplairrceecdad-',
Irr Vo {7.2}
&:-_R,'
cle rrnde
t,rr: vn rl2
I\:-
U,
278
6LZ
) : ilT'g - uII--te'tuaro3.urnl"auour*lod+e'u(lruu(o'o(ce,ip,trtrpaJelir)zultd{Clou4Jut{osulIOl1ot3rrSs{q1aT+I€z+ua:as+.porurooPK,J€(z4-K€oo[u€JJ+"oort+IdsapuuoocI$I[ro€tus.ooarIoJ+)pros€Oo}ao?spl{a€o9?:.r6lK)l:uzI',L,Biuuooeotpts1rfq.rne8rreoJluriurrorrFi]s.r'r.'rg(ooKl1ue+n('.carliitsgu.tnru1Ier1oJsdc+uuuragrIyloq9opdp+-r'uLsueZe€r,e'?LaInIr'tS;3sr1onIjctpIlll
-qzo.r : ecrdrl r.rol€a ?Ior€o+?rurn n€
-u.redo "roquar;r1durts rnuu ru+aurq?J€d luuor+
'"A * ..' + rA *',L * t.4:0,1 - nts
-,UrEl E-1- a, -ti: a
't-.{r t^
\-
Zt
,"I +... + *I 1_ rI * tI: FCIPE eA
I
a'otqrJst,sa('ara.+rugudn6rxl'saLaupo'aSp+ry+)a€ep"praou.sorn.+orras+s.atutsuarIru'+nsnD"rgo1q,ur#cor;er;1c"l-tauranu*ollr uA
olsi.€ro+olt+crIynq?udoiu.runcuonJuD lerqp.u0a,z{ aEldorarr;rr
uI !o+so 16', u"rn,St;
-lsuoJt 'oraz oduo"rde eqse alrBor ep r{,ua1srza.r rer K+rurJur oduo;rcle o?sa a.rrJ+rrr
l€opr Jo+tsruroJsu€J+ ul1
ep u{ualsrza;r i p{uupodrur ep ,uJ rrl.rotkuoc os In1
-Inc4C 'ourusuo+ op ;to1ado"r +incJro rrn ?u?uozalda;r olsa cg5'1 u.rn.8rg u1
-rr) Inrol.rdrr : ({) .rosrr.\ulc., '1,ry ,"f;?"illitt'rtXrTri"r"ao lnrolurr;r1ctru1' !e'r '3r.7
'nl {o
Ir7--#l{i3.ri
I '^i ,nl +
\l-.--9--.lWt-<-5f I
tul o-*l
rrr
a
*Tt
ut[ l.- 'tr -
-*_-l
ersa-_rd_ xa op f;'€p a+sa ourrrsuat ap ral{?:llJl1durv
' JosJo.{.urou lronlrcil4scuau+no+pE+fr.ruo.zrsa+.rcxlaa.rrao;lusaor;qqgc6ltu't,suran+6sra1r'{iI-'n.glp6u'Ltr
1euo1,ie.rado ,B
e.rno*rg ulp rnln?rnt,r-rD
2o[8Sp,e9Or]Oa,.Oti.coCanroaeml papaArer?a4tco1orr,erlffiacdbieernitcteuanltsmiluanineIPimiRnSted-Bge5r,anatemaepssalti,feiccdaueresintiddneiactatesti5nv,suciloum8nApe7a:4c:1e1e
y+
Rs
25r!-'
Iesire
Fig. 7.28. - Amplificatorul pA741 (;rA7a1) ; II : ittrare inversoarc, IN : intrare
neinversoate, N: decalaj de nul (offset null),
nivelul unui semnal cu o tensiune tle referinli,. El este alcituit
dintr-un etaj de intrare cu amplificator diferenlial, urrnat cle rrn etaj dc
comandd, qi un etaj de ieqire proiectat cle obicei s5, prod,ucd, la ieqire nivele
cu nivelele 0 osi 1 iogic de ia porlile
de tensiune comparabile cazurikrr practice, comparatoarele logice. Agsa-tta'2
deoarece in majoritatea sint urmate de
circuite logice. Cele dou5, tensiuni, de referin!5, qi de comparat, se conec-
teazlala cele dou5, intrfri ale amplificatoruiui. Dac5, nivelnl semnalulrri clcpi-
geqte tensiunea de referinfi,, apare la ieqireaamplificatoruiui nivelul 1 iogic'
iar dac5, semnalul este mai rnic decit tensiunea de referin,ti, apare la ieqi
rea amplificatorului nivelul 0 logic. Tensiunea la ieqirea comparatorulni
pentru nivelul l in jur 4-5Y, iar pentru nivelui 0 logic
logic este de este
in jur de zero
volli.
BIBLIOGR-r\FIE
1. L. I. l\Iaissel, R. Glang (Eds.), I{andbook of T'hitt FiIm Technology, New Yor}i, }'IcGran'-
, Hill, 1970 (capitolul 7).
L. V. Gregor, Proc-of the IEEE, 59, 1390 (1971).
4. V. Dolocan, Fizica rlispozitioelor cu corp solid, Edit. Academiei, Bucure;ti 1978 ; Eiectrouica
stdrii solide, Universitatea din Bucuresti, 1981 (Partea a II-a).
5. D. Roddy, Introduction ta Nlicroelectronics, Pergamon Press, Ne'lv York, 1970.
6. A. V{tdgescu, }L Ciobanu, T. Circu, I. Rateg, \r. Gheorghiu, Dispozitiue semicottductoare,
Edit. tehnici, 1975.
7. I. Splnulescu, I. Dima, R. PArvan, Metode electronice tn fizicct erperimentald, Edit' didac-
ticd gi pedagogicd, Bucuresti, 1975.
8. F. F. Driscoll, R. F. Coughlin, Solid State Deoices and Applieations, Prentice llall' Ncw
Jcrsey, 1975 ;
I. Dancea, Microprocesoare, Edit. Dacia, 1979.
280
r8z
r'-[rqlgn€]solJonu+ul€os4ursnq+u;a'LpnZSrto;lr.rrafuqrrln;lu,srrl+oaa?pw.€lrrr?"ursrrlicuqanl dscsroJ+(+1t3c6Jo]?lsasuyl.IuropBdasaftupIeeot.rr+nq€+ra+ps[tufo3lo,-uOeacfrr]ulcaoloJu,orqrJdiqu"errpoasTquJIun+
a--trsrsaruu"rooauurprrspu€l+odrp3rsrauucto/rr1utsuFaEenluDuraaD'+aacgJalJntoslcoarF?utqsIoaJ+J+aosaqd.roaaprlyanaclnru1qIlnedpd rnaiel1l1lry.irr'f'aDq:n+rsrofqJnnousIoo+??uo€JJJ+?,ssIlvuuon".l-lwJclxzurall
oprcrllud Jo+Ie? u rS "ro11uo.r1co1a rr.rpaSrtu a oluturou raluouodruoc n,rpcrJrf,ioru
+od ourusuounp ap aJrlrr.enD oIO+caJg
,B oJts+saJru€ur o l3c J+rur;op IJ
'ounrsuounp op oDr+uEnr elo+caJo a+waz
-a;rrl 1urs nu Fpguu{lultcueJpIonu+zeo€dpcapoocpo€Eqa+avcoIcJznot?pl,lDuuo€o.orrr?roacrror8rloa:rra^€tusar.urarppl1sF;raio..ptrlolor-raufdeulsl1rsuauIpa?p.or.orrpc{ial,prgoeecJ1ra9.rrl..r{,1lrots.anrpdc
tsal€crJrporu
,I?uo+ouoruou
JErrrnu lnun uiuozaJd 'ye0T auirso.rF ap +nul$q op o+r.r+s uI our{qo 1od os oun
-:rsuoaruil4l,pruorp,to1Dar+lgut,sgn:r4o-?rtolnJqa,m?cusq?rq+B.rrrJ? aJ €aa,l I:,yOOO as.16a13:
r{r1a.u(.rciq1oo alullauaF
unl.r,13 ."a1e1aurq
-ouro aa+ulrur.ro;run) eunq :r{p1qauu.llinqco ae;srrf1qan1s(+gEJ:JSruf n,I,.0roo:rir pzrl?a,r aluocI es
a.rtsc uI sunrsuormp tyOgt ltu,l*ru, ..ropr1or1
:,tr I j,,€o-g-DcozsOouulIoa'arau3qE,DrEas€sIp,or€?aJraFru+upnSor3rUeuoorulArJ{SneaO;qJart'rrrlr.$uircaii€ncqpaunuuosorc5-Icas.rr+suotsrpJpu+:trsnn0u+lunIuvuo,tKo.lrp.Ar*rl+vtI+luaDrclrr.o)Ja3l}anpa.rr1Iu-,IBB,JurF'Il,urJuArrrirfpl+rrotJlcorla.JrlJnrritl-).o)a)dlulot(s.lJ]r,uourr+FruluaJ"rrlutrarr1r.ruio.,l.,rtayiaujrqflius,rtJ:arriysprn1u.l{lzolaul',lo.rrl,rpr],or(uraJi1pop}L
out L,
ll,,i
* :'.
,4 yr';:L '(
uJso,rd-xa ap
t,KBi+I€aapcpgoe+oqsruoo1reunqrl5r4ion+;?jrl€gnsao^ppoF1rt*psJue?nrssaq;ap,luullrrauuoiplirqfaoiulonn]r'er.r'-[1srs'soqu] llrroDrli-ru,r[JoCr+uD-rpnfp]oupoaro.rrrJ?uroge]{sa?nr1up'iiu)naooylll,)reiu-.rraiyInsgs.
uoc'-1ulr+IuueutD{'l+souaonatrlJJDgDoo(SpJrdzJEspurodracpruqnro+gqulunqFuEsonnrrorc8lpr_KiionralrrrlnrrrucJuuJonrtKssr+ssiuoruoroaneDpuluurrorropz€rlrreJ+a.Forup+dIaIFJolr+lrsJ.ofrcnJ(autrdsJrnozagluu,rlu?aaptntq-urusorrarTnruirnlr-nnuIorroppe,urrrJrolrfzzrpiun.ornusipudr.eusrpr.arslr,.iaur.riyoiparu,ppr.ruup!FSjo)oporr11llarau.r.,roqus}qsnrb:-ntgrrjsspfri
-'-Es1ga5tlursonJu1+rarnrs"ctrsppalngsuqruunr;ru1rrrc8_lau.r1ar8ou.craouoI'J+usuoarpcr1;punsr:erolucpror"dJ3og.rI(r'1KJoqra+.tsrFpc+r,Jl;nr1+c3ulf€,uinlir,i1rraa,lasloqo"cS.lrooa.luigfoJeo+cplD,uRa?lplaisur€ul Joofp-teh,;-lu?.radoururr
,[f]a.rtsD JolruoJlcalo rarF.rauo B_a+aJcsrp olo,\ru ap urnlJllJ+s ap lluurur:ra:}ap 60,ru1
-n,l1tr"rud a?coJo oiocts +uIS gCU .aunrsuaruip op aJrJutsnc olo]caJg
fiNOIST\TfiWIG gO flCI[NY0C gJ,Cfi.{g
B InIotIdu l a
J
r
strate subliri cle SnTe [13]. O clasd, cle dispozitive aparte o constituie super-
relelele [14] c5,rora le-am declicat un capitol separat in primul nostru volurn
asupra dispozitivelor cu corp soiirl.
8.1. Considerafii generale
Yom prezenta in acest paragpaf spec,trul discret de energie a electro*
nilor situa,ti in groapa de poten$ial rectangulard, cle aclinc'irne infinitf;, qi cle
adincime finitd [15]. Consiclet{,m lainceput groapa pitratri infinit de arlincH,,
reprezentatf in figura 8.1. Miqcarea, elec-
tronului este desffisH, de ecua{ia, Schrii-
clinger care, neglijind energia potenfiaid,,
este datd, cle expresia
\ !!-: =,q,,, (8.1)
2m O,r"
5 unde r1,,,, este funclia de uncl5 qi e,-enet-
0 x .'-'+ d gia electronului. Rariera' de potcnlial
fpd-ioiilnit0ielre,lnilttnirlaenflic.nrnlieAatXcrcgeilslnateeessatcei,norntnlXbtcf,e,ll,gil(el0iiim)rln:eaaa0rliggm,irn*iotnidp,{,dicis)oid:nne-t
ltpiso.tenSI,i1a.ld- Croapa do "ttergic
de adincirne infitritS. sa,tisfii,cute clac[ funclia cle undX este
sinusoitla,lii qi intre 0 qi d existd, un numXr
intreg, rr,, c1e jum5t5,!i cle lrtngimi cle und5, :
*,:a."(+") , ,t:n(+^.) ,
Q,:A-t"(+"), ir : 1, 2, 3-.. (8.2)
Se o'bline pentru energie expresia (8.3)
,,: {;(+}'
S5, coilsiclerd,m acu.m groapa de poten{ial rectarrpiuia,r-X de arlincime
finit* reprezenta,tS, in figula 8.2. Energia poten.tialS, Ffr) este definit['"
a,stfel
t, fi{&t
u(a) :{: *,{n{b
Iu2' s >b'
E8Z
l"h en
' -Ara!-5t-'"+1 tt n'-'Lzq tfl ,-3+ - rfry- tu,
'f6+1lunz-a)'lJ'lrn, litnlriaItlsunrlculrl;iuutzrcsuenas,€.-I-epous;rlF1S,r:(u6ru+ua+roa,rpy)a,reJr.{prspuaorn.rctopJu+FeAran'ldukllriir8+a
:'F+ c.r,n = r-F+ :tfi *a+ -1- ttz:1- d)
-rt:r?,r, ":-4r' Sl - qr:L - - 6
'r?c : (6 * nztl)fr1czt1 j €p- - (d f q6.y)5+,ia:.;
ntsp ocrlug.r;u8o1 raluu,rap u olu+rnur+uo.] illi rlllt irpilo-)
,",*,ffiL-ts+ruui+uoc 'acrurql.re'o,
pollloc-r€ru 3+sa alus ra+,l"?,^nr..rop e .rltuiyrlsacrlf{illtJuBfun;-\uGJr.lrsB.lruipoj({})'trl#?.r}rLr,?unr:rrrlirrrturrJ.}rrlrriiootf+f'r}iaiil,J]irr:,rir]rp.,)rr*L-rr.,n.8jr-:.+,r.r):lrilo"lfd;'rXJitor.Ir[n3u!I
'Triluu'rp ap elelcund
gc 1n1dug ap rursoloJ ue.ut o,n*Iu.u(u2o17J
" ''t 'Z ,I: ! :,n--. A: ,t i1 = .i jl: !.r
apuu
i::;iill(s's) 'q> n > n : (/)?
'trillull Iutllsrrrrrlp ap u.6lu.l9fua.lEoIdjI aprinlos elu
rr!9Joua ap ecleo.r'J -
I wtr-)\
q <-x D (t's) '? =- . [t,).r - a/F
r, ;;
"a;ieuo1iu1o. rr{rpuoc u; .ra8urpo;rqag ,tlr{,n -
-nDU 'gzuarull ac olat uI uluaza.rcl ruo,r_ {
1a-ue.ruloc qaiddurrznranc+lsnaucrru.rdlnrdqolucrsnunrr+?uzuaadsa,ra?ur J
'Jolopun ursrursut?J+ -
trrTI I -e5ap 'nnul+uoc ru+cocls rS urxalya.r ! le"reu
t
i-t ",1 < 3 '(€) -'
-uoc na 'a1uFe1 ru.rpi 1rsnirn"{&ux?o)foJiJ+: ocrrso{l.lpuoner1,ltrr?rFrsue.rToa+rulaorarrJo5e€claopnu1,nrap14rcu,cBereondrdstsgso+"l€,ns",r^nx. o>a>ptng-3a>rIi>*a6.ug10r,.lA4zl'.ai(uZauI)a)ilFaalpuaruq*
g;noelr"r
care poate fi rescris[,
run - k,r{b - a) : tg-r *z (8.6)
q1
Din aceastL egalitate se determind, valorile ploprii en a,7e energiei
electronului. Se introduc lrotatiiia d, : a;
(0 < i < ,tlz) $i noua variabiif,, b- 9: V U"; cosr,: VT;[V,
:V?^ "1U" . (s.7)
't o
Ecuali:r (E.?) poate fi rescris5,
rtr. -'r,pd, * sin-l4 i sin-1(1cosy). (s.8)
3aabl..iel.ac);nRi7aeeclzlireeodiqelvts(ea8c,r.rde8ee,)astleeaesict0legellalraae,f1ipcnrTiqer,,izLreear"snetttelmaiitpb-crrelnePzl sded.enlCgctmapintte[tlnaintelucelfircg:deuue$ra:trled,ier8ceila.e3(p8.lta.S]8I,0)eDmclar,e,](rrnqrt7ute:rl, sting
l0ntlraetrai-e
!) 27
cient ca
r'ari-
de ia'
ins1te,rgedrgunupedln,tnuc, llsr5dr,befaied(rseEua)f.pictDiire'cn(unta"dl)iea. nPaietr:netl'us:o'll,uc.eti:etstaatucsntecinceicnecsl acrur=bqias{uEfi)-
3d7(n-l);f-,..
Pentru 9vdal<o:l,^rfenprrroeprilsieti,, va,lori pl'oplii. Pctrtlu ','<Pd(r, f i existir, o
singtir5 < 2n -i ^r
e;. Pentm i a-'1 <9d eristit' tlouit'
--l
o?L
Fig. S.3 c. - Gisirea graficl a valorilor proprii l.ig. 8.:l n&n. l-uiSitn:itrril-cundesetrDaoIrgsieu]s]liirce.ele:tro-
discrctc alc cnergici.
284
98e
'ltllnlnlusrq e c_riJJaua -so.roc (rpuuqqns) In+tsJgs ggcap pdnco uu rru
cp rzrroq ap E,rillf,nrls - ''.9 .FI.{ -o.rl.cdlo rcun?€ zpzf :tg>t0u, ..ro1az€J InI+
pcup
\ufl-: 6-f-
AurrC=J -,ucl"s u1 runloa op KInIoc o apundse"roa
II ?r3J?"(stlqud oricrugooJr?scuolclouraJ.Kru4gsuerozaJlpdcoaJrJruKIS;)
rutsraprsuoc
u--on{luuoerJu.rd?oDyoEpleqna'+clttssrugpisp1t€lu1a.l3,pqaoup4oripI'1te*3t1ttou6.pf8lrenulaaco:r4Slpurln-p1
t?oJtsolr3a p5u11e KS +€.r?s lnrur."rt1druugr Jolru
In-tos.tr-+aD(pagloInl'nrl?al€ccIutsnrsaJco.lr^€suudrunp;qc.oocel(ernFclludo"unr er+aEuxJao?esor{t(.srJop1u.oo"tpcl
.-f Ir?--rn?erur3x"roortFJsJpcl.,trrrssua?lornuIr.arruaarapmpger(SslirSauaoooJdll.clu.Sacr1u€t.uctJrrroatpr,1il1orsn+ue/arl€o?rn.JJ8ur+ra+rupsceooarulglrlouerrF)d.'ne(Dnealn0ac;lrurrqoryu,niirqoaupdgn+en{Bsu..qruJurr1;Il5dqusuunIonaaaolr?cpo?l
ifruoJpap
oUtt
()t'\
(o1a;rcsrp) ol1tsurrrrJo+sp rJoltsa r-npulzund
a+€r?s ul arnqrJ+srp as oDruorlra-slaarooIcIJ+Kr?3rS+s.FrnJrr;er?cuatlsJn,c(qags'gn.u8iJro) (rIzgu,etrcqlqrznosd)
*o,rtsol€A oclro €nI aquod (Ut ?,:il*ut6lz%: rig"eps,ralsuu:r1 t;r5laua apun
,t,g + *r,E: e
r rrl*lo+ rr''euq 'r o,{aa:rrp ui rnlnuor+calo ,B uorrr"$'f*L;:.;SXT"jiTi
{o's) '""uz\(f0"0T )(#)(.{asroo'o) =z\ptvrt,(#) :'u-{ _t
-larra ri ?ltrt, :'r1 gpun acrlaurl rer.E -
op rnlnJo+ro^t E a+aJJSrp {.rolur raun pujzundsa.rot
a
(+)l[ + '" ''67'rT : tt {Qtlnz:,w}",, : (r)"o
i\
luagprfpt:'iSuoaef]apmualapsrogl"or?Sptspn(noli]ds,craqulIsenulluraoupao.oo.rrquJt1au;nlraa-Jyv1,rua(.d.r2.,'a+/i"l)untliJqyun-l(sra)+."n€@iJe+r:sarrpir:neinp:pruaurnlru1nadnpnarsa,arr{"crr.ur1n{agernpr
tt
oarlelaru 1;r1:iqns ole.rls ur aunrsuarulp ap oolluena otoaJg 'Z.g
-:
alrroltsArsas$, o's(l'tgt"@) lrprA{rj1-e.rup:ms(1o,)ldoJer.lrunnlncauooJplc(o'l?a) rer5.raua o1t'- ue rr.rdo"rd IA
alaldarp urp aJ€roIJ nc
(i
::/[(fso;iL), uls + Llr-urs] : (U"V
:ol{rnca op (A) IoqJqc
I +sJopls{roc €-s ,pargu;rF
. g/r, : uuerflealouseleza1.urrd_ou.rrpu1{el.eur:urJ*nIerrrrrJ,rddo.g"rd lr, lpd
gS r,ro1,e,L
punz5toarelui ra :1, celelalte subbenzi rX,minind. libere. Pentru r7: 1004
< 5 . 101s i-ncfrm-3o,dceeluel tpcaeraeboorelicspeuliupdseoidc.,aollcbeanndtraatdiee
aceastd, condifie dil'no
electronilor din bismui (birnetal).
energie a, electronilol in bismut conline qase jumd,td,li de eliPsoizi cle supra-
fa!i,-cle energie constantzi, fiecare fiincl centrat'i, la marginile fe!_elor pseu-
cloheragonal-e ale zonei Brillorlin (fig. 8.4). Aceste suplafele de energie
pc:icrnrorr.iirnn"jrcsur:rtn-iarp1tnuarli,7nillae,1gxahae,uilnie'st0nurimi.:gneouAt6nirxia'eeflaleaipl,a.!s,5oMipniccarv1liseenearacsluexiiepYaefaaafterl.lotiic5g,r,t,ioildveneienanccalriel,ltee.tn:0xtEerraunl0elte1icz,r1tgorc5onianlenl'2iilc0o,so1ri rd]ercefslfeirp2-oeua,tns:aluzltiXene0tgrod0uian"oelrc7e-alio1nx9r1aerm2ntlSo0uo,r"i;
elipsoirl, iaporta'ti, la axele cristalului este tlati, de expresia
Enhuh:: o'Eo+';(* *J;,;); TL: r1, t 2,+3" ' (8'10)
"nu,ncdlea-tEnq:i r2h2l2nt,,"d', fu, - -lr." ent 4, avincl o valoare fix5, pentrrr un
rnasele efective
: |ltt'r" ??t'le COS20 ftr" Sin2 0,
n1u" :'ttxzo) :'ttlze rtr"m'rrl(mr, cosz0 * nxs" sin20),
unde 0 este rrnghiul de lnclinare a axei principale a elipsoidului d.e referinti,
in raport cu axa trigonal5,. Ceilalli doi elipsolzi cle referinld, sint descriryi
tot tle ercualia (S.10) rotitzi cu ;! 120" in planul . Pentru olicare din cei
'brei elipsoizi clensitatea de sti,ri electronice ltu ,l;,
este
NKE) : l(M,u"ffi"")1t2f Eh2d7 fVElntl, (8.11)
ftlE|a; este p:r,rtea intreagdr, a {nln:].
:jSauud*ipcltr:lirI,1r)felie[n,ld(esEeilteae)tldei:paesot3oiezInti{aied@ler[gr)cieele(vdsocetloXuonlarisierteeaicsnnetetj5use,rgiupnaieltXanxgctearuisuetdrieb,gj,atuornnmeaciillieoatXrcid,e!a,enictedrvaaeastetl-ip,el,alnvipalfdsileo,ocaiszariirne)e.t'
marg'inii zonei Brillouin.fn cele
din cele-doui, fele hexagonale ale ce urmeazd,
axa t'rigonalil, va r iar axele binari qi bisectrix
fi indexatX, cu vor fi in-
cu y ,si,'respectiv, z. Axa
dexate subtir:e. Masele efective trigonalzi se considerd, perpend"icularX, pe
stratrrl ale golurilor sint ffirk:0,758mo, nt,n-:
== Tnzh: OrOE76nt011,1?1. Spect'rulenergetic pentrrr stXrile degoluri este dat
de expresia
Enhuk": n'Eoo+ 7,2 :1!.,.2-1=t,--73'2- t ,ttr: +1, + 2, t9r... (8.12)
-2 ,lfiylt
cu Enr, : n2h.2l2m,u d2. Densitatoa de stil,ri de goluri este
:lfu(E) l(rno6m"1,) I nltzitl il niE;1. (8.13)
,286
t8z,
('{I-nm+uatsJon.rcts1ns.r++ur-o1tolzul iou;urr,,licqnnpsulqotcs.rI+Ss a nt1 ttt) tsoJt?:}s nc opltuloc ?o t1c €+€xop
ru?uod 'a.iet1S;tgdurl ap Jolarusruucaru g*
orr+cola rnlncftqr p+rro+€p (tc)0/at{nqtr?stp op l:r{aun; op p.IaJIp (to)/et{nqt;i1
'dn"r5 ap roza?ra u "<'o.> uluauotturoc nr rolncrpud raluls
,-us;qryl rolapclusrfreu.rn'ugi
'urds op rrfJaua8ap g1r.ro1rp ocnpoJ+ul tls 6 Iruo?c€J opun
(rls) ,l(")o/- (")/l'<", >K bz-: I
'Q :. 'T : uI)o+sa a uriaa"rrp ug gzuas'e1dop os drtsJ ,rJru.rr?oslpumn dmagpop+rBspuoInC+uaJnC
p,lu.rggct rLityt.rdns nc o.rr{qn".
t{urr1 r* o.rari;,*9ud*r1 n.rluocI oscp'odsrp r.rr}s a?rnurlttL t"-i:i;#:rtJt;i J.,H
g+tsp oJr?+s o-J?uI ;rogpl"rnd un IJ!4s ep rr'ip'ltsuap u a;ltsur lultr o.r€olu,\. o ru?
u: lrsqr€*oeJ1al€1unar1oelcsogczr€;qDduuorrllsop(uI)11r n'azuun3ls'luEal&Eq)Ap lo"np-1at"l+tuu,,nunruc)no+-(cAoJ)t"ltq
-uad acnp
-uoo
'r.re+s
rr?o+tslrsuop nc ieuor{'rodoltl s,ra,tut olsa (6-)":, (q) Ii +uts}suoo :ouL
o: p -
(E)"L (na) : lif+tgqlsod pnop FroplsuoJ as a.ruriuloJ ap lndrurl t-rr+rrc(T
# 4++ r#- *i"i$(s)*"{"os,u zE) - 7 .s
(el's) '(fl)'u' \uos"" - ") ffi t, :\3 ry - == 'te
ttto *19: g
ro-rn4ip1€ao{+?Fropiuuuftsrpiqnrsnq,dp"rrqr4+louuulaosodar.'a-rqc1cnslos"'l1oturxl€n'r:u3lqrn5f"tDuxtun*,pi:ilp-o'c;qdl"not.up.a1:+ia{t1s:"''luep"rcia,-lrr'ucuTu*ta+r*,Jrund€tlxt€alutall-aa-a.xJrpr:afqopfri)isupottsJil"qdutxr'nalri.l"rul3aulsloisirciaellLc('?ug:,i),un":r1.t
(r'L's) '(g)'':\0g"tr - rfp oes"p u (dut."tu\n.uut
zfl)-r7i av _) K i ,r.,u );i_-:r'o
oilsc rliplr,lrlanpuo,r,urse;rdxa piuuoga"r op prosdrla
u-onlu&aurloudauirlor'o.Lrrr{rq"nJosprrnsulno1gu.'rols"rr1iinqun,su1rdnlun?I tdsJ"o+s11Eipo1u1r.l,sro.1J1oaenpouopc
Iulr?d Inloaru ri rnlnrosuo+ oI
opurclop ErL
acoruoag 'arst?ur an,iqrrs rnln1€rls ,eaurrso.r5 ap purdop r.r?1s op ayiglrsuep
Inls+sr.rc urp .roFzuoq oirul5"reru q op a+BJnspur ?uIS oF
-15.raua rS (g{rra1u,r. ap rS ar{anpuoc ap) rolzuaq ra.reunderdns olsa V opun
(rrs) *'gp r-(rvr{g+e-gra r) ta)u-lr't : ED b(-tcla-ara * T) ta)ir't
rrurcr€s € o+€?rl
.43,r:)11otr ep erfrpuoc ulp KurrrrJo+op as l€+olllrlrros u1 'g-rlruled InIo^II{
paraiel cu direclia a (colinea'r cu gradientul cle potenlial) este datf, de
8",:#(ff)'" F I:,"*" Tr" @ - nzUo)ro(E). (8.18)
Considel'5m cX se aplicS, un cimp electric static perpendicular pe stratul
sublire. Cimpul este ecranat de c5,tre sarcina din strat care se redistribuie.
Ecualia (8.1?) pentru curentul ln planul stratului sublire nu se schimbf,, ca
form5,.Totu,si, std,rile particulelor sint modificate de cd,tre cimp prin ecranarea
inte.liorului stratului sublire. Starea indexatd, cu cr nu mai coincide cu starea
{n, li,o, k,). Pentru calculul efectului ecrand,rii asupra std,rilor electronice
se folosegte aproximalia Thomas-Fermi. Cimpul electrostatic duce la curba-
rea benzilor de cnergie. Conductivitatea variazia d.atoritd, distorsiunii locale
a nirrelelor de energie. Aproximalia Thomas-Fermi este locali, qi in folo-
sirea acestei aproximalii se introduce noliunea de cond.uctivitate local5.
Corespunzfltor cimpului 6 de incXrcare, relativ slab, oare se aplic5 perpendi-
cullr pe stratul sublire, existS, un potenlial electrostatic care modifici
loc:r,l energia stS,rii .E,4i,,
Elrnrn, : E*kakz - QY(u), (8.1"e)
untlc tr (r) este poten{ialul selfconsistent care apare datoritii, cimpnlui elec-
tric aplicr--lt qi se tleterminil rezolvinrl ecualia Poisson
d2Tr p(r) (8.20)
dnz -,e
unde p(r) este rfensitatea de sarcin[' spa.tiald, indusl, de cH,tre cimp. Ea se
exprimd, in funclie de densitatea de stir,ri de energie a electroniior qi
golurilor, prin relalia
!lr,",u'Iptri:-C{ 3(mrrmrr)rl2 E * qV(n) -tr +''1112
nh,zd,
Eo" |
e(E- F)/tr) 1
I
E - qY(r) ]t"tt + utu-ot"l'ut;-'| .
Eoo
Astfel, ecualia Poisson devine neliniar5, qi poate fi rezolvat5, numeric
plaernt:ru07. C(ro)ncdo"urecstipviutantzeda,toproautneufii cimp electric aplicat d.e intensitate 6
evaluat5, local in fiecare punct al stratu-
lui sublire, expresiile (8.16) fiincl modificate cu potenlialul astfel cleter-
minat. Ele devin
xr - -aE'.!fuo,{,r) :q' nrWoojr,l,lV-qt/{r)f,
- dn lE qV(x)
nTtzd
n JnzEoh+tjV(r)
3q" F i;,,_ o,t.d' !{;- rn + qv(il)
2rkzd,
###t -o"(n) :-
- n'Eouf an,lE * (lV(r)1. (8.21)
682 i-lll-c .a - dl
'rilugg := p nc Eqord 0 r'Jlu3d arllqns lnlnlBrls .y0 : .I E[ r]rnJsreu (r
roluElrnpuo) R rjJBnoriJErJ BIitrTJEA - '3'g 'fil,,I ululso.rF aInp1nalEJlrclsuneyfuuetlrrnap.rrero.ri1;1-qre.g1.g{g1'3y1r..n1
-1
-3- rry ;l.rrJqns
-I
ar'p
1Ct 0S B
.)l
/1/ /1
l:
slaon/ c
t(.
?rurl 'urrr gg op uJrlnn-oJ5 rr.l prloJ(l o nrlu*rl aunlr.uarult) ap .lJl+utnc
alolcarJ rau1ldee_alu"ra1zoo"prdalJro?lru;-!\sa+gD'g-ortu?.raripSro; lurlJ"rg'Jdnrplqlrn;)p1rslau.grls1na1ltr.nru{nrrsseoJr8nrlnr,rd1uugec4 {t
In+coJ.:) rj
c'upru€0ol6ulrlsi uJogptttrrrol pp1+dl4usel,ltrroolu.n! calsaoparacututolucazluor.rrrol r,1lul;llrrl;au-;F\lfluI-.j'pani)trruroluJol0caslr,pi
rJf1s '-!
o+so -(
eiu,ulanpuoc aJ€c n"4uecl ruln+rJ+s rrturso.ld oIB rJolua olJau €T .ug1D. cp €o?u!
-l-P"llrsilsqau'tuo?oropr-;s)lyns0aJo'l5l3;1asrnrupo'oua1rso{ro;inrropr?adJlupo}ullclJanlIrrzslla)J.ralar,rl-Jrnu:ardcluao'gntir*sctanor.nmri}ru.8ntenycx;l€]uu,Ifoturp.orgsralquzp'rllul|Bugalrczd,oexul.0rrrdJloe:g.dcrJipo),st1rBgsIInIaIrcrna{pn5iuisauat.alr.,prltnoul pielasudelonocpauv a
ir'rnr..rrlfnluildsecuallpaao"rncn{llu.nqo?n.orsalcrJlarollnsB?eJg?dl,.nirp+sls{rrsau.}1ouptlrrrlusourlcresleuoJull5peaaalplaorDodDuor.r}rduuttsslunucaldaTIotaJ+u€J.ori)csJrls{rur'p)rIJ0o1doqdInJol}osn^rarpuu}?srcJsa€(l}oc}
,'-r-(*nira.[u]t..glru]aic')rsl-nro)'oall]lpu-ryJ(io]l.,()ruolf?)lJ1atr.'rr'gl.r]lr;l)l+]tlTrliuriln.ltlr)t+llrirr{lr.arut.rJtnl+inr)rlr1di;rrxJourrlrltr6nr;t;Jldlr,uI".),.;rurrgcB\iolt;nrt'rteisuarilnriilluuursr'rouij)up.o1nuo?;Dm!l,nlrnapp'1u}uslr,aaBoctstJror-,ll+lcurapqtfiuu,uo*'lloJuu{tq.ltsrcuon3nlu"pnjJtrrar,nrl-lnolnaro,'qp)Jua'.luJt.rr}tirprr}-rur.llrctr,Jp.ul)nd.r{l.zurrlqr.Jrur,olginlfrtor:liJ^.'irrernrou.i1jrir -
tjJsBAt){l trt 'ut}1u11,1I})rtpuO'} 1i qzua"trti.rlu{ ,)N Io& ;rJ}ruJtlr[Irr3s !zua.r(J-r,)rur cs
.r
-,.trl"':,1iQID .a)J il. | €
T ts
ea
'rr)lre.raui) ur,rir,t,ltcs tpztosqdclr ai- l,rofllsu.o\uplra1ro.l.,rn1?lrslunedpururr;Jll;;.d'n,urtrr".rr1cg.)r"Irn1l;lia)1^onlduqrnrr;-r
'
''-rn0rllarqu:13tncsJJclrssou1lJtoitc|poplrrsut1i.rudrorot;l1tlud+s1oo..+lrr1r6:ll.rrtp'oo(.ndurfoll1a.rreun.rl,tl,i1llqs4on'uui5tsrold.lruonlan"qnrrlDdpnrnnole:JauO.,prlrluortzna-lru?;yu)+atr-+'oftFiauulu.gSrr;rcnrsoa1)tui,uuJFuoaotislloo)Fo1roIsJJuaoulpJruuloouaos"ud.rrl5fuluoa:rao.lIurozlao11odl.slr?,r4lll?nrs{lu^asoraloouluyil)
I
{r;'g) "r'1t l(t:)'rc i i'i')bi''[ '' ,
(
t'
Jl) Tlt;p il1so nllrqt.rlr- t3olulr-r!+Jul)u().) ",,1 :. oT llrluod
intreruptd, reprezintd cazul cincl timpul de relaxare se presupune constant;
in aceastd, situalie efectul cimpului este liniar. Curba plind reprezinti cazul
cind. timpul de relaxare este invers proporlional cu densitatea cle stilri. Se
observS, o abatere abruptd, de la liniaritate ceea ce confirrni, presupuneri-
l6e:de0measitesupso. zPiteivnit,r.uCaaclceualestlei, a lui d, 66nm, panta 60-1 d6[/d8 le
valoare 67 nm au dat aceastd pant6'
d':
pentru
negativd. Din calcule a reie.,sit c5, efectele cuantice de dimensiune asupra
cimpului electric dispar la77K. Am descris pind, aici tlin punct de vedere
teoretic efmtele cuantice de d"imensiune asupra efectului cimpulni static
perpendicular pe stratul sublire. Menlion5,m ci, un asemenea efect nu a
fost pus inc6, in evidenfd, experimental p8-1. fns5,, in bismut au fost puse in
eviden!5, efectele cuantice ile dimensiqne asupra rezistivit5,,tii, rnagnetore-
zisten!-ei qi coeficientului llall [19]. In figurile 8.7-8.9 se-reprezintd, cle-
penden{a de grosimea stratului de bismut a rezistivitfllii, magnetorezis-
g( 10-a-rucm )
1 000 1s00 2 000 r 000 l s00 2 000
d,x d,A
Fig. 8g.r7o.s-imcDacpsetnradteunlutai rezistivitl- Fig. 8.8. d- c bcpcndenla magnetole-
tii de sublire dc grosimea stratului sub-
zistenlei lire de bismut.
bismut.
n" tto-8-^"m/o )
4,8 K
90K
I 000 1 500 2 000 Fig.8.S. H- aDlelpdenedcgnrofasicmoena-
a, l stantei
stratului sublire de bismut.
r6e
'erllqns Inlnl rop.rolggnd €ole+qrqoru 1A r.rp1s ap
-Erls urrrrlsorB cp (e) unlo8 ep I3 (I) arluorl3ele tsa1ts?rsuap ap apmdep oJtsxsloJ op
IrFls 3p rllFlrsuap Bluapuodac -'0I'8 '3!J lndurrq ocortssaq '[OU] Of'g e.rnftp
v'p uI !4ts+uaza:rde.r a4.se mln+€J+s eau4s
006t dtl|' d06 ilA? -o.rF ap lrgls op
.rop{p4rsuep € oFo1
orl -tstrrcso p{uopuedep ft?ssu€noc(ypz'eruausraaf.rt
Inlaaru 'tsun ollc
r-uun"4soe"rrFFlaeuae.raal*pa.racgznrcro(qaqcnasrtsuoronplsoocJeIi
g'I
m-qnuso1gn1rnn+l€nJ+los auraumsrsoo.r.er8rdnoc"rdKeueolrcasFo
qL'l
n'l
r(-rfioyf'ugo)'ronappy1rlr{egu;+nr1scseapnuu€rrapr+s€Ko+.Arr5Js'ouusoqrp{oe(rga"sfr.eSul)rnnlcSc
6't x
o gulcr€s ap rolrro+lpnd g{g,lgrqour
VL & p1{e11cso l,urcads u1 rB aunrsuau}p
o loroprlsaucnrl:u1s1nocp.rtoolopq{.ucoaJroo rJtzarvoac.roeq.a€speoosf
I rmgu.rotluro+ €I ouo+qrcso ua.repod
t'z 3
9'z
L'z -IIIoc 'ou4soJ{,a ap guoqouoIu or{.cun1
l!auraop ra+€+r,tr+srzoJ 11009 n:1 rr.rn1
-u.radue1 ealol*elc ngecg{rop?11€*1+ap,{rcuc1csoorapur{Jlunogclnss+rdptyrlocrs*no."rEzlujoa'uddlop.rna++?o€qzzdrquIrBr+yrnJ'.ar1o?yp€q.urornr1ul ona5co'a:}nnsrlaiceanladur
-sa.r trS JolruoJ+calo
lnlnIusrq ocoJ€oap
_(_dhrl_I1tAu_t:'\bu _ : HE ."g(di"i) : d , (dt' l- %Tl)bu
dy
-J
olrcs os plduns rr?ru rsac urnJor q 'I{.f1
nl-urcugqs?ozd€u/odFaycps1los$Jtdgo"lrunIrs[tpad{pu/rda{puyug'decdsegppa'VngB0l;r0leufsrrqrJpogenooSl,or'laosldar,crn€o?caKc'.JaronJ1use9t1ruae.rpr1oKslazl€rraJudarspuona;5lrc'iar'tz:;rai{redreo;rlsl-urr-;
n.r uod o.rulodelo op €+urcm urp asuocs +soJ nE oIa+'BJ+s '6'9-l'S ap.rnfir; u1
eluluazald o1a{uar;redxo uJ '?+€J€do.rd lsoy ,lt opun Inco{ urp rqo.rrl azasuldop
uoa+o+'rss,scnptoo?l-Jp;IgfrsSl€€l.rur!nqJu+ldsKnrrll3uc+"€dzroJrpoy'lpunrul+1nrsteunlcipp1dpcucrtruretorJlg1sd+pnocl)I"rmJane-l.oslaelrnlnara1€dra++gnw/nqrdlrJurunuoVua+.sr+s:stflFrlnnrr*qrrrCcncr?sIuLJnp'INnErctuzf0slBt-t6us(EdDpo9raououurleIgooniIrqtl.irurmogl+asorJs1'rlf+1u.lacus1ouoqx,BFirn'otp+osud:JunuA1rlrcJf'rrgnrlnnnrstn1lq(dln,calrr€rlu.;erruJ1lqJ4lcerc+*osddstalunseq?nar.Enrra.trrs+slzru('qyE+u1oeni'iIril,JeSma!ot0;slqsr+0.gr(rqsrTcdIuoronrroapir1pspoptl
ala+e.r+s Tc 1ts+grre n€ ruoJlcala ap er,j.oeryp ap 13 X azBJ ap ogpn?S 'crqdo
ru+aruoJo;.ra?w mun 1uolnlu nc roclts E]tscrJJJar. !r'o] e Jole 1t, q.s rounso.r5 | {"runa
oo+prJJFom1.JtznlrcqssooJnnctseumnlsno+.trsFJ+ospqnJso+t:IauuorursroI.nrFunrSIsru.ruo.rlnodluu,rn.ocorpr"rtg?.r?o€dUe,r'os/lyn1duarprg.run-rf
u; a.rerodeao C.gTI op .rn[ q ?soJ u
op €+€r IeS rn1r+{?J?sqns ernluladiua,l '"r.ro1
e-0T. (g-f) op +soJ eounlse.rd rr.rp.rodu.ra lndrurl uI'%6666t66 op +so; rl
lIsoIoJ Inln+nuslq €o+€?rrnd 'sozsF gozts op 1a[ rnun in.rolnfe nc ala ad op
gzeeg..rgdopul as gde op o1rrn*gcrd o.re.rodeaa op Inurolsrs uI aq.ts+uoru IJ € oI]
a+qtsq gde uI o+EArIc +soJ nB ?crru op ale+rJ+sqng 'ocruor
'yodw'pqvzyuorep ,luzqual +I€uItsJ+In pIA nc ruo+srs irn-J+ul e"ru.rodsla
odurod rorrn Inro+nfe nc
1m4r{dqn'slrEogloc1u€Jltrgscarr{uuoCrI.prol€dJx+osoq+nssoout3nuoIcl 'lIeIUrxHulrlodlau€o}+snucosocJc(lr+lcsaoJdsnats.r+rnrSmslor{quaa1p
rle salcin5, depilde de tirnpul de lclaxare, aceasta oscileazi, cu grosimea
stratului sublile, qi prin urmare, ;i coeficien-r,ii de transport au o asemenea
comportare. T,rn rezultat, teoretic pent,rtt conductanfd, rr, fost leprezentat
in figula f .i.
s.iJ. Fenornene de euantifieare in einrp rnagnetie
flintl se combinS, cuantificarea de dimensiune cu cuantificarea in
cirrrp rrrirgnetic a",par efecte calitativ noi. Cele c1ou5, cuantificd,ri consideral,e
sepiuat siui leprezentate in figurile 8.11. c .si D. Pentru un strat sublire'
Kz Kz b)
a)
L.ig. 8.11. Cuantificarea errr'rgiei tlectronilor irt spaIiul r.ectorului de
rrndi : o - dc cdtrc dinrcnsiune : Ir - dt cdtrtr cirnpul rnagnctic.
cu grosirnea ilin direc!,ia ,r energiacuantificat'i este rlati, de expresia (8.10),
T'entru un cristal situat int'r-un cimp magnetic intens de inducfie B in
direclia .n, energia cuantificat'i este dati, de expresia
E,h": (' '*) r,'. + #,!: , s: o, 1, 2,..
(8.23)
(ic: qB llly- Illz:: lllsl
--lkt i
u[d.e <o" este frecvenla de rezonan@, ciclotlon. Consider5,rn acum un strat
subfire, plasat intr-un cimp magnetic puternic, orientat perpenciicular pe
planul stratului (aclic5, in direcl;ia k"). In rtcest, caz spectlul de energie a,
purtd,tol'ibr devine complet discret, adic5, enetgia -D der,ine functie numai
de numere cuantiee diserete,
E:tt."(,,-+).ffi,", (8.24)
unde.* : 0:r 1r 2,3... estcnumd,rrrlcuantic magnetic (numfrul benzii Lan-
n alra2, d*e3,e.ne. r.g-nieu-mE(dk,,r)ualpcaureanctaicudne dimensiune. in coordonate
ttau) ia,r'
k,:$cld)n, spectrul numd,r de puncte separate
aranJate de-a lungul benzii Landau corespunzd,toare (Irig.8.12). Combinareir,
cuantificfirii de tlimensiune cu euantificarea in cimp rnagnetic di noi posi-
292
862
"(1)"( ra'sr
, !,rYhv,Z_y. _ -I
\lt(lEr,ru .rr louSerrr rlrtr.r rS a.rliqns 'r
il1{n},8,r1r' R ?}'Ut) arui"-O.r5 o n;rluacl gsrru,racl annriicas o n"r,luacl c;]lurtsmpoluJo_1.
J{}lr.ro{uA ;to1tt'ie1r:l-so epuol.ratl aur{qo as gJluoulru rrnrl.rrl rnr{rnu aJ€Joprsuoo 'll
ur pufll{ ri uossrn4 ralnur.roJ 1nro1n[e nc (96'g) er{r1a;r ug s gdnp €qJtsrunr
pnrn+Jarll 'au.re+xoau .rugunr{aos o{rrJu rug.urur,ra1op ps irqrsorl a1sa ?, lni a{€ -
r.)rLU rJO{'l?.\ pursoiod 'aunrsuarurp op ?, rr}uunr lrnnilrua1pcilrr,nrru?unr:r".rrroInl€sral.nrq4+rr$oifdii i
op rrirpuoa .s
ounchur nu K?r{rqnlr:- o,{€ct}{i}uEn? ;,
sl I lt'a.rr{c1ns rnln+EJ}s ltiu'u1cl na lalelecl a,]-qi] rur.rog ra{eg'e;rt1ns E €IJ?ouns otr)
1lrur1t[ arrnchisa"rti as I 0 o.r1ul Tzlirrr?^ oJ'l?!) r!?rilnlr ult o+sa ,L apun a
ll
( ga'e i cll
{.9
gD;I_LG (,,- -r_ s) -= ('?.y 'i1)tr-
G!
ep pdr:or5 o ,€r ?ts.ropisrio; e.n{.qns i).lsa 1i1u11u1 (ntitaiu,)li'r:d ri,) Xerdualotl
]8J];:- rTlr n.r1u,rd ".7 i[ur1d ap '\(
€+€+'aasJa+ur aarSoa-"rauaozr
n'r
q li 'ff)f iprried.t ?r,{}- 'rntrn,}rJ}s
raia;u"rc{ns E o{t?r'Jo]lsrrt:r} rruntia.r* tr,,1l'.y tr7 aprtr .ll
t;r<1o,rrl ,rJiunISu,r{urp lurr-
lnrirli{ u1 TII
(cz's) +E
tlAI
o irlJ tr+saru atl lt]ni.rou c1g.au tta
-'-';.e)iJuzsuuorBrruoInIJ'EnrlScrJuaunanos"l-IJqr]+Jdu1nl pr1r'uKusnl€er1lrcrdrauasr.Jrerorf,qlrornplsrrii;luoaJl1lil,rselrocrdnsuoo,nrou{porl'ap(zJpuuonoit{ulisla€arrllorraap,or(traul{ur.p.rraaellix,iiiauqa1eaur1)d1uno'ueqn.role,4lt.
'll-.lprsuor u; f]€nl olESJaasuEJl rrunr,ioas ,u!.ru ap g]renrirr,ro:]o{"r a+so giuotaa.rX
ra.rlJ crrnBrrrporu,rr;1 rnplrrj.uclocl ,e orJOJ,BIri)so ealred tr1 or{.nril"r1uoa o
az.uln')plisl Jp');ul1ptte;''(gon,raI1t'xg.r auuric,rs o,uc gzwauouicu osgu"rad elumilllas Trrp o.rcoar{
'SIJ) JIIit.rls,) dunlsrro[mp ap BaJnJrJi?ur:ll.r lrr,ul srru.lat{
?--n.rBrrlar,rri+rulsaoadpulonirJc-a_.lria'llEou"rtrurql.r'lunduuauosqlodoau1l1toseysuurJuleaun1^ar1S{1c-u;sa€rtes"srd€1oI_lp1auapInnp,iairagr1anueslrn5.n,,alrt.o1rc[i?'lts+Jsaam+"I?psBcaoIhnilrrrl.]rro;,aar??lpxnaor"ailcuoial1llraserargElu,lrpuinrrr{ilisxlp:n)Lrurlrr:r}ssJsaoa'll}.t€rrIrrunfJqrlo{rnrrdrr[
l;riare;rlns aIts ouJo+xa altssJoasrrr?.l1 .ropunr,]cas Er,r,B op f]€urutrJ+otr] o+sa
c--:rrr'.ryl)iarsluo.r5e.ur.)lp:rlu'1l,orco-lla1ulu4ac{1caerJ;puraocg1sIeo+n-€rr,pnuan+p.1rlu'sRsolreg+.r.uJarzaralsuua'epn.$rrrrJa-lnlslprgsr1ar1,rar1{cris"lqrao?qdio''ElzIacvJuloaqoJmrr-]anJ.slu}utusn5leoaeuI;(?rr[raan'1zal-tEr(rutlrulor-rrrfrr'r,np1:,tou{uart{]r.gr.aro?',al.0or{Jae:oanl
eo1-r1snzu.1-tlra3ua.rr/il+ura.rac7nr1p"'oqau4urriaa'o/d1nppeauurriionacaaa'd:lena:sptp:atu,,Bp:rptotur6ng,Elllnnqu5u'€ao,i-.rr,6lr(a.,raaur1llaaatnrI1r.r82pu1uBr,ur!p:,rc1usl'nu,sgniia:)rrp].unrlitrnns:^l-nrrl1,zirlqo[l.irlr?1l,a'uuoaps.i'ue11r'tu.:du{;trr'opa,;uurl1Ieo1fprJlduuaore}oanl;s.i4n'"
Izrraq op fruaqos o nc .ro+"npuocrinas arrjclns +u.r+s op loBom uu Lr.r1ua4'ali|
oJuropr"<uoc ul €r ?s gs .rusacou alsa
'otlauFeur cllutsltc {nfnrgmnu oI€
q-]alJS ap aplnFa.r
tlz-rleu€ nrluJd
or{.q"rosq,E otl 1n1n,r;ead-s
rJoI'EA Jo{as.raArp a.reo?
og.-rga(aTzyrtrrlldn'.eorcorlsipatalrr,ri,rqoroo,,srraolqcseanqlroualppaBup.eraoT1llg8ruu.,rr11oac1lnaraz.druosaop(qrpliar€zlrcornrscrlJlrnpo.trlJelaorflaBfJi.csrrnlaqssun-ar€4r.Iesm[pu'la$orrncrun1orr?Juos1paceasTdrarsrs.rrrcgom:Jllorrd'c.oll[Ju:?roilt-ilrt{.'r}or?d'p]turryzlilamf.?ardaq$,xrarua{sn
untle :1"(-f') este anruiam' u*rnueliusi ecculiaunntiictrann..sPvreorscaelielinpderimnisaecealarsyui prnraofdelseei Ferrni
poate
core^rpuuzd,toa,re
gi,si o expresie pentru pwioada de oscila.tie a rnS,rirnilol terrnodinarnice
[entru cimp ma$netic cbnstant qi grosime-variabil-5, a stratnlui. tn acest
ea,z sumarea in reialia (8.25) se face dup5, indicele m. \ralorile minirne posi-
bile ale lni n. sint, determinate de condiliile de aplicahilitate ale formulei
Pois-qon. Perioacla Ad, este
Ari": A;
rrnde ii"(s) esir componenta vectorului rle undil Fe;rmi tlup[ direclia n,
corespunzd,toare unei subbenzi magnetice cu numS,rul cuantic s (jumi,tatea
<Lin dleapta a cilinrfrului din fig. 8.11t,). Prir,r urmare, mil,surarea caracte-
risticilor oscitaliilor ln fiecare caz consitlelat (grosime fixi, sau cimp mag-
;i combinarca lor in principiu posibilitatea reconstnt-
netic constant) dX
tr'ermi.
irii suprafelei
8.4. Studiul efeetelor euautice de dimcnsiune in strate subfiri cu
ajutorul el-eefului tunel
Pentr.u studiul efectelor cuantice de climensiune cu :ljutorul efeotulni
tunel s-at realizat strucburi metal-orid-meta,l in crarc unul din electrozi este
un strat sublire metialic (Au, Ag, Pb, 1\Ig, etc) cale indeplineqt,e condifii,Xe
pentru ln.zlnifestarea efectelor cuant,ice tle' climensiune [111. Sbratele d,e
irxirtr a,u fost preparate tle aseilteneil rlimensiuni ca sil poatb suslile poten-
fiale c1e polzliizaie rle ciliva, r'olli frirti sli scr strilpung:-'i,. Pleaultatele experi-
rnentale as&pl'a caracteristicilor culent-tensiune p]ecurn ;i asupra ca'l'acte-
lfiiniscttaeicrrerilroainrtlade.fsfdatinlrfnuem;inistdei'zulfen/,ce,lnIia/t2'eielnendecodrgtmniceerinneisuluei.cr4atrt+eo7nc?i1loeKre'.an,eufrnPg,uieaststi.entinncer.naideceeasntt-fixirlplaceruraiaegnnrttaei-f
1'om prezenta mai lntii unele rezultatele teoretice clespre_ cfectul tunel in
asernenea strlcturi, vorn vorbi despre nivelele comcilsurabile qi apoi vorrr
pinrneezel niata?d:eta0liiinasstuapreraa ecuxpaenrtiiecni {ne,l,opreqcilirreezcu.tlabart,clsoer acestora. Curentutr
ob!.ine folosind ex-
presia, standarcl (vezi capitolul 4) in c_ale se introduce o fnnclie 8 care leag#,
energizr, totillil c1e energitl' transversalir
i"(tr'\ :+f,-,,a.u !'e'(8,) T(8, n!) 8(g - EL - Eo,) d.E, (8.28)
unde energi:r, -E se mH,soard, de la, rnargineil inferioari a Jrenzii de condUClie
a elec,trodillui sutrlire, pr(-Er) este densitatea de sti,ri,pe unitatea de ene-rg-i.e
spiapetaneltairnultlrccnuiutusdcnoaeureliaadrpiime. rfeptenbzsnuiduminciiun):ld,aruret-invp1aelohdairrceeacczliouanl sdetelaentcuttinr,oePnla.ielroenr,lrul-i?bEee)rsit,eEpnorr,(-.osEliar?!)|t(^(,8ii-n'
Eg-*dni*iurit"fdncdinoeAanv*tsiXnttauennastfdeuiu,nn-pnecedrlgniIai/teriucTlien(uEpndoi-nlraeurcimnzfiaLai,r)redccreauprtaueennctdeiacela,lperrieano,,ddneEeagntn:li-,ujpd-m,omEaa..tilD-edaxeEti_os!c.rtrioaytdmir,oppnoArainentepuenurltit$aimgbgalo*itrtnl3ei--,'
294
s6z
']'rrf,-ruo}rrpllliuicOnrflBstr_a,o1}-I{'.B:rdaJpsrpruarro,u{iorl,s[l,3o8:;o\.8Jnuio),rlresuJnBorpirJnalInnstJruJrlup:1rnsnulEflr-rarur.nsfr{frauIoi-usrnaai,aor'++tlaos.caIradt?J].o.rui1q€nt]ussuueo{.nFO?EraaJ?u+snsa
lo-rarQucI'rrIslilopn.otr8,rpr{l+?nrc?fluigai'zreJ,ulolre-,rpluraror,Erpra,uEtlrIalrsllrolT:.,Brll.,lerrFq'+loss.orrJauscl raItnrc;sr.ucalclesl npnrpiqJunxlcapruporulsaooldrtruna,und;rr8pSuoqtzpt1'41ts.luar.{urac1,rgroz-il-unJu1ru{s4"rrpa5
Qsndruoc lrigs [95] r.rritlno'oIa+E.r?S 'ra1a{a.r ol,u o+u€}suoc op 5a,r1ug Jrr?tu&u ull
ti rnunclsoJo,) !,:- orrrtio.ll !nr fulnrr.rrla+cuoooa+?sfioIs,Eu+.us,uBqJJr+y s.r}Jrur)r0rn+lun1ritr3,.qr?ss
cp na,r5 rrllnso,r5 agr,f,u
-{Jr?A '+rr?Ht{?'l3s
rnun (aarq,a?.rr{
ttt4111'f'r1+ls
q 00I:-rso,t5 w oAt
'cpuncls€).ro;l oD uoot orllau{ ra ro.rrolrirr. e1 ap raiagu.rdns rrur
apunclsa.roa ar{.rpuoJ €},c,Lra?.s
ap o.ro+,ucl€ o a [Jalrrac{
{si;'s) xt(, 'p (
T TJV
l'
'?v < "ag (.
-l
I
t
iae's) ur'frpuoa q4ruqclapuJ ornq?J+ olearil a+sacu €^.tasqo q? ilJluod
jr
*E\t'iil: "a{s
J
{re's) o+so o.tt?ui a n.rluad aloarr.r Bnop oJ,lurp r{u,4srg .r
'"g(plpv)z - : "gr -l
-.)
ltunso.r8 r py earla5.rouc ,rolelartnt ,u ".qV a.rtsrltlap o rrp rnln+€Jls -1.
arrirr.r,r:,r. g 'a.n'iqns rnln:lr.rls gaiio;g,u.rdns rr{plrru;royiun?u € €ao -
o+sa lrpn?s uauouros,B u; a,rnde rlltrJlqolcl 6 'o]tsJoprsuoc nztraq ,il T.tl3o
-i.r3JTII touroq,r'uru €[ K].rnI olsa a.rruil J-L
oJ€1aun1 ep rrico.np od gu'ulnalpuecllad
rfl- I ol
31
to-arrll.nrrfs.urr''H;r*rnrlrrlnur?orr.u{a?l+usra.r?adJlrtrpJy,Eq(allnrlEuutagl,cr5(q1r1pr1r,1rn)(rlroalnrnr.Jruf}risuaruprr,srrouit:.z})uoInpirr,p.tr,tsro:-pr.a),prc?rFdlsrrur.irr,).rlr1.ab-ri.,augur".rrr{n,.iu;5norlar*eedu.rmeeac1aad,rnrrd"jr. Ilt
-o.rlui a{rrrl rrD q,tluazo.rde.r o?se urnr ,8.(r ,r.{n},rJ^
-onn ap c?sa o?q{,t},),r rrI '(pnrlrt ntl,rnl) g1'g l,1uD.rnttJ5rr}3r-ru,rJl1r4D,uErJzqjar .ordluagldae1s -lt
rurlt rir, (.r1,er{,rrls .r.1d;r.r1 iTIp pi-rulur(}.) a}sir riuelarpuo3 -0a
1,r:"5.i
-J
(or:'s) rlP tsa
'trt t ,r:
clrJo[ua o"ru t;i IJI
-uuililnpuoir 'a,ilitlns lrlpo,I]ilJ[.) ,t1 g1,u;r1tl,e 'prrirzotl .-1 .;ir[rsua1 &{?fiaA
-I r-
'st' ('s - s)rl,tb'- "LI \r"nt l,r-
ft:(oa's) u)"t
oill
:41agl-'f ''"g ra,r,tso1u,r. o .sI R+t?+rrurl o]sa p.ruprarpuad"eac{ ,ulfi"raua
II:acl e,rllr,i5a,l{ g- er{e1a"l ep €+ruriJcfxa apulJ rrJ31-s ,t? a{uuorsuar{.{ al
[!-'"'FE -r a
!r
rd
li mrnri,r'ul nivolelor tlc energie est,e cgi:ll cu suina, tuturor nivolelor secl;i-
unilor existente. Se plesupune cli dimensiunile latcrale ale fiecd,rei sec!,i-
uni stnb suficient de mari. ztstfel ca, sii por.r,tir fi :plicatildescrrierea unidi-
..L 1i,F tll jo
ii*ttiiii €>.
-lI,lriIl'!rlI1r'illli-..+flli-'-rLdri*lriiilill*i*llrlill,ll -r, ,i D
,fi;,$t1tt E _C q-F qv
L'ig. 8.12 -- Spcctrul de pFeignt.ru8.c1a3z. u-l Conductanla tunel, d.,IldV,
trergie cliscret al prrrti- prczenlci a doul nivelc cuan-
lorilor lntr-un strat sub- tice vecine.
lirer situat lntr-un cirnp
nulgnctic cuanlificator.
rner,lsionald,. ln ciucla leunifolmitJt;ii stratului cxist:i stfri de energie'colr,s-
ptrnzi,toare unui anumit vector de nnd5,, dar corespunzii,toare la diveirse
vaJori ale lui a, a c[rol ni-vele cle euerrgic coincid. Acestea se ntmcsc stiiri
colncnsurabile qi sint stir,rilcr peutru tare lun€limea de und5, a electronului
e,qte cornensuldrilei, cu constu,ntn, retelei ct'isbaline. Deducerea teoretici, a
ctensiti,lii nit'elelor clolnensurabile ie face :lstfel. Se presupune, ca qi rnai
inainte, c,[, groapa de potcnlial trste suficienb cltr aclinci astfel cX firncliile
de undri se anuleaz[, lzl perefii (marginile) acestci:r,. Pentru fiec:lre Secliune
ans(rtrladt,u)l,uni:'sLutb2lirr3e,.n.i.veinleslicrdreleacsntiei rdgaicftistilri:t
d(rieligaiubn,e:) deterninate de con-
qi prirl rlrma,te,
Nu,-rY:1,2,3...
E*{ri:#;;(#)' (s.3.r)
Darii c-rist5, un a,nsamblu de un nurniil mare tlt' st'rtiuni cu ttr' tlifetit; intr*
elc este neces&r si facem o medie peste ele folosind o funcfie rle clistribrilie,
P(I), rI grosfunilor secliunilor str:r,tului subfire. Fiectre secliune (regiunei
a' stratului se presupune perfect netedii'. fn expet'ienfele cfeetuate s-a, consi-
derat o a,bzlte;re de *5o/o in jurul valorii 100 a hri rY metlitr. Se presupulre
cii PirY) este o funcfit-. gaussiani
P1rtrl : Poe*"{w-t'"}', (8..35)
uu.de (a)-riz esl,e_parametml cle lirgime a distribu!,iei, calrr se dettrrmin5,
experim.cntal qi i[ e"sto numd,rul mediu de stlate atomice din stratul strb-
{ire. Este nocesat, de asemenea, s."l considor.im cL nivelele nu sint tlistribu-
ite clu1il o funclie
8 ci, clatoriti efectului timpului de via![, un nivel aro o
li,rgirne, /i,/r, finit5,. Distribu{ia dupi, energie a nivelelor este dahi cle for-
rnula lui Lorentz
f-J(Tt4tm.\..-'_ r2n,Nl - ? L+(E rih , (8.36 )
-)t
-X)o,*)2r2llt2
296
t6z
op qrlioiln; e+[luozar':fiiJ aiirJ]slzol+apq?uIn{'EdctITJI'u3{x'oE/dlilF"rLairio]lz{!",Ivqoir1{reJlnewor$rfal lor-;'}{roiipagro",pB.ord,Lollss;
alrqudnsuarrn)i) .rrllr.rl:r,Js +.r
.-)pulr{{salor) 6 -: fl JIJI l}zfiaq tauril.reur q ap JUIrJprqX opundsoJoo I =-
',- - ilt t3 r =-= 0 aMUr
,r,ri.erlurroaldlcl1su1fpauulrrrui{lpr-Jc}lullrlru.rnodllu-o-'JqlI}':g}I'cflJoIfti -t!iu;rrrot llorrnd caalg:r dlS' .ro{
,){lJO}r:{ l.l1.tcl c,luagpr.r }{rp apnn
0onllddanru,urnllugsarul{rtrr'ljaFr;Buu.lnrarrorrir1pr-"-r1-lnu.priolil'lrBialoAc.fJftal.p.p1
\rJ"y*'"'T'"-\";rr
{',o-*\ "\-rl
#t-b
f-r*l I
rl I
,-:F[alBr/+2u{or(o:tyzuoc'I]ldauaauJzn'odoJd}tsAi'loJa+o1l+1i]s'ganorruni,urI-lolF.arrJ{{iIyrtr'lf1(uSR</gr('tj)roniriiulr.nlo.}u.l)r;.rIJrolr;r)lr,trr,{(r)}zir{A{qrJtr(,"Ipi airda+ur€rnz},sou;urrrouolola{qquconJsnrrsor{
o.ip!r{l,rr(l+Iuiornp),pl,lEtlzs\uJnniq.l)J{{r(,oorru{aa}tstrultr;q-)ulu?lgoraco)ul'a{:?Iir??stsynalo3oup?alJaltrlaSis'rn[l0ripItsEqu!lu,rfIolsl'aa:.dn]oprtq-pltnlrrpIloop"lr;.orcIJt''1gs.u0oIir'uIl0i.ruF0u.lIre;ta7oa€rui,iprllrioo?IuuIJil{.?)iIloou['p}lnrua.{ulrrro{rnr{r.I)r.Ir$r)uqo's.ulrrup?luptrI{rntdJnlFunotpulr,..lJLJo1n'-)lruiilrrl.tzr1,lr'ro\',taoIr)lJntntttO]ritrzr:ai{r-{Jr)t)J.I?.rJ],o,;;t)(.}tlr)glrI,'-.lr,r1{\ufrtol}illJ)sB.I:lo?(aIaI:dr,,?JE9'(aE,If'rlig7.?uu4rx)/uIsn5IJtnrna'er)r"sflrud.qo1opn"nopa1usa'unr,io1}iaurcNJsr*
olJJr? ,u1ralos Joa aS '(ru1n1e.r.ps ,u 1urrg'ills laun apunclsJ.ro,) ala.tru ap ar.ras o)
aI'rinIlraI;r:-U-\%rouJ{}?asOJ+.uIugolIIqlI?'IJi'iullu?€rI.+trIosnt1Urrpu1ltlton€)rte{aauaiUlrlrt.[rr.;€s,JtJrd'p1lL?str(uf,r1'rt3o;n',Srtrtlt?]ru.lJi1pl'iUtlrt;r)a..I.q)Il.iD]i,.)]pnC?J]L}rr-ir0i-),rErrJt.iaIr;p{]ureiO)(1Ocr.l)ragda'?naStpOno'J{n]lr)
(rs's) 3,,'(^\-).r(^' ":{ - :t)c 3 (:.1)s
.orJo€peJoglJis1,ntl"rtrr1gsuaa.tt6rd'}r'ns?nqrrrl),oipls1.rnIp+p{our.sir+JrDo,iipflrlla.1q,1uoJop(lprlaorJxt?olsraou{orn[ir)nfot.}arB,srJa1sos opurr,lurnd+lqsrrrorrod€estruq.t,n.a1zg#at.rrrua.qu[ unru+g ruquad
or€op^
g$ {roJ?
-JcI? [n1 sc J+]sorar{ prclunl a}s.r ,uisr,r :op lnrlrrn;g, "tr gpd *\ ,, op !u;}r
-u;rc{oput sndns'.t,ttl toltnpi.trpul lJqls 'r. opull
raun {,lt ,pitr,r .rp lnrlirnl ln"
,)ls?
lrndii a, elec:tronilor pentrrr Q :1 Q$:i10, : 7.2:. Pentru ciectronii cu \rectonll
2a, ,si a,d.ziugarea a incI, unui
de uncld, iu aplopierea punctului
aiu,toam'pircopd.ire-ir:aecaeepau.sni csttaurlueitiQne:rge2ti,c57,,.:Pe4natrruyi vectoml de
stra,1 electronii crr doui, strate
nndL, adfi,ugarea, a
atomiee clX aceea;i stare energeticir,. rlcesta este mecanismul de baz[, care
std,rilor energetice ln jrrrul unor
dur,e la: gruparea satisface intntdearrna condii;ia std,ri comensurabile. Sta-
1 poate de margine indiferent cle
re:l f
pvgareolonsaitlnl,trereaa.,tYleupriias-rtl'a[. l;funeltxrpii.sutdSn,tcatotruetdai ehQa"u::na2(1o-sla2s)ttias(rfzae/caed)ettooat:cdaeeteaasrstreinicae!,nicueonrngildeieil,ciaiuncd-llefifempraoarrngtvinodeer
:lr.eil stilri cu acest vector de rrndd,, iar toate seclunile cu -Itr impar vor da
o pereche tle std,ri. Pentru nn ansamblu de seclirrni ale cristalrrlti starea co-
mensurabil5 n\lzd) \'a avea o energic fix5,. Pentru va,lori mai mari ale lui
ffi stririler vecine se vor lngrflmicli clin ce in cc m:li mult qi nll vor mai putea
selectate experiment*I. Pentrrr. uqurinfa analizei clensitatea de st5,ri pe
rrn a,nsarnblrr de secliuni se calculeazi, in regiunea lui -E in funclie de k
din a,propierea tnci s$,ri comensurabile date; in aceastiu regiune curba
mp1olnaa0rtg,eicnrfeliagarbo,pesrniroznxieiimaQa,:ltL[facvruyai ,c0fl,iisptaanralabodliin, tsreainl iovelilenliee dreaptX. De exemplu, la
d.e energic pentru o secfi-
L'E : (\2*-',t-\) n'(nlNa), n' :7.2,:t,. . . (8.38)
'
unde ?r,'specificri distanla m5,stu'zltir, cle la ma,rginea bcnzii. Pe tle a,1t5, parte,
departe de marginea, benzii viteza de grrrp a, va f.i arproape constantf pe
intervale rnici de energic qi
LE : h,ao{nlMa). (8.3e)
in iLprcEeenslzttr,autdtzQnEto:2r:itd(itnle&txelidsr"tvIe{an)Al{uekli,osrbyciscoel"iruv:nilitl(oIplrhe)nc&turEu.ilfdulpn; aiaarrn;sLial;rimn:bpluanrled. s.Sltie,uemAama(erieYna)timi:n
c:ri
er:uilfia, (8.37) poatefi fd,crrtii,peurr ansantblu cu valoarea -tY care se intil-
neryi;e in mod obiqnuit in strate subliri.
lf in figura 8.16 este reprezentatd, sumarea pentru un strat sublire cu
cilprins lntlc g5 qi 10.5, in presupunerea ci, stratul conline un nnmd,r egal
ds $ss:liuni pentru fiecare grosime; aceasta inseamn5, c5 distribulia secfi-
irnrnjiluorruel sstieSsriiimBp/lQ5,,:reLctla2n, giairlrar-5l[,,:;i nu ga,ussiand,. Spectrul este calcrrlat
10015. Se observri cL clistanfa dintre
nivele este egal[ cu jumd,tate din distanla dintre nivelele pentru ,ll par sau
iinpa'r. St5,rile se aliniazd, ln apropierea stilrii de h: nlZa;i cu d.epd,rtarea
cle :lctl:;,sfui stare se micryoreazl rezolufia spectrului energetic. Realiza,rea
joncliunilor
experirnen'cald, a pentru a se pAul-nAel2inOsev-iPdebn,llX{ge-fMecgteOlo -cuSann,lA,icl e-AdlerOdi,m-eAnsri,-
Al-A12O3-Ag
u2jGomnrneomcsilinimpuencPuaibn,tsusttrnur{abegts,lutAirlnaurctriedrdpyeeie, crAecelsurapemdesecticeptiiucvdnu,.eeAr4degi0ame0eisn4ntes;viiuoddengsialrceourissn1idmex,iei1nf,t5rqn[ii2niacaidh]em.(lAaFi,anlrecbchurnic:lu52alrciemro3ane4daucumncdee)e.i
la realizarea unei structuri netede. Urmeazd, apoi anotlizareat gazoasd/
f 1l pentru a se depune stratul izolator. Anod.izarea face timp
minute la o prosiune do 0,1 torr de O, la o tensiune sc 500V gi un dcer:.4ro5n-t7d.5e
cle
298
The words you are searching are inside this book. To get more targeted content, please make full-text search by clicking here.
Voicu, Dolocan - Fizica jonctiunilor cu semiconductoare
Discover the best professional documents and content resources in AnyFlip Document Base.
Search