สำนักเครื่องมือวทิ ยำศำสตร์และกำรทดสอบ มหำวทิ ยำลยั สงขลำนครินทร์
วธิ ีปฏิบัตงิ ำน
(Work Instruction)
หมำยเลขเอกสำร : WI-RES-SEM5800-001
ชื่อเร่ือง : กำรใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
ฉบับท่ี : 7
วนั บังคับใช้ : 29 ธันวำคม 2565
จำนวนหน้ำ : 16 หน้ำ
ผ้จู ดั ทำ นำงจำรุณี เจนกจิ ธัญไพบูลย์
ตำแหน่ง นกั วทิ ยำศำสตร์
ผ้ตู รวจสอบ นำงอภญิ ญำ ศุกลรัตน์ ผ้ตู รวจสอบ นำงรุสนี กลุ วจิ ติ ร
ตำแหน่ง
หัวหน้ำงำนวเิ ครำะห์โครงสร้ำงจลุ ภำค ตำแหน่ง หัวหน้ำฝ่ ำยบริกำรเคร่ืองมือวจิ ยั ทำงวทิ ยำศำสตร์
ผ้มู อี ำนำจอนุมตั ิ นำงสำวพชั รำ ศุกลรัตน์ ผู้มอี ำนำจอนุมตั ิ นำงสำวกฤตยิ ำ ดำมุนี
ตำแหน่ง ผู้จดั กำรด้ำนเทคนิค ตำแหน่ง ผู้จดั กำรคณุ ภำพ
บนั ทกึ รำยกำรแก้ไขเอกสำร
ฉบับที่ เลขทใี่ บ DAR รำยละเอยี ดกำรแก้ไข
5 6 213/63 เปล่ียนแปลงช่ือ ศูนยเ์ คร่ืองมอื วทิ ยาศาสตร์ เป็ น สานกั เคร่ืองมือวทิ ยาศาสตร์และ
การทดสอบ
6 7 55/66 1. ปรับเน้ือหาข้นั ตอนการถ่ายภาพ ใหส้ อดคลอ้ งกบั การทางานของเครื่องใน
ปัจจุบนั
2. ระบุ guideline ของสภาวะที่ใชใ้ นการทดสอบ เชน่ การเลือก kV และWD ท่ีใช้
ในการถา่ ยภาพ
3. ระบุแนวทางการแกไ้ ขที่สาคญั ใน Trouble shooting
สํานกั เคร่ืองมือวิทยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 1 / 16
วธิ ีปฏิบตั ิงานเรื่อง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
1. วตั ถปุ ระสงค์
เพ่ือเป็ นแนวทางในการใช้งานกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (Scanning Electron Microscope, SEM
5800) เพ่อื การถา่ ยภาพตวั อยา่ ง
2. ขอบเขต
วธิ ีปฏิบตั ิงานฉบบั น้ีสาํ หรับการใชง้ านกลอ้ งจลุ ทรรศนอ์ ิเลก็ ตรอนแบบส่องกราด ย่ีหอ้ JEOL รุ่น JSM5800LV ดว้ ย
ซอฟตแ์ วร์ Scandium
3. เอกสารอ้างองิ และเอกสารทเ่ี กยี่ วข้อง : การใชเ้ ครื่อง SEM- JSM5800LV
WI-RES-SEM5800-001 : JSM-5800 Scanning Microscope Instruction
REF-RES-SEM58-001 : Scandium Universal SEM Imaging Plateform OLYMPUS Manual
REF-RES-SEM58-006
4. หลักการของเคร่ือง
กลอ้ งจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (Scanning electron microscope, SEM) เป็นกลอ้ งจุลทรรศน์ท่ีใชศ้ ึกษา
ลกั ษณะสัณฐานของวสั ดุในระดบั จุลภาค โดยตน้ กาํ เนิดอเิ ลก็ ตรอนสร้างจากการจา่ ยกระแสไฟฟ้าสูงแก่แหล่งกาํ เนิด ทาํ ให้
อิเล็กตรอนหลุดออกจากขดลวด จากน้ันอิเล็กตรอนท่ีหลุดออกมาจะถูกควบคุมทิศทางภายใตส้ นามแม่เหล็ก ซ่ึงอาศยั
หลกั การการเล้ียวเบนของอิเล็กตรอนในสนามแม่เหลก็ หรือที่เรียกว่าเลนส์แม่เหล็กทาํ ให้ลาํ อิเล็กตรอนปฐมภูมิวิ่งเขา้ มา
กระทบกับชิ้นงาน เกิดอนั ตรกิริยาของอิเล็กตรอนต่อชิ้นงานหลายแบบ เน่ืองจากลาํ อิเล็กตรอนที่วิ่งมากระทบชิ้นงานมี
พลงั งานสูง ทาํ ให้อิเลก็ ตรอนที่หลุดออกจากชิ้นงานมีหลายระดบั พลงั งาน โดยอเิ ลก็ ตรอนที่ทาํ ให้เกิดเป็นภาพ กรณีทดสอบ
ดว้ ย SEM-JSM5800LV เป็ นอิเล็กตรอนทุติยภูมิ (Secondary electron) ซ่ึงเป็ นอิเล็กตรอนท่ีหลุดออกจากช้ันแถบการนํา
(Conduction band) หรือแถบพลงั งานเวเลนซ์ (Valance band) ซ่ึงไม่ตอ้ งใชพ้ ลงั งานสูงสามารถหลุดออกจากผิวชิ้นงานได้
งา่ ย บางคร้ังเรียกว่าอิเลก็ ตรอนอิสระ ซ่ึงจะมีช่วงพลงั งาน 10 ถึง 50 อิเลก็ ตรอนโวลต์ อิเล็กตรอนชนิดน้ีจะใชใ้ นการสร้าง
ภาพที่บริเวณพ้ืนผิวของชิ้นงาน
5. สภาวะแวดล้อมในการใช้เคร่ือง/ทดสอบ
-
สํานักเครื่องมือวิทยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวิทยาลยั สงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 2 / 16
วธิ ีปฏิบตั ิงานเรื่อง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
6. ข้ันตอนการใช้เครื่อง
6.1 การเปิ ดเครื่อง (Start up)
6.1.1 กดป่ ุมสีเขียว เพ่ือเปิ ด Main Switch ขา้ งฝาผนงั โดยเครื่องทาํ น้าํ หล่อเยน็ (cooling) จะเปิ ดทาํ งานโดย
อตั โนมตั ิ
รูปที่ 1 Main Switch
6.1.2 เปิ ดสวิทชเ์ ครื่องโดยหมุนกญุ แจ POWER จากตาํ แหน่ง OFF ไปที่ START แลว้ กลบั มาท่ี ON
Key switch
รูปท่ี 2 กุญแจ POWER
6.1.3 เครื่องจะทาํ งาน ใชเ้ วลาประมาณ 20 นาที จะปรากฏ HT READY บนหน้าจอ LCD ความดนั ภายใน
เครื่อง อยรู่ ะดบั 0 และมีเสียงสญั ญาณแสดงเคร่ืองพร้อมใชง้ าน
HT READY
รูปท่ี 3 หนา้ จอ LCD
6.1.4 เปิ ด UPS โดยการกดป่ มุ On ป่ มุ ซา้ ยสุดและป่ ุมตรงกลาง พร้อมๆ กนั ดงั ภาพ
สํานักเคร่ืองมือวทิ ยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 3 / 16
วิธีปฏิบตั ิงานเร่ือง : การใช้เครื่อง SEM-JSM5800LV
On
รูปท่ี 4 UPS
6.1.5 เปิ ดกล่อง ADDA โดยการกดสวทิ ซ์ Power ดา้ นหลงั จะปรากฏไฟท่ีดา้ น Power และ connect
รูปท่ี 5 เครื่อง ADDA เพ่ือการบนั ทึกภาพดิจิตลั
6.1.6 เปิ ด Computer ไฟ INIT ที่ กล่อง ADDA จะเป็ น สี เห ลือง และป รากฏห น้า
6.1.7 ดบั เบิ้ลคลิกที่ icon Scandium
จอคอมพวิ เตอร์ เพอ่ื การสแกนภาพ
6.2 การใส่ตัวอย่างเข้าเคร่ือง
6.2.1 ตรวจสอบตาํ แหน่งของแท่นวางตวั อยา่ ง จากหนา้ จอ LED ท่ีหนา้ เคร่ือง ให้อยตู่ าํ แหน่งเร่ิมตน้
Tilt
R
รูปท่ี 6 หนา้ จอ LED
- ปรับการหมุน- กดป่ ุม Rotationให้ตาํ แหน่งการหมนุ ของแท่น R = 0
สํานักเคร่ืองมือวิทยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 4 / 16
วิธีปฏิบตั ิงานเร่ือง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
- ปรับการเอยี ง (Tilt) - กดป่ ุม Tilt/Z-stage และโยก Controller ดา้ นซา้ ยหรือดา้ นขวา เพื่อให้ Tilt = 0
- ปรับแนวแกน Z ระยะห่างของผิวหน้าตัวอย่างกับ Objective lens- กดป่ ุม Tilt/Z-stage และโยก
Controller บนหรือดา้ นล่าง เพ่อื ระยะให้เหมาะสม
Tilt/Z-stage botton Status LED
XY botton Controller
Fine shift botton
รูปที่ 7 ป่ ุมปรบั ตาํ แหน่งตวั อยา่ ง
6.2.2 นาํ ตวั อยา่ งใส่ใน specimen holder และขนั สกรูลอ็ คให้แน่น
6.2.3 กดป่ ุม VENT ไฟจะติดแลว้ กระพริบ รอจนไฟหยดุ กระพริบแลว้ ปลดลอ็ คแลว้ เปิ ดช่องใส่ตวั อยา่ ง
VENT
EVAC
รูปท่ี 8 ป่ ุม VENT และ EVAC ของ chamber ใส่ตวั อยา่ ง
6.2.4 นาํ specimen holder เสียบเขา้ กบั specimen stage ปิ ดประตูและลอ็ ค
specimen stage specimen holder
รูปที่ 9 Specimen stage
6.2.5 กด EVAC (ไฟจะติด) และดนั ให้ฝาติดแน่นกบั chamber ซักประมาณ 5 วินาที แลว้ ปล่อย รอประมาณ
7-10 นาที จนปรากฏสัญลกั ษณ์ HT READY บนจอ LED ซ่ึงลาํ ดบั การเปลี่ยนสัญลกั ษณ์บนจอ LED เป็นดงั น้ี
PRE VAC EVAC HT READY
สํานกั เครื่องมือวทิ ยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวทิ ยาลยั สงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ที่ 7 หนา้ ที่ 5 / 16
วธิ ีปฏิบตั ิงานเรื่อง : การใช้เครื่อง SEM-JSM5800LV
ตาํ แหน่งท่ีสังเกตการเปลี่ยนแปลง
รูปท่ี 10 Process การทาํ ระบบสุญญากาศ
6.3 เลือก Holder
6.3.1 กด F5 บน keyboard แล้ว Click ที่ Holder บนหน้าจอ เลือกรูป Holder ที่จะใช้งานจริง โดยปกติใช้
Holder แบบท่ี 5
รูปที่ 11 Holder ตา่ งๆ
6.3.2 เล่ือน Stage ไปยงั ตาํ แหน่งที่ตอ้ งการโดยใช้ mouse คลิกเลือกตาํ แหน่งท่ีตอ้ งการบน holder จากน้ัน
Stage จะเลื่อนไปยงั ตาํ แหน่งน้นั โดยอตั โนมตั ิ
6.4 ปรับ keV ACCV. (เลือกจากเมนู)
คลิกเลือก keV ท่ี
ACCV ตอ้ งการ
รูปที่ 12 หนา้ จอเลือกความตา่ งศกั ย์
สํานกั เครื่องมือวิทยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 6 / 16
วิธีปฏิบตั ิงานเร่ือง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
6.4.1 กดป่ ุม F2 บน key board แลว้ เลือก ACCV จากเมนูซ่ึงอยบู่ ริเวณมมุ บนสุดดา้ นซา้ ยของจอทางขวามือ
6.4.2 แลว้ คลิกเลือก keV ท่ีตอ้ งการ แนวทางในการเลือก keV ที่เหมาะสมกบั ตวั อยา่ ง ดงั น้ี
ตารางท่ี 1 การเลือกความต่างศกั ยท์ ี่เหมาะสมกบั ชนิดตวั อยา่ ง keV
ตวั อยา่ ง 20 keV
10-15 keV
ตวั อยา่ งท่ีนาํ ไฟฟ้า ตวั อยา่ งวสั ดุ (ทนตอ่ ความต่างศกั ยส์ ูงได)้
ตวั อย่างที่ไม่นาํ ไฟฟ้า ตวั อย่างทางชีววิทยา (ไม่ทนต่อความต่างศกั ย์
สูง)
6.5 การปรับ WD
6.5.1 ปรับ working distance (WD) โดยการกดป่ ุม Z-stage แล้วโยก Controller ข้ึนหรือลง ซ่ึงในกรณีที่
ยกข้ึน ตอ้ งสังเกตระยะที่ภาพดา้ นขวามือของหน้าจอ เพ่ือไม่ใหต้ วั อยา่ งชนกบั Objective lens ดา้ นบน ซ่ึงกรณีท่ีเล่ือนลง จะ
มีเสียงเตือนเม่ือสิ้นสุดระยะ
Z-stage
Controller
รูปท่ี 13 ป่ มุ ปรับตาํ แหน่งของแทน่ วางตวั อยา่ ง WD (mm)
7-10 mm
แนวทางในการเลือก WD ท่ีเหมาะสมกบั ตวั อยา่ งและกาํ ลงั ขยาย ดงั น้ี >10 mm
ตารางท่ี 2 การเลือก WD ท่ีเหมาะสมกบั ตวั อยา่ งและกาํ ลงั ขยาย
ตวั อยา่ ง
ตวั อยา่ งท่ีถ่ายท่ีกาํ ลงั ขยายสูง (มากกว่า 10,000x ข้ึนไป )
ตวั อยา่ งที่ถา่ ยท่ีกาํ ลงั ขยายต่าํ (นอ้ ยกว่า 10,000x) และตวั อยา่ งต่างระนาบ
หมายเหตุ; ตอ้ งทดลองหาสภาวะท้งั KeV และ WD ให้เหมาะสมกบั ชนิดตวั อยา่ ง สภาพตวั อยา่ ง และกาํ ลงั ขยายท่ีตอ้ งการ
ถา่ ยภาพ
สํานกั เคร่ืองมือวทิ ยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวทิ ยาลยั สงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ที่ 7 หนา้ ที่ 7 / 16
วธิ ีปฏิบตั ิงานเร่ือง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
6.6 การปรับ SPOT SIZE
6.6.1 กดป่ ุม SPOT SIZE ปรับเพิ่มหรือลด SPOT SIZE ดว้ ยป่ ุม จนมี SPOT SIZE อย่ใู นช่วงที่ตอ้ งการ
ช่วง SPOT SIZE 8-10 เหมาะสําหรับการถ่ายภาพ (การเลือก Spot size เล็ก ใชใ้ นกรณีกาํ ลงั ขยายสูง จะทาํ ให้ขอบภาพคม
แตอ่ าจมีสัญญาณรบกวน)
รูปที่ 14 ป่ มุ ปรับภาพ
6.7 การเปิ ด Filament
6.7.1 ก่อนเปิ ด Filament ตอ้ งเลื่อนตาํ แหน่งใหต้ รงกบั ตาํ แหน่งของตวั อยา่ งเพือ่ ให้สัญญาณตกกระทบชดั เจน
6.7.2 กดป่ ุม LSP1 และกดป่ ุม HT แลว้ ค่อยๆหมุนป่ ุม Filament (จากตาํ แหน่ง 7 นาฬิกา) ตามเขม็ นาฬิกา จน
ได้ Saturation point (2nd peak) ดังภาพด้านล่าง (ขณะหมุนจะมีไฟกระพริบที่ FILA lamp และจะหยุดกระพริบเม่ือถึง
Saturation point) (ประมาณตาํ แหน่ง 13.00 น.)
HT botton ตาํ แหน่ง
7 นาฬิกา
รูปท่ี 15 การเปิ ด Filament
สํานกั เคร่ืองมือวิทยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวิทยาลยั สงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 8 / 16
วธิ ีปฏิบตั ิงานเร่ือง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
6.7.3 กดป่ ุม SL1 จะเห็นภาพบนหนา้ จอ CRT
SL1
รูปท่ี 16 ป่ ุมสแกนภาพท่ีความเร็วต่างๆ
6.7.4 ปรับลดกาํ ลงั ขยายลงต่าํ สุดดว้ ยป่ มุ MAG โดยหมนุ ทวนเขม็ นาฬิกา
รูปท่ี 17 ป่ ุมหมุนปรับกาํ ลงั ขยาย
6.8 การถ่ายภาพ
6.8.1 หาตาํ แหน่งตวั อยา่ งที่ตอ้ งการถ่ายภาพ โดยลดกาํ ลงั ขยายลง ก่อนการเล่ือนตาํ แหน่ง ซ่ึงสถานะปกติ ไฟ
จะคา้ งอยทู่ ี่ XY ให้โยก Controller ไปยงั ตาํ แหน่งที่ตอ้ งการ และค่อยปรับกาํ ลงั ขยายใหเ้ ทา่ กบั ที่จะถา่ ย
หมายเหต:ุ โดยทวั่ ไปการเลือกตาํ แหน่งท่ีมีระนาบเดียวกนั เพื่อให้ภาพชดั แต่หากตอ้ งการถา่ ยตาํ แหน่งที่ต่างระนาบกนั ให้
ปรับ WD เพ่ิมมากข้ึน (มากกว่า 10 mm) โดยกดป่ ุม Tilt/Z แลว้ โยกลงหรือข้นึ เพือ่ ให้ไดค้ วามสูงท่ีเหมาะสมตอ่ การถ่ายภาพ
(ขอ้ ควรระวงั ในการโยกข้ึน กดป่ ุม F5 เพื่อดูระยะห่างของตวั อยา่ งกบั Objective Lens) โดยตอ้ ง Focus ภาพ เพ่ือให้ทราบ
ระยะที่แทจ้ ริง โดยใหด้ ูจาก LCD ท่ีเคร่ืองใตจ้ อภาพ
สํานกั เครื่องมือวทิ ยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวทิ ยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ที่ 7 หนา้ ที่ 9 / 16
วธิ ีปฏิบตั ิงานเรื่อง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
CONTRAST BRIGHTNESS
TONE
COARSE/FINE
FOCUS button MAGNIFICATION
FOCUS knob
รูปท่ี 18 ป่ ุมหมนุ ปรับความคมชดั กาํ ลงั ขยาย contrast/brightness
6.8.2 อาจปรับแต่ง หมนุ ภาพ โดยการกดป่ ุม SCAN RTN และหมุนภาพตามตอ้ งการ
ป่ มุ SCAN RTN
รูปท่ี 19 ป่ ุมหมนุ แทน่ วางตวั อยา่ ง
6.8.3 ปรับกาํ ลงั ขยายที่ตอ้ งการ หมุนเพ่ิมกาํ ลงั ขยายให้มากกว่าที่ตอ้ งการ 1.5 เท่า โดยเลือกตาํ แหน่งโฟกสั
ใหภ้ าพชดั ท้งั หมด
6.8.4 กด D-MAG เพื่อยอ่ ภาพเป็นภาพเลก็ เพือ่ ง่ายในการจบั รายละเอียดของภาพ
6.8.5 ปรับ Focus ปรับโฟกสั ดว้ ยการกดป่ ุม COARSE (ป่ ุมปรับภาพหยาบ) แลว้ หมุนป่ ุม Focus ทีละจงั หวะ
โดยการปรับไปดา้ นที่ไดภ้ าพท่ีชดั หรือปรากฏเป็นรูปร่าง และปรับกลบั ไปมา เพ่อื ให้ไดต้ าํ แหน่งที่ชดั และกดป่ มุ COARSE
ออก เพื่อปรับ focus ละเอียด แลว้ หมุนป่ ุม Focus แบบเร็วๆไปดา้ นใดดา้ นหน่ึงท่ีให้ภาพชัด หากเลยความชัดไป ให้หมุน
ปรับกลบั มา และปรับไปมาจนไดภ้ าพที่ชดั ท่ีสุด
6.8.6 การปรับ STIGMATISM เพื่อให้ไดภ้ าพท่ีตรงตามรูปร่าง มีความคมชดั โดยการกดป่ มุ STIG แลว้ หมุน
ป่ ุมท้งั ในแนวแกน X และ แกน Y ใหไ้ ดร้ ูปร่างตามความเป็นจริง โดยไมบ่ ิดเบ้ียว จนสุดทา้ ยไดภ้ าพท่ีดีท่ีสุด
สํานกั เคร่ืองมือวิทยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวทิ ยาลยั สงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ที่ 7 หนา้ ที่ 10 / 16
วธิ ีปฏิบตั ิงานเร่ือง : การใช้เครื่อง SEM-JSM5800LV
ป่ ุม STIG
รูปท่ี 20 ป่ ุมปรับ STIGMATISM
6.8.7 กลบั มาปรับ FINE FOCUS อีกคร้ัง จนไดภ้ าพท่ีมีความคมชัดท่ีสุด (หมายเหตุ: หากภาพท่ีได้ยงั ไม่
คมชดั ให้ปรับ Fine Focus และ STIGMATISM ท้งั แกน X และแกน Y ใหม่ และปรับจนไดภ้ าพท่ีคมชดั )
6.8.8 ลดกาํ ลงั ขยายลงมาตามท่ีตอ้ งการถา่ ยภาพ และกด D-MAG ออก
6.8.9 ปรับ CONTRAST/BRIGHTNESS โดยการหมุนป่ ุม CONTRAST และ BRIGHTNESS ของภาพบน
หนา้ จอ CRT จนไดโ้ ทนสีภาพท่ีตอ้ งการ ซ่ึงประกอบดว้ ยสีขาว-เทา-ดาํ
CONT --------------+++++++++++++
BRT --------------+++++++++++++
รูปที่ 20 CRT Screen
6.8.10 กดป่ ุม SL2 เพ่ือสแกนภาพให้ช้า โดยสามารถปรับความคมชัดและความสว่างของภาพได้
6.8.11 การถ่ายภาพดว้ ยโปรแกรม ให้เลือก Scan timing ข้ึนอยกู่ บั ความเหมาะสม ประมาณ 50-100 µs/pixel
(ถา้ ค่า Scan timing สูง noise จะลดลง แต่เวลาในการ scan รูปจะนานข้ึน) แลว้ คลิกที่ Acquire single image ภาพจะถูกดึง
จากหนา้ จอใหป้ รากฏในโปรแกรม
สํานกั เคร่ืองมือวิทยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวทิ ยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 11 / 16
วิธีปฏิบตั ิงานเรื่อง : การใช้เครื่อง SEM-JSM5800LV
Start acquistion Acquire single image
รูปท่ี 21 Acquisition
รูปที่ 22 หนา้ จอถา่ ยภาพ
6.8.12 เมื่อเลือกบริเวณที่ตอ้ งการถ่ายภาพไดแ้ ลว้ จะปรากฎหนา้ จอดงั รูป ใส่คา่ ตา่ งๆ แลว้ กด OK
รูปที่ 23 การระบคุ ่าพารามิเตอร์ของภาพถ่าย
สํานักเครื่องมือวทิ ยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 12 / 16
วิธีปฏิบตั ิงานเรื่อง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
6.8.14 ปรับ Contrast / Brightness โดยการคลิกท่ี Modify Gray Values จะปรากฏหน้าต่างสําหรับปรับภาพ
แลว้ คลิก change
รูปท่ี 24 ปรบั Contrast / Brightness
หรือปรับ Contrast / Brightness โดยการคลิก DCE แลว้ คลิก Execute หลงั จากปรับภาพ
รูปที่ 25 การปรับ DCE
หรือปรับ Contrast โดยการเลือก Oper>Intensity>Maximize หรือ Equalize หรือ Optimize Contrast
สํานกั เครื่องมือวทิ ยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวทิ ยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 13 / 16
วิธีปฏิบตั ิงานเรื่อง : การใช้เครื่อง SEM-JSM5800LV
รูปที่ 26 การปรับ Contrast
6.8.15 บนั ทึกภาพคลิกที่ File> Save ต้งั ช่ือภาพและบนั ทึกเป็น .tif
รูปท่ี 26 การบนั ทึกภาพ
6.9 การปิ ดเคร่ือง
6.9.1 ปิ ด Filament โดยหมนุ ป่ มุ Filament ทวนเขม็ นาฬิกาจนสุดและกดป่ ุม HT (ไฟดบั )
6.9.2 กดป่ ุม VENT ท่ี chamber เพ่อื เปิ ด chamber แลว้ นาํ ตวั อยา่ งออก
VENT
EVAC
รูปที่ 27 การเอาตวั อยา่ งออกจากเครื่อง
สํานักเคร่ืองมือวิทยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวทิ ยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ที่ 7 หนา้ ที่ 14 / 16
วธิ ีปฏิบตั ิงานเรื่อง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
6.9.3 กดป่ ุม EVAC ที่ chamber เพ่ือปิ ด chamber และเก็บรักษาความดนั ไว้
6.9.4 ใหค้ ลิกปิ ดโปรแกรม และ Shutdown คอมพวิ เตอร์
6.9.5 ปิ ด Power ดา้ นหลงั กล่อง ADDA
6.9.7 ปิ ด UPS โดยการกดป่ ุม Off ป่ ุมขวาสุด และป่ มุ ตรงกลาง พร้อมๆ กนั ดงั ภาพ
Off
รูปที่ 28 การปิ ด UPS
6.9.8 รอจนปรากฏคาํ วา่ HT READY บนจอ CRT ที่ดา้ นซา้ ยมือสุด
6.9.9 ปิ ดกญุ แจ POWER KEY มาตาํ แหน่ง OFF
6.9.10 ไฟเขา้ เครื่องจะถกู ตดั และประมาณ 15 นาที cooling จะหยดุ ทาํ งานโดยอตั โนมตั ิ
7. การบาํ รุงรักษาเบือ้ งต้น
7.1 ใชก้ ระดาษไร้ฝ่ นุ ในการเช็ดทาํ ความสะอาด O-ring ท่ีประตู Chamber
7.2 เป่ าฝ่นุ ผงตวั อยา่ งที่ตกอยภู่ ายในเครื่องดว้ ย Blower
8. การแก้ปัญหา (Trouble Shooting)
ในกรณีท่ี Software มีปัญหาให้ปิ ด Software แลว้ เปิ ดข้ึนมาใหม่ หากยงั ไม่หายให้ปิ ด Software แลว้ Restart เคร่ือง
คอมพิวเตอร์ใหม่
ตารางท่ี 3 แนวทางการแกไ้ ขปัญหาการใชเ้ คร่ือง SEM 5800
ปัญหา แนวทางการแกไ้ ข
1. หากไมป่ รากฏภาพ ตอนท่ีเปิ ด 1. เช็คตาํ แหน่งตวั อยา่ งที่ Holder วา่ ตรงกบั ตาํ แหน่งของกลอ้ ง โดยตอ้ งปรบั WD
Filament และ kV ใหเ้ หมาะสม เพ่อื ใหส้ ัญญาณตกกระทบชดั เจน
2. กดที่ SL1 เพ่ือตรวจสอบภาพ หากเห็นภาพลางๆ ใหป้ รับ Focus หยาบ แตห่ าก
สํานักเคร่ืองมือวิทยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวทิ ยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ที่ 7 หนา้ ที่ 15 / 16
วธิ ีปฏิบตั ิงานเรื่อง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
ปัญหา แนวทางการแกไ้ ข
2. ภาพมีสัญญาณรบกวน (Charging)
ไม่เห็นภาพ ให้เล่ือนตาํ แหน่งตวั อยา่ ง เพอ่ื หาตาํ แหน่งที่เห็นแสงชดั เจนข้นึ และ
3. ภาพไม่ชดั ปรับ Focus หยาบ พร้อมปรับ Contrast/Brightness เพอื่ ให้เห็นสัญญาณภาพ
ชดั เจน
3. ตรวจเชค็ สัญญาณ filament วา่ อยใู่ นระดบั ทีเ่ หมาะสม โดยการปรับหมนุ
Filament เพม่ิ ไปเรื่อยๆจนพบตาํ แหน่งแรกท่ีให้แสงสว่างท่ีสุด ซ่ึงหากปรับหมุน
เพ่มิ ไปเรื่อยๆ แสงสว่างเท่าเดิม หรือแสงสว่างลดลง ให้ปรับลด Filament ลงมา
ใหอ้ ยทู่ ีต่ าํ แหน่งแรก ที่ใหแ้ สงสวา่ งมากที่สุด ซ่ึงอยทู่ ่ีประมาณตาํ แหน่ง 13.00 น.
(กรณีที่แสงสวา่ งแรกอยตู่ าํ แหน่งประมาณ นอ้ ยกว่า 13.00 น. หรือใกล้ 12.00 น.
หมายถึง ใกลห้ มดอายกุ ารใชง้ านของ Filament ซ่ึงยงั คงใชง้ านได)้
สาเหตุ เกิดจากตวั อยา่ งไมน่ าํ ไฟฟ้า หรือตวั อยา่ งมีรูพรุนเยอะ ซ่ึงอนุภาคทองฉาบ
ไม่ทว่ั หรือเกิดการสะสมของอเิ ลก็ ตรอนบริเวณผวิ หนา้ ของตวั อยา่ ง ซ่ึง
มีวิธีการแกไ้ ข ดงั น้ี
1. การฉาบทองเพิ่ม โดยการเอียงตวั อยา่ งเพ่ือใหฉ้ าบทว่ั แตก่ ารฉาบทองเพิ่มมาก
จนเกินไป อาจปกคลมุ ผวิ หนา้ ตวั อยา่ ง จนไม่สามารถเห็นผิวที่แทจ้ ริงของตวั อยา่ ง
ซ่ึงตวั อยา่ งโดยทวั่ ไป ประมาณ 2 นาที หากตอ้ งการฉาบเพิ่มไมค่ วรเกิน 4 นาที
ท้งั น้ี เวลาและกระแสในการฉาบทอง ข้ึนกบั ชนิดของตวั อยา่ ง
2. การใชเ้ ทปคาร์บอนเพอื่ การติดตวั อยา่ งแทนการใชเ้ ยอื่ กาว หรือการใชเ้ ทป
คาร์บอน พาดหนา้ ตวั อยา่ งไปยงั ตาํ แหน่งโลหะ เพอ่ื เพิ่มความสามารถในการนาํ
ไฟฟ้า
3. กรณีตวั อยา่ งเป็นผง และมีรูพรุนเยอะ เช่น ผงถ่าน ใหใ้ ชป้ ริมาณการโรยผงท่ี
นอ้ ยที่สุด กรณีท่ีถ่ายที่กาํ ลงั ขยายสูง สามารถใชค้ าร์บอนเทปเพอ่ื การเตรียม
ตวั อยา่ งได้ แต่ในกรณีที่ศึกษาการกระจาย หรือขนาดของผง การใชเ้ ทปคาร์บอน
จะทาํ ให้ภาพมีรูพรุนจากเทปคาร์บอน และการเลือกถ่าย ถา้ เป็นไปได้ ควรเลือก
ผงที่มขี นาดเลก็
1. ตรวจสอบ Filament ปรับอยใู่ นระดบั ทจี่ ดุ แรก ท่ีใหแ้ สงสว่างมากท่ีสุด โดย
การปรับไปมา และสงั เกตแุ สงในภาพท่ี mode SL1
2. ปรับ Contrast/brightness
3. ปรับ kV และปรับ WD ใหเ้ หมาะสมกบั ตวั อยา่ งและกาํ ลงั ขยาย
4. ปรับ Focus หยาบ/ ละเอียด และปรับ Stigmatism X/Y ซ่ึงการสงั เกตุความชดั
ใหด้ ทู ่ีขอบสีขาวตดั กบั สีดาํ
5. เปลี่ยนหาตาํ แหน่งตวั อยา่ งที่เหน็ ภาพชดั เจน
6. กรณีที่ตวั อยา่ งเป็นแผน่ เรียบ เช่น Film หรือเมมเบรน ซ่ึงบางประเภทอาจ burn
สํานักเคร่ืองมือวทิ ยาศาสตร์และการทดสอบ มหาวทิ ยาลัยสงขลานครินทร์
วนั บงั คบั ใช้ : 29 ธนั วาคม 2565
หมายเลขเอกสาร : WI-RES-SEM5800-001
ฉบบั ท่ี 7 หนา้ ที่ 16 / 16
วิธีปฏิบตั ิงานเร่ือง : การใช้เคร่ือง SEM-JSM5800LV
ปัญหา แนวทางการแกไ้ ข
4. ภาพเคลื่อนท่ขี ณะถ่าย ไดง้ า่ ยเมื่อ Focus เป็นเวลานานๆ อนั ดบั แรก ใหเ้ ลื่อนหาตาํ แหน่งทจ่ี ะถา่ ย แลว้
ค่อยเล่ือนหาตาํ แหน่งบริเวณใกลเ้ คยี ง ที่เป็นเมด็ หรือเป็นหลมุ ซ่ึงความสูงอยใู่ น
5. สีภาพไม่คมชดั ระนาบเดียวกบั พ้ืนเรียบท่ีจะถา่ ย แลว้ ปรับ focus/ stigmatism ใหภ้ าพคมชดั แลว้
คอ่ ยเล่ือนกลบั ไปยงั ตาํ แหน่งเดิม
6. มีสญั ญาณรบกวนท่ีภาพ 7. กรณีท่ีตวั อยา่ งต่างระนาบ การปรับ Focus ใหเ้ ลือกตาํ แหน่งที่สงั เกตคุ วาม
7. โปรแกรมบนั ทึกภาพ ADDA ไม่ คมชดั ไดช้ ดั เจน และมีระยะความสูงของตาํ แหน่งตวั อยา่ งในภาพประมาณกลางๆ
ตอบสนอง หากปรับภาพดว้ ยพารามิเตอร์ต่างๆแลว้ ยงั ไมช่ ดั ให้ลองเปล่ียนตาํ แหน่งตวั อยา่ ง
8. เคร่ือง SEM มีสญั ญาณเตือนไม่ อาจมีสาเหตแุ ละแนวทางการแกไ้ ขดงั น้ี ดงั น้ี
สามารถทาํ ระบบ Vaccum ได้ 1. ตวั อยา่ งติดไมแ่ น่น ให้ติดตวั อยา่ งใหม่ หรือใชน้ ้าํ ยาทาเลบ็ แทนเทปกาวเพ่ือให้
ติดแน่นข้ึน
2. ตวั อยา่ งสูงเกินไป ตอ้ งตดั ตวั อยา่ งใหส้ ้ันลง หรือวางตวั อยา่ งใหอ้ ยใู่ นแนวราบ
มากท่ีสุด
1. หากภาพดูขาว ใหล้ ด Brightness และปรับ Contrast ใหม้ ากข้นึ
2. หากภาพดูมืด ให้เพิ่ม Brightness และปรับ Contrast ให้ลดลง
หมายเหตุ การปรบั สีตอ้ ง balance ท้งั Contrast และ Brightness ควบคู่กนั ซ่ึงการ
ปรับป่ มุ ใดป่ มุ หน่ึง ไปทางดา้ นใดดา้ นนึงจะทาํ ใหส้ ีของภาพไม่สมดุล
1. ภาพ Charge ใหล้ ด Contrast/brightness
2. พ้ืนท่ีใกลเ้ คียงสั่น ให้สแกนภาพใหม่
สิ่งที่เห็นได้ คือ ภาพเป็นสีดาํ หรือหยดุ สแกน
1. ปิ ดเคร่ือง ADDA หรือปิ ดคอมพิวเตอร์ ทิง้ ไวซ้ กั ครู่ แลว้ เปิ ดเคร่ืองใหม่
1. กดที่ป่ มุ EVAC พร้อมกบั ใชม้ ือดนั ท่ปี ระตู ประมาณ 5 วินาที เพ่ืออดั ใหแ้ น่น
ช่วงเคร่ือง Start Vaccum
2. หากเคร่ืองมีสญั ญาณเตือนว่าไม่สามารถทาํ ระบบสุญญากาศได้ ให้แจง้
เจา้ หนา้ ที่
9. ข้อควรระวงั
9.1 ระมดั ระวงั อยา่ ค้าํ ประตู Chamber
9.2 ระมดั ระวงั เร่ืองความสะอาด ฝ่ นุ ละอองที่จะปลิวมาจากตวั อย่าง และควรสวมถุงมือทุกคร้ังหากตอ้ งการสัมผสั
ส่วนใดส่วนหน่ึงภายในตวั เคร่ือง
9.3 ห้ามกด EVAC ในขณะที่ประตู Chamber ยงั ปิ ดไมส่ นิท
9.4 ขณะทเี่ ล่ือนตวั อยา่ งข้ึน ตอ้ งสงั เกตรุ ะยะ อยา่ ให้ตวั อยา่ งชนกบั Objective Lens